Tikslioje puslaidininkių gamybos grandinėje plokštelių perdavimo sistema yra tarsi „lustų gamybos linijos gelbėjimosi ratas“, o jos stabilumas ir tikslumas tiesiogiai lemia lustų išeigą. Naujos kartos plokštelių perdavimo sistemos revoliucingai sujungia linijinius variklius su granito pagrindais, o unikalūs granito medžiagų privalumai yra būtent pagrindinis kodas, leidžiantis atrakinti didelio našumo perdavimą.
Granito pagrindas: „tvirto kaip uola pagrindo“ kūrimas stabiliam perdavimui
Granitas, patyręs šimtus milijonų metų geologinio tobulinimo, pasižymi tankia ir vienoda vidine mineralų kristalizacija. Ši natūrali savybė daro jį idealia bazine medžiaga plokštelių perdavimo sistemoms. Sudėtingoje puslaidininkių švariųjų patalpų aplinkoje granitas, pasižymintis itin mažu šiluminio plėtimosi koeficientu (tik 5–7 × 10⁻⁶/℃), gali atsispirti įrangos veikimo metu susidarančiai šilumai ir aplinkos temperatūros pokyčių įtakai, užtikrindamas pagrindo dydžio stabilumą ir išvengdamas terminės deformacijos sukelto perdavimo kelio nukrypimo. Dėl puikių vibracijos slopinimo savybių jis gali greitai sugerti mechanines vibracijas, susidarančias paleidžiant, išjungiant ir greitinant linijinius variklius, taip pat išorinius trukdžius, kuriuos sukelia kitos dirbtuvėse veikiančios įrangos veikimas, užtikrindamas stabilią platformą be vibracijos plokštelių perdavimui.
Tuo tarpu granito cheminis stabilumas užtikrina, kad jis nekorozuos ir nerūdys puslaidininkių dirbtuvėse, kur rūgštiniai ir šarminiai reagentai yra lakūs ir reikalinga didelė švara, taip išvengiant perdavimo tikslumo sumažėjimo dėl medžiagos senėjimo ar teršalų adsorbcijos. Lygus ir tankus paviršius gali efektyviau sumažinti dulkių prilipimą, atitikti griežtus švarių patalpų be dulkių standartus ir pašalinti plokštelių užteršimo nuo šaknų riziką.
Linijinių variklių ir granito „auksinės partnerystės“ efektas
Linijiniai varikliai, pasižymintys mechaniniu perdavimo laisvumu, dideliu pagreičiu ir dideliu reagavimo greičiu, suteikia plokštelių perdavimui „greito, tikslaus ir stabilaus“ pranašumus. Granito pagrindas suteikia tvirtą ir patikimą atraminę platformą. Abi jos veikia kartu, kad pasiektų našumo šuolį. Kai linijinis variklis varo plokštelių laikiklį granito pagrindo bėgeliu, stiprus pagrindo standumas ir stabilumas užtikrina efektyvų variklio varomosios jėgos perdavimą, išvengiant jėgos nuostolių ar perdavimo vėlavimo, kurį sukelia pagrindo deformacija.
Dėl nanoskalės tikslumo poreikio linijiniai varikliai gali pasiekti submikrono lygio poslinkio valdymą. Granito pagrindų didelio tikslumo apdorojimo charakteristikos (su lygumo paklaidomis, kontroliuojamomis ±1 μm tikslumu) puikiai atitinka tikslų linijinių variklių valdymą, kartu užtikrindamos, kad padėties nustatymo paklaida perduodant plokšteles būtų mažesnė nei ±5 μm. Nesvarbu, ar tai būtų greitas perjungimas tarp įvairios proceso įrangos, ar tikslus parkavimas perduodant plokšteles, linijinių variklių ir granito pagrindų derinys gali užtikrinti „nulinį nuokrypį ir nulinį virpėjimą“ perduodant plokšteles.
Pramonės praktikos patvirtinimas: dvigubas efektyvumo ir našumo pagerėjimas
Patobulinusi savo plokštelių perkėlimo sistemą, pirmaujanti pasaulinė puslaidininkių įmonė pasirinko linijinio variklio ir granito pagrindo sprendimą, kuris 40 % padidino plokštelių perkėlimo efektyvumą, 85 % sumažino gedimų, tokių kaip susidūrimai ir poslinkiai, dažnį perkėlimo proceso metu ir 6 % pagerino bendrą lustų išeigą. Už šių duomenų slypi granito pagrindo užtikrinamas perdavimo stabilumas ir linijinio variklio greitaeigis bei tikslus sinergijos efektas, kuris žymiai sumažina nuostolius ir klaidas plokštelių perdavimo procese.
Nuo medžiagų savybių iki tikslaus gamybos proceso, nuo našumo pranašumų iki praktinio patikrinimo – linijinių variklių ir granito pagrindų derinys iš naujo apibrėžė plokštelių perdavimo sistemų standartus. Ateityje, kai puslaidininkių technologija vystysis link 3 nm ir 2 nm procesų, granito medžiagos, turėdamos nepakeičiamų privalumų, neabejotinai ir toliau stipriai skatins pramonės plėtrą.
Įrašo laikas: 2025 m. gegužės 14 d.