8 tipiniai tiksliųjų granito komponentų taikymai puslaidininkinėje įrangoje

Puslaidininkių įrangoje bazinė struktūra yra tikslumo biudžeto dalis. Plokštelių tikrinimo įrankis, lazerinio apdorojimo platforma ar metrologijos stalas ne tik turi būti matmenimis tikslios konstrukcijos nuo pat pirmos dienos. Jam reikia struktūros, kuri išlaikytų savo geometriją terminių ciklų metu, būtų atspari vibracijai, išlaikytų surinkimo ryšius ir išliktų švari kontroliuojamoje aplinkoje. Dėl šių reikalavimų precizinis granitas tapo standartine konstrukcine medžiaga visoje puslaidininkių pramonėje.

Žemiau pateikiami aštuoni tipiniai taikymo būdaipreciziniai granito komponentaipuslaidininkių įrangoje ir kiekvienam iš jų: tipinės naudojamos dalys, inžineriniai aspektai, lemiantys sėkmę, ir tai, ką tiekėjas turėtų pasiūlyti. Jei projektuojate naują įrankį, tai taip pat yra jūsų užklausos kontrolinis sąrašas.

Didelis apdirbtas granito pagrindas su frezuotomis kišenėmis ir srieginiais įdėklais – puslaidininkinės įrangos modulio konstrukcinis pamatas.

1. Plokštelių tikrinimo ir optinės metrologijos įrangos pagrindai

Optinės patikros, defektų peržiūros ir vizualinio matavimo sistemoms reikalingas vienas bendras reikalavimas: stabilus tvirtinimas ir matavimo atskaitos taškas naudojant didelės skiriamosios gebos optiką. Bet koks pagrindo mikrojudėjimas vaizde tampa triukšmu.

• Tipiniai komponentai:granito pagrindas, kolona, ​​tiltelis, optinio bėgelio tvirtinimo paviršius, srieginiai įdėklai.
• Inžinerijos kryptis:optinės atskaitos plokštumos lygumas, tvirtinimo paviršių lygiagretumas, skylės padėties tikslumas, terminis stabilumas, vibracijos valdymas.
• Ką teikia ZHHIMG:medžiagų parinkimas, konstrukcijų apdirbimas, tikslus šlifavimas, įdėklų montavimas ir matmenų patikrinimo ataskaitos kiekvienam svarbiam paviršiui.
• Jūsų užklausai:2D/3D brėžiniai, optinė naudingoji apkrova, taikinio pakartojamumas, aplinkos temperatūros diapazonas.

2. Vaflių tvarkymo ir tikslaus pozicionavimo platformos

XY staklėms, linijinių variklių platformoms ir didelio tikslumo padėties nustatymo mechanizmams reikalingas standus mechaninis atskaitos taškas, kuris nejudėtų, staklei greitėjant ir lėtėjant tūkstančius kartų per valandą.

• Tipiniai komponentai:granito pagrindo plokštė, granitasmašinų lova, linijinių kreipiamųjų tvirtinimo bėgeliai, variklio tvirtinimo pagalvėlės.
• Inžinerijos kryptis:Kreipiančiųjų bėgelių lizdų lygumas ir tiesumas, statmenumas tarp ašių, įdėklo ištraukimo stipris, scenos sukeltos vibracijos slopinimas.
• Ką teikia ZHHIMG:Bėgio lizdo apdirbimas pagal griežtus tolerancijos reikalavimus, įdėklo montavimas su sukimo momento dokumentacija, modalinio ir plokštumos matavimo duomenimis.
• Jūsų užklausai:eiga, apkrova, pagreičio profilis, taikinio padėties nustatymo tikslumas, įrengimo orientacija.

3. AOI įrangos konstrukcinės dalys

Automatizuoti optiniai tikrinimo įrankiai sujungia didelės skiriamosios gebos vaizdus su greitu judesiu. Pagrindas, sija ir kolona laiko kameras ir apšvietimą, o surinkimo rėmas palaiko kiekvieno modulio geometrinį ryšį.

• Tipiniai komponentai:granito pagrindas, skersinė sija, kolona, ​​kameros ir jutiklio tvirtinimo paviršiai, surinkimo rėmo sąsajos.
• Inžinerijos kryptis:kolonos stačiakampiškumas pagrindui, sijos lygiagretumas, skylių ir griovelių padėties tikslumas, ilgalaikis geometrinis stabilumas.
• Ką teikia ZHHIMG:Apdirbti ir sujungti konstrukciniai rinkiniai, metalinės dalys, gamyklinis surinkimas ir geometrijos patikrinimas prieš išsiuntimą.
• Jūsų užklausai:CAD duomenys, kameros ir apšvietimo išdėstymas, judesio kontūras, reikalingas vaizdo stabilumas.

4. Pramoninių KT ir rentgeno spindulių tikrinimo sistemų pagrindai

Pramoninėse KT ir rentgeno sistemose šaltinis, manipuliavimo platforma ir detektorius yra sujungiami ant vienos konstrukcijos. Bet koks santykinis judėjimas tarp šių trijų elementų rodomas kaip vaizdo klaida.

• Tipiniai komponentai:granito pagrindas, besisukančios scenos tvirtinimo plokštė, šaltinio ir detektoriaus kolonos, spinduliuotę ekranuojantys integravimo paviršiai.
• Inžinerijos kryptis:Koaksialinis lygiavimo atskaitos taškas tarp šaltinio, staliuko ir detektoriaus, sukimosi ašies lizdo lygumas, vibracijos valdymas, skylės padėties tikslumas.
• Ką teikia ZHHIMG:Daugiapaviršinis apdirbimas su lygiavimo atskaitos taškais, įdėklų montavimas, išsami matmenų ataskaita su nurodytomis matavimo sąlygomis.
• Jūsų užklausai:šaltinio ir detektoriaus atstumas, rotacinė naudingoji apkrova, skiriamoji geba, grindų plotas ir įrengimo būdas.

5. Lazerinio apdorojimo ir lazerinio matavimo platformos

Femtosekundinis ir pikosekundinis lazerinis mikroapdirbimas, tikslus žymėjimas, optinis derinimas ir lazerinė matavimo įranga – visa tai fokusuoja energiją per spindulio liniją, kurios matmenys mikronai. Platforma po optika neturi judinti spindulio.

• Tipiniai komponentai:granito platforma, optinės galvutės atrama, spindulių kelio tvirtinimo bėgeliai, ruošinių stalas.
• Inžinerijos kryptis:optinio tvirtinimo plokštumos lygumas, terminis stabilumas uždaroje lazerio aplinkoje, aukšto dažnio vibracijų slopinimas.
• Ką teikia ZHHIMG:Smulkiagrūdis granitas, parinktas slopinimui, optiniai tvirtinimo paviršiai su užlaidomis, integravimas su korio arba plieninėmis konstrukcijomis, kai reikia.
• Jūsų užklausai:lazerio bangos ilgis ir galia, optinis išdėstymas, darbo zona, švaros reikalavimai.

6. KMM, vaizdo matavimo ir tiksliosios metrologijos įranga

Granitas jau seniai yra pagrindinė metrologijos medžiaga: darbo stalai, kreipiančiosios, kolonos, tilteliai ir KMM pagrindai, vaizdo matavimo mašinos ir kiti tikslūs matavimo prietaisai priklauso nuo granito stabilumo ir šlifavimo galimybių.

• Tipiniai komponentai:darbo stalas,tikslusis matavimasatskaitos paviršiai, tiltų ir kolonų konstrukcijos, kreipiančiųjų bėgių sėdynės.
• Inžinerijos kryptis:Matavimo stalo mikronų lygmens lygmuo, kreipiančiųjų lizdų tiesumas per visą eigą, atsparumas dilimui slystant.
• Ką teikia ZHHIMG:rankomis šlifuoti paviršiai su lygumo žemėlapiais, kalibravimo sertifikatais, kuriuos galima susieti su faktiniu naudotu prietaisu, pasirinktinai galimas suderintų nustatymų šlifavimas.
• Jūsų užklausai:matavimo diapazonas, tikslumo klasė, MPE taikinys, taikomi standartai.

7. Tikslaus judesio platformos su oro guoliais

Oro guoliai juda ant suslėgtos plėvelės be kieto kontakto, todėl trintis ir dilimas sumažėja beveik iki nulio. Granitas po oro guoliu nėra pasyvus blokas: jo paviršiaus kokybė tiesiogiai lemia plėvelės elgseną.

• Tipiniai komponentai:granito pagrindas su užapvalintais kraštaisoro guolispaviršiai, kreipiančiosios bėgeliai, granito apvalumo ir lygumo matavimo instrumentai, itin tikslios scenos konstrukcijos.
• Inžinerijos kryptis:Oro plėvelės paviršių apdaila ir lygumas, porų ir mikrodefektų kontrolė, priešingų guolių paviršių lygiagretumas, ilgalaikis stabilumas.
• Ką teikia ZHHIMG:Šlifuoti ir poliruoti oro guolių paviršiai su sertifikuota geometrija, suderintais paviršių rinkiniais ir švarioms patalpoms tinkama pakuote.
• Jūsų užklausai:oro plėvelės konstrukcija, apkrova ir išankstinis įtempimas, eiga, taikinio tiesumas arba apvalumas.

8. Modulinės puslaidininkinės įrangos modulių surinkimo platformos

Galutinis didelio tikslumo modulių integravimas atliekamas kontroliuojamoje temperatūroje, drėgmėje ir vibracijoje, dažnai švarioje patalpoje. Granito platformos tarnauja kaip surinkimo pagrindas, kuriame sujungiamos granito dalys, metalinės dalys, keraminės dalys, bėgiai, oro guolių komponentai ir judesio moduliai.

• Tipiniai komponentai:Modulinės granito surinkimo platformos, įrankių ir tvirtinimo detalių sąsajos, modulių prijungimo paviršiai.
• Inžinerijos kryptis:Modulių duomenų nuoseklumas, įdėklų ir kaiščių tikslumas, suderinamumas su surinkimo švarioje patalpoje sąlygomis.
• Ką teikia ZHHIMG:švari patalpasurinkimas, patikra ir kalibravimasištisų modulių, integruojančių granito, metalo ir keramikos komponentus į patikrintą konstrukciją.
• Jūsų užklausai:modulių sąrašas, švarumo klasė, surinkimo seka, galutinės patikros kriterijai.

Vienas inžinerijos kontrolinis sąrašas visoms aštuonioms taikymo sritims

Visose šiose srityse inžineriniai klausimai išlieka tie patys: kokia geometrija turi išlikti, kokiame plote, kokioje šiluminėje ir vibracinėje aplinkoje ir kiek laiko. Granito tiekėjas, galintis pateikti išmatuotus duomenis – lygumo žemėlapius, partijos medžiagų ataskaitas, įdėklų sukimo momento įrašus – yra tiekėjas, kurį galima audituoti. ZHHIMG palaikopuslaidininkių įrangagamintojai, taikantys būtent tokį požiūrį.

„ZHHIMG®“ teikia paslaugas puslaidininkių įrangos gamintojams, gamindama individualius granito pagrindus, rėmus, kreipiančiąsias, oro guolių konstrukcijas ir integruotus tikslius mazgus. Susisiekite su mumis ir pateikite savo brėžinį inžineriniam įvertinimui.