Tikslioji puslaidininkių gamybos revoliucija: kai granitas susitinka su mikronų technologija
1.1 Netikėti atradimai medžiagų moksle
Remiantis 2023 m. Tarptautinės puslaidininkių asociacijos SEMI ataskaita, 63 % pažangių pasaulio gamyklų pradėjo naudoti granito pagrindus vietoj tradicinių metalinių platformų. Šis natūralus akmuo, susidaręs dėl magmos kondensacijos giliai Žemėje, perrašo puslaidininkių gamybos istoriją dėl savo unikalių fizinių savybių:
Šiluminės inercijos pranašumas: granito šiluminio plėtimosi koeficientas 4,5 × 10⁻⁶/℃ yra tik 1/5 nerūdijančio plieno koeficiento, o matmenų stabilumas ±0,001 mm išlieka net ir dirbant litografijos aparatu.
Vibracijos slopinimo charakteristikos: vidinė trinties koeficientas yra 15 kartų didesnis nei ketaus, todėl efektyviai sugeria įrangos mikrovibraciją.
Nulinis įmagnetėjimas: visiškai pašalina magnetinę paklaidą lazerio matavimuose
1.2 Metamorfozės kelionė nuo manosios iki gamyklos
Pavyzdžiui, Šandongo provincijoje įsikūrusios ZHHIMG intelektualios gamybos bazės atveju, neapdoroto granito gabalas turi būti apdorotas:
Itin tikslus apdirbimas: penkių ašių jungties apdirbimo centras, skirtas 200 valandų nepertraukiamo frezavimo, paviršiaus šiurkštumas iki Ra0,008 μm
Dirbtinis sendinimas: 48 valandos natūralaus įtempio išlaisvinimo pastovios temperatūros ir drėgmės dirbtuvėse, o tai 40 % pagerina produkto stabilumą.
Antra, išspręskite šešias puslaidininkių gamybos tikslumo problemas „uolienų sprendimas“
2.1 Plokštelių fragmentacijos greičio mažinimo schema
Atvejo demonstravimas: po to, kai Vokietijos drožlių liejykla pradeda naudoti mūsų dujomis plaukiojančią granito platformą:
| Vaflinės skersmuo | lustų greičio sumažinimas | lygumo pagerinimas |
| 12 colių | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 colių | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Litografinio lygiavimo tikslumo proveržio schema
Temperatūros kompensavimo sistema: įmontuotas keraminis jutiklis realiuoju laiku stebi formos kintamąjį ir automatiškai reguliuoja platformos pasvirimą
Išmatuoti duomenys: esant 28 ℃ ± 5 ℃ temperatūros svyravimams, įterpimo tikslumas svyruoja mažiau nei 0,12 μm
Įrašo laikas: 2025 m. kovo 24 d.