Granitinių oro guolių kreiptuvų ir mechaninių ritininių sistemų pasirinkimas

Siekiant naujos kartos puslaidininkių gamybos ir submikroninės metrologijos, „pagrindas“ ir „kelias“ yra du svarbiausi kintamieji. Mašinų konstruktoriams siekiant didesnio našumo ir nanometrų lygio pakartojamumo, pasirinkimas tarpgranito oro guolio kreiptuvasir tradicinis ritininis guolis tapo esminiu inžineriniu sprendimu. Be to, pačios mašinos pagrindo medžiaga – lyginant granitą ir didelio našumo keramiką – lemia visos sistemos šilumines ir vibracines ribas.

Granitinių oro guolių ir ritininių guolių kreiptuvų palyginimas

Esminis šių dviejų sistemų skirtumas yra jų apkrovos palaikymo ir trinties valdymo metodas.

Granito oro guolių kreiptuvaiatstovauja trinties neturinčio judėjimo viršūnei. Naudojant ploną suslėgto oro plėvelę (paprastai nuo 5 iki 20 mikronų), judantis vežimėlis tiesiogine prasme yra pakeliamas virš granito kreipiančiosios bėgio.

• Nulinė trintis ir nusidėvėjimas:Kadangi nėra fizinio kontakto, nėra ir „susikimšimo“ (statinės trinties), kurią reikėtų įveikti, ir sistema niekada nesusidėvi. Tai leidžia skenuoti neįtikėtinai sklandžiai, pastoviu greičiu.

• Klaidų vidurkinimas:Vienas iš svarbiausių oro guolių privalumų yra jų gebėjimas „išlyginti“ granito bėgio mikroskopinius paviršiaus apdailos nelygumus, todėl judesys yra tiesesnis nei pats bėgis.

• Švara:Šie kreiptuvai, nereikalaujant tepimo, yra suderinami su švariomis patalpomis, todėl yra standartinis plokštelių tikrinimo ir plokščiųjų ekranų gamybos įrankis.

Ritininių guolių kreiptuvai, atvirkščiai, remiasi fiziniu didelio tikslumo plieninių volelių arba rutulių kontaktu.

• Aukščiausia keliamoji galia:Taikant sritis, kuriose naudojamos didelės naudingosios apkrovos arba didelės pjovimo jėgos (pvz., tikslusis šlifavimas), ritininiai guoliai pasižymi žymiai didesniu standumu ir laikomąja galia.

• Operacinis paprastumas:Skirtingai nuo oro guolių, kuriems reikalingas nuolatinis, itin švarus suspausto oro tiekimas ir filtravimo sistemos, ritininiai guoliai yra „įjunk ir naudok“ tipo.

• Kompaktiškas dizainas:Mechaniniai guoliai dažnai gali atlaikyti didesnes apkrovas mažesniame plote, palyginti su didesniu paviršiaus plotu, reikalingu efektyviam oro guolio padui.

Nors ritininiai guoliai yra tvirti ir ekonomiški, siekiant bendro tikslumo, pneumatiniai guoliai yra neginčijamas pasirinkimas tose srityse, kur „kontaktas“ yra tikslumo priešas.

Oro guolių kreiptuvų pritaikymas: kur tikslumas atitinka sklandumą

Oro guolių kreiptuvų pritaikymas išsiplėtė už laboratorijos ribų ir pradėjo taikyti didelio masto pramoninę gamybą.

ĮPuslaidininkių pramonėOro guoliai naudojami litografijoje ir plokštelių zondavime. Galimybė judėti dideliu greičiu be vibracijos užtikrina, kad nuskaitymo proceso metu nanometro skalės grandinėje neatsiras artefaktų.

In Skaitmeninis vaizdavimas ir didelio formato skenavimas, pastovus oro guolio greitis yra labai svarbus. Bet koks mechaninio guolio „užkemšimas“ ar vibracija galutiniame didelės skiriamosios gebos vaizde sukeltų „juostavimą“ arba iškraipymą.

Koordinatinės matavimo mašinos (KMM)Pasikliaukite granito pneumatiniais guoliais, kad zondas galėtų judėti kuo lengviau prisiliečiant. Trinties nebuvimas leidžia mašinos valdymo sistemai akimirksniu reaguoti į mažiausius matuojamos detalės paviršiaus pokyčius.

Medžiagos pagrindas: granitas ir keramika mašinų pagrindams

Bet kurios kreipiamosios sistemos našumą riboja pagrindo, ant kurio ji pritvirtinta, stabilumas. Dešimtmečius granitas buvo pramonės standartas, tačiau pažangi keramika (pvz., aliuminio oksidas arba silicio karbidas) skinasi kelią į itin našias taikymo sritis.

Granito mašinų pagrindaiišlieka pageidaujamu pasirinkimu 90 % didelio tikslumo taikymų.

• Slopinimo savybės:Granitas natūraliai geriau sugeria aukšto dažnio vibracijas, o tai labai svarbu metrologijai.

• Sąnaudų efektyvumas:Didelio masto pagrindams (iki kelių metrų) granitas yra žymiai ekonomiškesnis tiekti ir apdoroti nei techninė keramika.

• Terminė inercija:Dėl didelės granito masės jis lėtai reaguoja į aplinkos temperatūros pokyčius, todėl ilgalaikiams matavimams yra stabili aplinka.

Keraminiai mašinų pagrindai(ypač aliuminio oksidas) naudojami, kai reikalingas „aukščiausias“ našumas.

• Didelis standumo ir svorio santykis:Keramika yra daug standesnė nei granitas, esant tokiam pačiam svoriui. Tai leidžia judantiems pakopoms greičiau ir greičiau sulėtėti, nedeformuojant pagrindo.

• Ypatingas terminis stabilumas:Kai kurių keramikų šiluminio plėtimosi koeficientas (CTE) yra dar mažesnis nei granito, o didesnis jų šilumos laidumas leidžia pagrindui greičiau pasiekti šiluminę pusiausvyrą.

• Kietumas:Keramika yra praktiškai atspari įbrėžimams ir cheminiam erozijai, nors ji yra trapesnė ir žymiai brangesnė gaminti dideliais formatais.

ZHHIMG įsipareigojimas medžiagų mokslui

„ZHHIMG“ įmonėje tikime, kad geriausias sprendimas retai kada būna universalus. Mūsų inžinierių komanda specializuojasi šių technologijų hibridinėje integracijoje. Dažnai naudojame granito pagrindo vibraciją slopinančią masę, kad palaikytume pneumatinio guolio kreiptuvo judėjimą be trinties, kartais įterpdami keraminius įdėklus kritinėse didelio nusidėvėjimo ar didelio standumo vietose.

Kaip pirmaujantis gamintojas, pasaulinei rinkai teikiame aukščiausios kokybės granito geologinį tikrumą ir šiuolaikinių judėjimo sistemų techninį sudėtingumą. Mūsų gamybos įmonėje derinama tradicinė rankinio šlifavimo patirtis – įgūdis, reikalingas norint pasiekti pneumatiniams guoliams reikalingą plokštumą – su moderniausiu CNC apdirbimu ir lazerine interferometrija.

Išvada: Jūsų sėkmės kūrimas

Pasirinkimas tarp granito ir keramikos arba tarp oro ir mechaninių guolių galiausiai lemia jūsų technologijos veikimo ribas. Aviacijos ir kosmoso, puslaidininkių ir metrologijos sektorių inžinieriams šių kompromisų supratimas yra raktas į inovacijas. „ZHHIMG Group“ ir toliau plečia tikslaus judėjimo galimybių ribas, užtikrindama, kad jūsų mašina stovėtų ant absoliutaus stabilumo pagrindo ir judėtų neprilygstamu tikslumu.