Puslaidininkių gamybos pasaulyje, kuriame daug kas yra rizikinga, komponentai matuojami nanometrais, o gamybos tolerancijos reikalauja mikroskopinio tikslumo, šių technologijų pagrindas tampa nematomas, tačiau būtinas. „ZHHIMG“ dešimtmečius tobulino itin tikslių granito komponentų – nežinomų didvyrių, įgalinančių šiandienos pažangiausius gamybos procesus – gamybos meną ir mokslą. Būdami pasauline tiksliųjų granito sprendimų lydere, didžiuojamės galėdami pasidalinti, kaip mūsų 3100 kg/m³ tankio juodasis granitas iš naujo apibrėžia tai, kas įmanoma puslaidininkių litografijoje, metrologijos sistemose ir pažangiose gamybos platformose visame pasaulyje.
Šiuolaikinio tikslumo pagrindas: kodėl granitas?
Kai puslaidininkių gamintojai gamina lustus su 3 nm mazgų technologija, kai tranzistorių plotis artėja prie atskirų atomų dydžio, jie pasikliauja įranga, kuri turi išlaikyti stabilumą atomų lygmeniu. Būtent čia unikalios granito savybės tampa nepakeičiamos. Skirtingai nuo metalų lydinių, kurie plečiasi dėl temperatūros svyravimų, arba sintetinių kompozitų, kuriems trūksta ilgalaikio matmenų stabilumo, mūsų patentuotas juodasis granitas ZHHIMG® pasižymi išskirtinėmis šiluminės inercijos ir vibracijos slopinimo savybėmis. Mūsų medžiaga, kurios tankis yra 3100 kg/m³ – gerokai didesnis nei standartinio europietiško granito (paprastai 2600–2800 kg/m³), suteikia stabiliausią platformą tikslioms judesio valdymo sistemoms.
Apsvarstykite ekstremalaus ultravioletinio (EUV) litografijos iššūkius, kai optinės sistemos per kelias valandas turi išlaikyti subnanometrinį išdėstymą. Šias sistemas laikantis granito pagrindas turi atlaikyti net mikroskopines vibracijas, atsirandančias dėl gamyklos įrangos ar aplinkos pokyčių. Mūsų medžiagos vidinis slopinimo koeficientas sugeria 10–15 kartų daugiau vibracijos energijos nei plienas, rodo lyginamieji bandymai, atlikti su Nacionaline fizine laboratorija (JK). Šis našumo skirtumas tiesiogiai reiškia didesnę našumą ir mažesnį defektų skaičių puslaidininkių gamyboje – tai labai svarbus pranašumas pramonėje, kurioje viena prastovos sekundė gali kainuoti tūkstančius dolerių.
Inžinerinė kompetencija: nuo karjero iki kvantinio šuolio
Mūsų įsipareigojimas tikslumui prasideda nuo šaltinio. Turime išskirtinę prieigą prie aukščiausios kokybės granito telkinių, atrinktų dėl jų homogeninės kristalinės struktūros ir minimalios mineralinės įvairovės. Kiekvienas blokas šešis mėnesius natūraliai brandinamas, prieš patekdamas į mūsų 200 000 m² gamybos kompleksą netoli Dzinano, strategiškai įsikūrusią vietoje, iš kurios tiesiogiai patenkama į Čingdao uostą, iš kurio galima platinti visame pasaulyje. Mūsų gamybos pajėgumai yra neprilygstami: turėdami keturias Taivano „Nan Teh“ šlifavimo stakles (kiekvienos investicija viršija 500 000 USD), galime apdirbti pavienius komponentus, sveriančius iki 100 tonų, o jų matmenys siekia 20 m ilgio – šios galimybės neseniai leido mums pristatyti individualius etapus pirmaujančio EUV įrangos gamintojo naujos kartos sistemai.
Mūsų veiklos širdis – 10 000 m² ploto pastovios temperatūros ir drėgmės patalpa, kurioje kruopščiai kontroliuojamas kiekvienas aplinkos kintamasis. 1000 mm storio itin kietas betoninis grindys kartu su 500 mm pločio vibracijos izoliacijos tranšėjomis aplink gamybos zoną sukuria stabilią aplinką, kurioje temperatūros svyravimai palaikomi ±0,5 °C ribose. Toks aplinkos kontrolės lygis yra būtinas gaminant granito paviršiaus plokštes, kurių lygumo tolerancija yra mažesnė nei 0,5 μm, o ilgis viršija 6000 mm. Specifikacijos patikrintos naudojant mūsų „Renishaw“ lazerinius interferometrus ir „Mahr“ tikslumo matuoklius, kurie visi kalibruoti pagal nacionalinio metrologijos instituto standartus.
Pramonės standartų nustatymas: sertifikatai ir kokybės įsipareigojimas
Būdami vieninteliai tikslaus granito gamintojai, vienu metu turintys ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 ir CE sertifikatus, nustatėme kokybės standartus, kurie apibrėžia šią pramonės šaką. Mūsų kokybės politika – „Tikslusis verslas negali būti per daug reiklus“ – vadovauja kiekvienam mūsų veiklos aspektui – nuo žaliavų patikrinimo iki galutinio sertifikavimo. Ypač didžiuojamės savo metrologinių bandymų sistema, kurią sudaro vokiški „Mahr“ mikrometrai (0,5 μm skiriamoji geba), „Mitutoyo“ profilometrai ir šveicariški „WYLER“ elektroniniai nivelyrai, visi jie atsekami iki Kinijos nacionalinio metrologijos instituto ir reguliariai audituojami pagal tarptautines palyginimo programas su „Physikalisch-Technische Bundesanstalt“ (Vokietija) ir Nacionaliniu standartų ir technologijos institutu (JAV).
Šis bekompromisis požiūris pelnė mums partnerystes su pramonės lyderiais, įskaitant „GE“, „Samsung“ ir ASML tiekėjus. Kai dideliam puslaidininkių įrangos gamintojui reikėjo nestandartinių granito oro guolių pakopų savo 300 mm plokštelių tikrinimo sistemoms, mūsų gebėjimas kas mėnesį pagaminti 20 000 tikslių lovų mazgų užtikrino, kad jie laikytųsi gamybos pradžios terminų. Panašiai ir mūsų bendradarbiavimas su Singapūro Nanyang technologijos universitetu anglies pluoštu armuotų granito kompozitų srityje peržengia lengvų tiksliųjų konstrukcijų, skirtų naujos kartos metrologijos sistemoms, ribas.
Už gamybos ribų: matavimo mokslo pažanga
„ZHHIMG“ vadovaujamės filosofija „jei negali išmatuoti, negali ir pagaminti“. Šis įsitikinimas skatina mūsų nuolatinę mokslinių tyrimų partnerystę su tokiomis institucijomis kaip Stokholmo universiteto Tiksliosios inžinerijos laboratorija ir Kinijos Čangčuno optikos institutas. Kartu kuriame naujas matavimo metodikas, kurios peržengia tradicinio lytėjimo zondavimo ribas ir apima optinę interferometriją bei kompiuterinę tomografiją didelių granito komponentų vidinio įtempio analizei. Neseniai pasiektas proveržis naudojant ultragarsinius bandymus vidinėms kristalinėms struktūroms kartografuoti sumažino medžiagų atmetimo rodiklius 37 % ir pagerino ilgalaikio stabilumo prognozes.
Mūsų atsidavimas matavimo mokslo tobulinimui atsispindi mūsų moderniausioje metrologijos laboratorijoje, kurioje yra 100 klasės švari patalpa, specialiai sukurta puslaidininkių įrangos komponentų surinkimui. Čia mes imituojame savo klientų gamybos aplinką, siekdami užtikrinti, kad mūsų granito pagrindai išlaikytų nanometrų lygio tikslumą realiomis eksploatavimo sąlygomis. Toks įsipareigojimas leido mums būti patikimu partneriu įvairioms organizacijoms – nuo NASA reaktyvinio judėjimo laboratorijos iki pažangiausių kvantinių skaičiavimų startuolių, kuriančių klaidų taisymo būdu sukurtas kubitų sistemas.
Kuriame ateitį: tvarumas ir inovacijos
Tobulėjant tiksliajai gamybai, tobulėja ir mūsų požiūris į tvarią gamybą. Mūsų ISO 14001 sertifikatas atspindi mūsų įsipareigojimą atsakingai valdyti išteklius, įskaitant vandens perdirbimo sistemas, kurios surenka ir apdoroja 95 % mūsų šlifavimo aušinimo skysčio, ir saulės energijos įrenginį, kuris padengia 28 % mūsų elektros energijos poreikių. Taip pat sukūrėme patentuotus deimantinio vielinio pjovimo metodus, kurie, palyginti su tradiciniais apdorojimo metodais, 40 % sumažina medžiagų atliekas – tai reikšminga pažanga pramonėje, kurioje žaliavų sąnaudos sudaro iki 35 % gamybos sąnaudų.
Žvelgdami į ateitį, mūsų tyrimų ir plėtros komanda daugiausia dėmesio skiria trims transformacinėms sritims: jutiklių tinklų integravimui tiesiai į granito struktūras, siekiant stebėti jų būklę realiuoju laiku, gradientinio tankio kompozitų, kurie optimizuoja standumo ir svorio santykį, kūrimui ir novatoriškų dirbtinio intelekto valdomų nuspėjamųjų priežiūros sistemų, skirtų mūsų gamybos įrangai, kūrimui. Šios inovacijos remiasi mūsų daugiau nei 20 tarptautinių patentų palikimu ir suteikia mums galimybę remti naujos kartos puslaidininkių gamybą, įskaitant 2 nm ir modernesnes procesų technologijas.
Pramonėje, kurioje tikslumas apibrėžia galimybes, „ZHHIMG“ ir toliau nustato itin tikslių granito komponentų standartą. Medžiagų mokslo patirties, gamybos apimties (20 000 vienetų per mėnesį) ir bekompromisės kokybės kontrolės derinys pavertė mus pasirinktu partneriu įmonėms, plečiančioms pažangios gamybos ribas. Puslaidininkių gamintojams susiduriant su mažesnių mazgų, didesnio tankio ir sudėtingesnių 3D architektūrų iššūkiais, jie gali pasikliauti „ZHHIMG“ tikslaus granito sprendimais, kurie suteiks stabilų pagrindą technologijų ateities kūrimui.
For technical specifications, certification documentation, or to discuss custom solutions for your precision manufacturing challenges, contact our engineering team at info@zhhimg.com or visit our technology center in Jinan, where we maintain a fully equipped demonstration lab showcasing our latest innovations in ultra-precision measurement and manufacturing.
Įrašo laikas: 2025 m. spalio 31 d.