Granito platforma, kaip etaloninis įrankis tiksliam matavimui ir apdorojimui, jos tikslumo priežiūra tiesiogiai veikia gamybos kokybę. Toliau pateikiamas sistemingas priežiūros planas, apimantis aplinkos kontrolę, kasdienę priežiūrą ir profesionalų kalibravimą, siekiant užtikrinti, kad platforma ilgą laiką išlaikytų nanometrų lygio tikslumą.
1. Aplinkos kontrolė: pastatykite tikslią apsaugos užtvarą
Temperatūros ir drėgmės valdymas
Darbo aplinkos temperatūra turi būti stabili 20 ± 1 ℃. Kiekvienas 1 ℃ svyravimas sukels granito platformos terminę deformaciją 0,5–1 μm/m greičiu. Dirbtuvėse galima įrengti pastovios temperatūros sistemą, kad oro kondicionavimo išleidimo angos nepūstų tiesiai ant platformos.
Drėgmė turėtų būti kontroliuojama nuo 40 % iki 60 %. Per didelė drėgmė gali lengvai sukelti metalinių dalių rūdijimą, o per maža drėgmė gali sukelti statinės elektros trukdžius matavimo metu.
Vibracijos izoliacija
Platformą reikia laikyti atokiau nuo vibracijos šaltinių, tokių kaip štampavimo ir frezavimo staklės. Rekomenduojama išlaikyti daugiau nei 3 metrų atstumą nuo vibracijos įrangos.
Jei vibracijos išvengti neįmanoma, platformos apačioje galima sumontuoti pneumatinius amortizatorius, kurie sumažina aplinkos vibracijos poveikį platformos lygumui (tai gali sumažinti išorinę vibraciją daugiau nei 80 %).
2. Kasdienė priežiūra: Kruopšti kontrolė nuo valymo iki apsaugos
Paviršių valymo specifikacija
Dulkių šalinimas: Kasdien valykite paviršių elnio kailiu arba nepūkuota šluoste ta pačia kryptimi, kad dulkių dalelės (≥5 μm) nesubraižytų platformos. Įsisenėjusias dėmes galima švelniai nuvalyti bevandeniu etanoliu (grynumas ≥99,7 %). Negalima naudoti stiprių tirpiklių, tokių kaip acetonas.
Riebalų šalinimas: jei ant paviršiaus pateko aliejaus dėmių, nuvalykite jį praskiestu neutraliu valikliu, tada nuplaukite dejonizuotu vandeniu ir leiskite išdžiūti ore, kad mineralinė alyva nepatektų į mažas platformos poras.
Apsauga nuo apkrovos ir susidūrimo
Platformos laikomoji galia turėtų būti kontroliuojama 70 % vardinės apkrovos ribose (pavyzdžiui, 1000 kg platformai rekomenduojama apkrova ≤700 kg), kad būtų išvengta nuolatinės deformacijos, kurią sukelia vietinė perkrova.
Griežtai draudžiama daužyti ruošinius ant platformos. Dirbant su įrankiais, mūvėkite minkštas pirštines, kad aštrūs daiktai nesubraižytų paviršiaus (įbrėžimai, kurių gylis didesnis nei 20 μm, turės įtakos atspindėtos šviesos kelio matavimui).
3. Profesionalus kalibravimas: mokslinio tikslumo palaikymo pagrindas
Kalibravimo ciklo nustatymas
Įprastiniai naudojimo scenarijai: kalibruokite kartą per ketvirtį ir naudokite lazerinį interferometrą plokštumos lygiui nustatyti (±0,5 μm/m tikslumu).
Dažnai naudojamas arba atšiauriomis sąlygomis: mėnesinis kalibravimas, daugiausia dėmesio skiriant temperatūrai jautrių sričių (pvz., platformos krašto šalia šilumos šaltinių) stebėjimui.
Apdorojimas po kalibravimo
Jei aptinkamas lygumo nuokrypis (pvz., > ±1 μm/m), profesionalus technikas turi jį nušlifuoti ir pataisyti naudodamas W1.5 mikromiltelius. Savaiminis šlifavimas švitriniu popieriumi yra griežtai draudžiamas.
Po kalibravimo duomenys turėtų būti užregistruoti ir archyvuoti, o platformos tikslumo silpnėjimo kreivė turėtų būti sudaryta, kad būtų galima iš anksto numatyti priežiūros poreikius.
4. Sandėliavimas ir transportavimas: venkite paslėptų tikslumo nuostolių
Svarbiausi ilgalaikio saugojimo aspektai
Sandėliuojant, platforma turi būti uždengta drėgmei ir dulkėms atsparia danga. Dugnas turi būti paremtas trimis taškais (atraminis taškas yra 2/9 platformos ilgio), kad būtų išvengta gravitacijos sukeltos lenkimo deformacijos (1 metro platforma gali įlinkti 0,3 μm dėl ilgalaikio vieno taško atramos).
Reguliariai (kas mėnesį) keiskite platformos atramos taškų padėtį, kad išvengtumėte ilgalaikio vietinio spaudimo.
Transporto apsaugos planas
Gabenimas trumpais atstumais: apvyniokite smūgius sugeriančia puta, pritvirtinkite prie tvirto rėmo ir išlaikykite pagreitį neviršijantį 2 g.
Didelių atstumų transportavimas: reikia vakuuminiu būdu supakuoti ir pripildyti sauso azoto. Atvykus, prieš išpakuojant, palikti 24 valandas, kol temperatūra pasieks pusiausvyrą, kad kondensatas nepaveiktų tikslumo.
5. Gedimų prognozavimas: ankstyvų problemų nustatymo metodai
Vizualinė apžiūra: reguliariai stebėkite paviršių 40 kartų didinamuoju stiklu. Jei pastebite nuolatinių įbrėžimų arba žymiai sumažėjęs blizgesys, tai gali reikšti tikslumo sumažėjimą.
Garso aptikimas: švelniai bakstelėkite platformą. Jei garsas užkimusi (paprastai jis turėtų būti aiškus), viduje gali būti mikroįtrūkimų. Nedelsdami nustokite ją naudoti, kad būtų atliktas aptikimas.
Dėl šios priežiūros sistemos ZHHIMG® granito platforma gali išlaikyti ±1 μm/m lygumą 10 metų, o tai yra daugiau nei tris kartus ilgiau nei netinkamai prižiūrimų platformų tikslumo tarnavimo laikas. Praktika įrodė, kad tam tikrai puslaidininkių gamyklai pritaikius šį sprendimą, platformos kalibravimo dažnumas sumažėjo 50 %, o metinės priežiūros išlaidos buvo sutaupytos daugiau nei 150 000 juanių.
Įrašo laikas: 2025 m. birželio 18 d.