Granito oro guolių sistemos yra plačiai naudojamositin tikslusJudesio platformos puslaidininkių gamybai, optiniam derinimui ir nanometrinio mastelio metrologijai.
Šios sistemos pašalina mechaninį kontaktą, naudodamos ploną suslėgto oro plėvelę, taip pasiekdamos beveik nulinę trinties judėjimą.
Oro guolio principas
Oro guoliai veikia įvedant suslėgtą orą tarp dviejų paviršių ir suformuojant 2–20 μm oro plėvelę.
Tai pašalina:
- Mechaninė trintis
- Dėvėti
- Slydimo požymis
Sistema remiasi skysčio plėvelės dinamika ir stabiliu laminariniu srautu.
Granito vaidmuo
Granitas suteikia:
- Struktūrinis stabilumas
- Terminio dreifo slopinimas
- Vibracijos slopinimas
Jis tarnauja kaip mechaninis judesio sistemos atskaitos pagrindas.
Sistemos komponentai
- Granito pagrindas
- Oro guolių pagalvėlės
- Oro tiekimo sistema
- Tikslūs kodavimo įrenginiai
- Judesio valdymo sistema
Veikimo charakteristikos
Įprastas našumas apima:
- Submikrono padėties nustatymo tikslumas
- Didelis tiesumas ilgoje eigoje
- Nulinis mechaninis laisvumas
Pagrindiniai klaidų šaltiniai yra oro slėgio nestabilumas, šiluminis poslinkis ir kodavimo klaida.
Paraiškos
- Puslaidininkių plokštelių patikrinimas
- Litografijos sistemos
- Optinio lygiavimo platformos
- Aukščiausios klasės metrologijos įrenginiai
DUK
Ar oro guoliai susidėvi?
Mechaninio kontakto nebuvimas pašalina nusidėvėjimą.
Kodėl verta naudoti granitą?
Dėl stabilumo ir vibracijos slopinimo.
Kas riboja tikslumą?
Oro stabilumas ir šiluminis poveikis.
Ar jie gali gabenti sunkius krovinius?
Taip, priklausomai nuo dizaino.
Įrašo laikas: 2026 m. liepos 3 d.