Bet kurio itin tikslaus staklių – nuo didelių koordinatinių matavimo staklių (KMM) iki pažangios puslaidininkinės litografijos įrangos – stabilumas ir tikslumas iš esmės priklauso nuo jų granito pagrindo. Dirbant su didelio masto monolitiniais pagrindais arba sudėtingomis daugiasekcinėmis granito plokščiomis plokštėmis, surinkimo ir montavimo procesas yra toks pat svarbus, kaip ir pats gamybos tikslumas. Vien tik paruoštos plokštės uždėjimas nepakanka; norint išsaugoti ir panaudoti sertifikuotą plokštės submikrono lygumą, reikia laikytis specialių aplinkos ir konstrukcinių reikalavimų.
1. Pagrindas: stabilus, lygus pagrindas
Dažniausias klaidingas įsitikinimas yra tas, kad precizinės granito plokštės, tokios kaip pagamintos iš mūsų didelio tankio ZHHIMG® juodojo granito (3100 kg/m³), gali ištaisyti nestabilias grindis. Nors granitas pasižymi išskirtiniu tvirtumu, jį turi paremti konstrukcija, suprojektuota taip, kad ilgalaikė deformacija būtų minimali.
Surinkimo zonoje betoninis pagrindas turi būti ne tik lygus, bet ir tinkamai sukietėjęs, dažnai laikantis karinio lygio storio ir tankio specifikacijų – atkartojantis 1000 mm storio itin kietas betonines grindis nuosavose ZHHIMG surinkimo salėse. Svarbiausia, kad šis pagrindas turi būti izoliuotas nuo išorinių vibracijos šaltinių. Projektuodami didžiausias savo mašinų bazes, įtraukiame tokias koncepcijas kaip vibraciją slopinantis griovys aplink mūsų metrologijos patalpas, kad užtikrintume, jog pats pagrindas būtų statiškas ir izoliuotas.
2. Izoliacinis sluoksnis: glaistymas ir išlyginimas
Griežtai vengiama tiesioginio granito plokštės sąlyčio su betoniniu pamatu. Granito pagrindas turi būti paremtas konkrečiuose, matematiškai apskaičiuotuose taškuose, kad būtų panaikintos vidinės įtempės ir išlaikyta sertifikuota geometrija. Tam reikalinga profesionali lyginimo sistema ir glaisto sluoksnis.
Kai plokštė tiksliai įstatoma naudojant reguliuojamus niveliavimo domkratus arba pleištus, į ertmę tarp granito ir pagrindo pumpuojamas didelio stiprumo, nesitraukiantis, precizinis skiedinys. Šis specializuotas skiedinys sukietėja ir sudaro didelio tankio, vienodą sąsają, kuri tolygiai paskirsto plokštės svorį, apsaugodama ją nuo įlinkimo ar deformacijos, kuri laikui bėgant galėtų sukelti vidinį įtempį ir pakenkti plokštumos lygumui. Šis žingsnis efektyviai paverčia granito plokštę ir pamatą viena, vientisa ir standžia mase.
3. Terminė ir laikinė pusiausvyra
Kaip ir atliekant visus didelio tikslumo metrologijos darbus, kantrybė yra nepaprastai svarbi. Granito plokštė, glaisto medžiaga ir betoninis pagrindas turi pasiekti terminę pusiausvyrą su aplinkine darbine aplinka, prieš atliekant galutinius lygiavimo patikrinimus. Labai didelių plokščių atveju šis procesas gali užtrukti kelias dienas.
Be to, niveliavimo reguliavimas, atliekamas naudojant tokius prietaisus kaip lazeriniai interferometrai ir elektroniniai nivelyrai, turi būti atliekamas lėtai, mažais žingsneliais, suteikiant medžiagai laiko nusistovėti. Mūsų technikai, kurie laikosi griežtų pasaulinių metrologijos standartų (DIN, ASME), supranta, kad skubotai atliekant galutinį niveliavimą gali atsirasti paslėptas įtempis, kuris vėliau išryškės kaip tikslumo poslinkis.
4. Komponentų integravimas ir individualus surinkimas
„ZHHIMG“ gamina individualiai pritaikytus granito komponentus arba granito plokščias plokštes, kuriose integruoti linijiniai varikliai, oro guoliai arba CMM bėgiai, todėl galutinis surinkimas reikalauja absoliučios švaros. Mūsų specialios švarios surinkimo patalpos, imituojančios puslaidininkių įrangos aplinką, yra būtinos, nes net mikroskopinės dulkių dalelės, patekusios tarp granito ir metalinio komponento, gali sukelti mikrodeformaciją. Prieš galutinį tvirtinimą kiekviena sąsaja turi būti kruopščiai išvalyta ir patikrinta, užtikrinant, kad komponento matmenų stabilumas būtų nepriekaištingai perkeltas į pačią mašinų sistemą.
Laikydamiesi šių griežtų reikalavimų, klientai užtikrina, kad jie ne tik montuoja komponentą, bet ir sėkmingai apibrėžia galutinį savo itin tikslios įrangos standartą – šį pagrindą garantuoja „ZHHIMG“ medžiagų mokslo ir gamybos patirtis.
Įrašo laikas: 2025 m. spalio 29 d.