Puslaidininkių pramonei agresyviai siekiant sukurti mažesnių nei 2 nm procesų mazgus, mechaninių paklaidų tikimybė praktiškai išnyko. Šioje didelės rizikos aplinkoje proceso kameros stabilumas nebėra antraeilis rūpestis; tai yra pagrindinė kliūtis našumui. „ZHHIMG“ stebime esminį pokytį, kaip pasauliniai originalios įrangos gamintojai (OEM) žiūri į puslaidininkių kapitalinės įrangos struktūrinį vientisumą.
Tylos fizika: pažangios vibracijos slopinimo technologijos
Šiuolaikinėje plokštelių gamyboje vibracijos, kurios anksčiau buvo laikomos „foniniu triukšmu“, dabar yra katastrofiškos. Nesvarbu, ar tai būtų įrenginio ŠVOK sistemos mikrosvyravimai, ar didelės spartos skenavimo pakopos vidinė inercija, nekontroliuojama energija tiesiogiai virsta perdengimo klaidomis ir neryškiais raštais.
Dabartiniai puslaidininkių gamyboje naudojami vibracijos slopinimo metodai išsivystė į daugiasluoksnę architektūrą. Nors pasyvus slopinimas, naudojant didelės masės medžiagas, tokias kaip mineralinis liejinys ar precizinis granitas, išlieka pagrindu, stebime aktyvaus slopinimo integracijos augimą.
Aktyviosios sistemos naudoja pjezoelektrinius pavaros mechanizmus ir realaus laiko jutiklius, kad „panaikintų“ vibracijas generuodamos priešdažnius. Tačiau aktyviųjų sistemų efektyvumą iš esmės riboja pagrindinės medžiagos slopinimo koeficientas. Būtent čia tampa labai svarbi ZHHIMG patirtis didelio slopinimo konstrukcinių medžiagų srityje. Derindami aktyviąją elektroniką su natūraliai inertišku granito arba kompoziciniu pagrindu, mes sukuriame „tyliąją zoną“, kurioje nanopozicionavimas gali vykti be trukdžių.
Be trinties judesio iškilimas: oro guolių technologija
Didesnio pralaidumo poreikis išstūmė tradicinius mechaninius guolius iš galios ribų. Trintis sukelia šilumą, o šiluma – šiluminį plėtimąsi – tikslumo priešą. Tai lėmė plačiai paplitusįOro guolių technologija tiksliems stoveliams.
Oro guoliai laiko apkrovą ant plonos suslėgto oro plėvelės, paprastai vos kelių mikronų storio. Kadangi nėra fizinio kontakto, nėra statinės trinties (susikimšimo). Tai leidžia:
-
Judėjimas be histerezės: užtikrinama, kad kiekvieną kartą staliuko koordinatė būtų ta pati.
-
Greičio pastovumas: labai svarbus skenavimo taikymams, pavyzdžiui, elektroninių spindulių patikrai, kur net menkiausias mechaninio guolio „sujudėjimas“ iškreiptų vaizdą.
-
Itin ilgaamžiškumas: Kadangi nėra besiliečiančių dalių, nėra susidėvėjimo ir dalelių susidarymo, todėl jie idealiai tinka 1 klasės švarioms patalpoms.
„ZHHIMG“ gaminame itin plokščius granito paviršius, kurie naudojami kaip šių oro guolių kreipiančiosios. Kad šie paviršiai tinkamai veiktų, jie turi būti šlifuoti iki lygumo, matuojamo šviesos bangos ilgio dalimis.
Puslaidininkių kapitalinės įrangos tendencijos: 2026 m. ir vėliau
Artėjant 2026 m.puslaidininkių kapitalinės įrangos tendencijosapibūdinami „trimis ramsčiais“: moduliarizacija, tvarumas ir šiluminė kontrolė.
-
Modulinės platformos dizainas: originalios įrangos gamintojai ieško „plug-and-play“ tipo bazinių modulių. Užuot projektavę naują pagrindą kiekvienam įrankiui, jie naudoja standartizuotus tikslius ZHHIMG pagrindus, kuriuos galima pritaikyti litografijai, metrologijai ar ėsdinimui.
-
Šilumos valdymas: Kadangi EUV (ekstremalių ultravioletinių spindulių) šviesos šaltiniai generuoja didžiulę šilumą, įrenginio pagrindas turi veikti kaip didžiulis šilumos kriauklė. Mes integruojame sudėtingus aušinimo kanalus tiesiai į savo mineralinius ir granito komponentus, kad išlaikytume $<0,01^\circ\text{C}$ delta.
-
Suderinamumas su vakuumu: Vis daugiau procesų pereinant į didelio vakuumo aplinką, naudojamos medžiagos turi būti be dujų išsiskyrimo. Mūsų specializuotas granito ir keramikos apdirbimas užtikrina, kad konstrukcinis pagrindas niekada nepakenktų vakuumo vientisumui.
Strateginė partnerystė su ZHHIMG
„ZHHIMG“ yra ne tik komponentų gamintoja; mes esame strateginis partneris judesio valdymo tiekimo grandinėje. Mūsų gamykla Kinijoje glaudžiai bendradarbiauja su inžinerijos komandomis Silicio slėnyje ir Eindhovene, kad išspręstų sudėtingiausius stabilumo iššūkius pramonėje.
Pasitelkdami savo patentuotus šlifavimo metodus ir gilų supratimą apievibracijos slopinimo metodai, mes padedame savo klientams peržengti Muro dėsnio ribas. Nesvarbu, ar kuriate naujos kartos ALD (atominio sluoksnio nusodinimo) įrankį, ar didelės spartos plokštelių zondavimo įrenginį, pamatai prasideda nuo ZHHIMG.
Išvada
Puslaidininkių gamybos evoliucija yra lenktynės su fizikos dėsniais. Artėjant 2026 m., dėmesys oro guolių tikslumui ir pažangiems slopinimo sprendimams tik didės. Norint neatsilikti nuo šių tendencijų, reikia pagrindo – tiek tiesiogine, tiek perkeltine prasme – paremto patirtimi ir inovacijomis.
Įrašo laikas: 2026 m. sausio 26 d.