Medžiaga

♦ aliuminio oksidas (Al2O3)

Tikslios keraminės dalys, pagamintos „ZhongHui Intelligent Manufacturing Group“ (ZHHIMG), gali būti pagamintos iš labai grynų keraminių žaliavų, 92–97% aliuminio oksido, 99,5% aliuminio oksido,> 99,9% aliuminio oksido ir šalto izostatinio presavimo. Aukštos temperatūros sukepinimas ir tikslus apdirbimas, matmenų tikslumas ± 0,001 mm, lygumas iki Ra0,1, naudojimo temperatūra iki 1600 laipsnių. Įvairių spalvų keramika gali būti pagaminta pagal klientų reikalavimus, pavyzdžiui: juoda, balta, smėlio, tamsiai raudona ir tt ilgą laiką naudojamas aukštos temperatūros, vakuumo ir korozinių dujų aplinkoje.

Plačiai naudojamas įvairioje puslaidininkių gamybos įrangoje: rėmai (keraminis laikiklis), pagrindas (pagrindas), svirtis/ tiltas (manipuliatorius), mechaniniai komponentai ir keraminiai oro guoliai.

AL2O3

Aukšto grynumo aliuminio oksido keramikos panaudojimas:
1. Taikoma puslaidininkinei įrangai: keraminis vakuuminis griebtuvas, pjovimo diskas, valymo diskas, keraminis CHUCK.
2. Vaflių perdavimo dalys: plokštelių tvarkymo griebtuvai, plokštelių pjovimo diskai, vaflių valymo diskai, plokštelių optiniai tikrinimo siurbtukai.
3. LED / LCD plokščių ekranų pramonė: keraminis antgalis, keraminis šlifavimo diskas, LIFT PIN, PIN bėgelis.
4. Optinis ryšys, saulės pramonė: keraminiai vamzdžiai, keraminiai strypai, plokštės šilkografijos keramikos grandikliai.
5. Karščiui atsparios ir elektrą izoliuojančios dalys: keraminiai guoliai.
Šiuo metu aliuminio oksido keramiką galima suskirstyti į aukšto grynumo ir įprastą keramiką. Aukšto grynumo aliuminio oksido keramikos serija reiškia keraminę medžiagą, kurioje yra daugiau kaip 99,9% Al₂O₃. Dėl sukepinimo temperatūros iki 1650–1990 ° C ir pralaidumo bangos ilgio 1–6 μm, jis paprastai perdirbamas į lydytą stiklą, o ne platinos tiglį: dėl šviesos pralaidumo ir atsparumo korozijai jis gali būti naudojamas kaip natrio vamzdis. šarminio metalo. Elektronikos pramonėje jis gali būti naudojamas kaip aukšto dažnio izoliacinė medžiaga IC substratams. Pagal skirtingą aliuminio oksido turinį, įprastą aliuminio oksido keramikos seriją galima suskirstyti į 99 keramikos, 95 keramikos, 90 keramikos ir 85 keramikos gaminius. Kartais keramika, kurioje yra 80% arba 75% aliuminio oksido, taip pat klasifikuojama kaip įprastos aliuminio oksido keramikos serijos. Iš jų 99 aliuminio oksido keramikos medžiagos naudojamos aukštos temperatūros tigliui, ugniai atspariam krosnies vamzdžiui ir specialioms dilimui atsparioms medžiagoms, tokioms kaip keraminiai guoliai, keraminiai sandarikliai ir vožtuvų plokštės, gaminti. 95 aliuminio keramika dažniausiai naudojama kaip korozijai atspari dilimui atspari dalis. 85 keramika dažnai maišoma pagal kai kurias savybes, taip pagerinant elektrines savybes ir mechaninį stiprumą. Jis gali naudoti molibdeną, niobį, tantalą ir kitus metalinius sandariklius, o kai kurie naudojami kaip elektriniai vakuuminiai prietaisai.

 

Kokybės elementas (reprezentatyvi vertė) produkto pavadinimas AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Cheminės sudėties mažai natrio lengvai sukepantis produktas H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Daug juoko % 0,1 0.2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0.11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Vidutinis dalelių skersmuo (MT-3300, lazerio analizės metodas) μm 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α kristalų dydis μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0,3 ~ 1,0 0,3–4 0,3–4
Formavimo tankis ** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Sukepimo tankis ** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Sukepimo linijos susitraukimo greitis ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO neįtraukiamas į Al₂O₃ grynumo skaičiavimą.
* Nėra mastelio 29,4 MPa (300 kg/cm²), sukepinimo temperatūra yra 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Įpilkite 0,05 ~ 0,1% MgO, sukepinimas yra puikus, todėl jis taikomas aliuminio oksido keramikai, kurios grynumas yra didesnis nei 99%.
AES-22S: pasižymi dideliu formavimo tankiu ir mažu sukepinimo linijos susitraukimo greičiu, jis taikomas liejimo formoms ir kitiems didelio masto gaminiams su reikiamu matmenų tikslumu.
AES-23 / AES-31-03: Jis turi didesnį formavimo tankį, tiksotropiją ir mažesnį klampumą nei AES-22S. Pirmasis naudojamas keramikai, o antrasis naudojamas kaip vandens reduktorius ugniai atsparioms medžiagoms, populiarėja.

♦ Silicio karbido (SiC) charakteristikos

Bendrosios charakteristikos Pagrindinių komponentų grynumas (masės%) 97
Spalva Juoda
Tankis (g/cm³) 3.1
Vandens absorbcija (%) 0
Mechaninės charakteristikos Lenkimo stipris (MPa) 400
Jaunasis modulis (GPa) 400
Vickers kietumas (GPa) 20
Šiluminės charakteristikos Maksimali darbinė temperatūra (° C) 1600
Šiluminio plėtimosi koeficientas RT ~ 500 ° C 3.9
(1/° C x 10-6) RT ~ 800 ° C 4.3
Šilumos laidumas (W/m x K) 130 110
Atsparumas šiluminiams smūgiams ΔT (° C) 300
Elektros charakteristikos Tūrio varža 25 ° C 3 x 106
300 ° C temperatūroje -
500 ° C -
800 ° C temperatūroje -
Dielektrinė konstanta 10 GHz -
Dielektrinis nuostolis (x 10-4) -
Q faktorius (x 104) -
Dielektrinė gedimo įtampa (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Silicio nitrido keramika

Medžiaga Vienetas Si₃N₄
Sterilizavimo metodas - Dujų slėgis sukepintas
Tankis g/cm³ 3.22
Spalva - Tamsiai pilka
Vandens absorbcijos greitis % 0
Jaunasis modulis Gpa 290
Vickerso kietumas Gpa 18–20
Suspaudimo jėga Mpa 2200
Lenkimo jėga Mpa 650
Šilumos laidumas W/mK 25
Atsparumas šiluminiams smūgiams Δ (° C) 450-650
Maksimali darbinė temperatūra ° C 1200
Apimties atsparumas Ω · cm > 10 ^ 14
Dielektrinė konstanta - 8.2
Dielektrinė jėga kV/mm 16