Aukščiausios klasės gamybos ir pažangiausių mokslinių tyrimų srityje itin tikslus oro plūdės judesio modulis tapo pagrindine įranga, užtikrinančia tikslų valdymą ir matavimą, pasižyminčia puikiu tikslumu. Granito tikslumo pagrindas, kaip atraminė šerdis, turi griežtus darbo aplinkos reikalavimus, o tinkamos aplinkos sąlygos yra pagrindas, užtikrinantis stabilų veikimą ir geriausią efektą.
Pirma, temperatūros kontrolė: tikslus „stabilizatorius“
Nors granitas yra žinomas dėl savo stabilumo, jis nėra visiškai atsparus temperatūros pokyčiams. Nors jo šiluminio plėtimosi koeficientas yra mažas, paprastai 5–7 × 10⁻⁶/℃, itin tikslaus judesio valdymo scenarijuose nedideli temperatūros svyravimai vis tiek gali sukelti matmenų pokyčius ir paveikti modulio tikslumą. Puslaidininkių lustų gamybos ceche litografijos procesui reikalingas danami lygio padėties nustatymo tikslumas, o aplinkos temperatūra svyruoja 1 °C, o granito pagrindas, kurio kraštinės ilgis yra 1 metras, gali sukelti 5–7 mikronų linijinį išsiplėtimą arba susitraukimą. Šį nedidelį pokytį perduoda itin tikslus oro srauto judesio modulis, kurio pakanka, kad lustų litografijos raštas nukryptų ir gerokai sumažėtų išeiga. Todėl, aprūpintas granito tiksliu pagrindu veikiančiu oro plūduriuojančiu itin tiksliu judesio moduliu, ideali darbo aplinkos temperatūra turėtų būti kontroliuojama 20 °C ± 1 °C temperatūroje, naudojant didelio tikslumo pastovios temperatūros įrangą, pvz., pastovios temperatūros ir drėgmės oro kondicionavimo sistemą, nuolat stebint ir reguliuojant aplinkos temperatūrą, siekiant užtikrinti, kad temperatūros svyravimai labai mažame diapazone išlaikytų pagrindo dydžio stabilumą, siekiant užtikrinti didelio tikslumo modulio veikimą.
Antra, drėgmės valdymas: raktas į drėgmei atsparią apsaugą „akmuo“
Drėgmė yra dar vienas svarbus veiksnys, turintis įtakos tikslaus granito pagrindo veikimui. Didelės drėgmės aplinkoje granitas lengvai sugeria vandens garus, todėl paviršiuje gali susidaryti kondensatas. Tai ne tik paveikia granito ir itin tikslaus oro plūdės judesio modulio sujungimo stabilumą, bet ir ilgainiui gali sukelti paviršiaus eroziją bei sumažinti blizgesį ir tikslumą. Optinių lęšių šlifavimo dirbtuvėse, jei drėgmė ilgą laiką yra didesnė nei 60 % santykinė drėgmė, ant granito pagrindo paviršiaus adsorbuoti vandens garai trukdys dujų plūdės slankiklio judėjimui, todėl sumažės lęšių šlifavimo tikslumas ir paviršius bus nelygus. Todėl santykinė darbo aplinkos drėgmė turėtų būti griežtai kontroliuojama nuo 40 % iki 60 % santykinės drėgmės, kurią galima stebėti ir reguliuoti realiuoju laiku įrengiant sausintuvus, drėgmės jutiklius ir kitą įrangą, kad būtų išvengta granito pagrindo pažeidimų dėl didelės drėgmės ir užtikrintas sklandus itin tikslaus oro plūdės judesio modulio veikimas.
Trečia, švaros garantija: tikslumo „sargas“
Dulkių dalelių daromos žalos itin tikslaus judesio modulio, naudojamo oro flotacijai, tiksliam granito pagrindui negalima nuvertinti. Kai mažytės dalelės patenka į dujų plėvelės tarpą tarp dujų plūdės slankiklio ir granito pagrindo, jos gali pažeisti dujų plėvelės vienodumą, padidinti trintį ir net subraižyti pagrindo paviršių, todėl sumažėja judėjimo tikslumas. Kosmoso detalių itin tikslaus apdirbimo dirbtuvėse, jei ore esančios dulkių dalelės nukrenta ant granito pagrindo, apdirbimo įrankio judėjimo trajektorija gali nukrypti, o tai turi įtakos detalių apdirbimo tikslumui. Todėl darbo vieta turi būti labai švari, siekiant 10 000 ar net aukštesnio švaros lygio, įrengiant oro valymo įrangą, pvz., didelio efektyvumo oro filtrus (HEPA), kurie filtruoja ore esančias dulkių daleles. Tuo pačiu metu darbuotojai turi dėvėti dulkių neperpučiamus drabužius, batų uždangalus ir kt., kad sumažintų žmonių įnešamų dulkių kiekį. Palaikykite granito pagrindo ir itin tikslaus judesio modulio didelio tikslumo darbo aplinką.
Keturi, vibracijos izoliacija: sklandus „smūginės pagalvėlės“ veikimas
Išorinė vibracija yra itin tikslaus oro plūdės judesio modulio tikslumo priešas. Nors tikslus granito pagrindas turi tam tikrą vibracijos slopinimo gebėjimą, didelio stiprumo vibracija vis tiek gali viršyti savo buferio ribą. Gamyklos aplinkoje esančio eismo ir didelių mechaninių įrenginių veikimo sukeliama vibracija perduodama į granito pagrindą per žemę, o tai trukdo itin tikslaus oro plūdės judesio modulio judėjimo tikslumui. Aukštos klasės KMM vibracija gali sukelti nestabilų matavimo zondo ir matuojamo ruošinio kontaktą, dėl kurio matavimo duomenys gali nukrypti. Norint išspręsti šią problemą, būtina imtis veiksmingų vibracijos izoliavimo priemonių, pavyzdžiui, įrangos montavimo vietoje įrengti vibracijos izoliacijos pagalvėles, pastatyti vibracijos izoliacijos pagrindą arba naudoti aktyvią vibracijos izoliacijos sistemą, kad būtų aktyviai kompensuojama išorinė vibracija, ir sukurti ramią bei stabilią granito tikslaus pagrindo ir itin tikslaus oro plūdės judesio modulio darbo aplinką.
Tik visiškai patenkinus aplinkos temperatūros, drėgmės, švaros ir vibracijos kontrolės reikalavimus, itin tikslaus judesio modulio granito tikslusis pagrindas gali visapusiškai išnaudoti savo našumo pranašumus, užtikrinti patikimą itin tikslių operacijų įvairiose srityse garantiją ir padėti pramonei siekti aukštesnio tikslumo gamybos ir mokslinių tyrimų lygio.
Įrašo laikas: 2025 m. balandžio 8 d.