Puslaidininkių gamybos ceche lustų gamybos proceso reikalavimai aplinkos sąlygoms ir įrangos tikslumui yra itin aukšti, ir bet koks nedidelis nukrypimas gali lemti reikšmingą lustų išeigos sumažėjimą. XYZT tikslaus portalo judėjimo platforma remiasi granito komponentais, kurie bendradarbiauja su kitomis platformos dalimis ir sukuria tvirtą pagrindą nanoskalės tikslumui pasiekti.
Puikios vibracijos blokavimo savybės
Puslaidininkių gamybos ceche periferinės įrangos veikimas ir aplink vaikštantis personalas gali sukelti vibraciją. Granito komponentų vidinė struktūra yra tanki ir vienoda, pasižymi natūraliomis didelėmis slopinimo savybėmis, tarsi efektyvus vibracijos „barjeras“. Kai išorinė vibracija perduodama į XYZT platformą, granito komponentas gali efektyviai slopinti daugiau nei 80 % vibracijos energijos ir sumažinti vibracijos įtaką platformos judėjimo tikslumui. Tuo pačiu metu platforma aprūpinta didelio tikslumo oro plūdės kreiptuvų sistema, kuri veikia kartu su granito komponentais. Oro plūdės kreiptuvas naudoja stabilią dujų plėvelę, suformuotą iš aukšto slėgio dujų, kad realizuotų bekontaktį judančių platformos dalių judėjimą ir sumažintų nedidelę mechaninės trinties sukeliamą vibraciją. Kartu šie du komponentai užtikrina, kad platformos padėties nustatymo tikslumas visada būtų išlaikomas nanometrų lygmenyje tokiuose pagrindiniuose procesuose kaip lustų litografija ir ėsdinimas, ir išvengtų vibracijos sukeltų lustų grandinės modelių nukrypimų.
Puikus terminis stabilumas
Temperatūros ir drėgmės svyravimai dirbtuvėse daro didelę įtaką lustų gamybos įrangos tikslumui. Granito šiluminio plėtimosi koeficientas yra labai mažas, paprastai 5–7 × 10⁻⁶/℃, o dydis beveik nekinta keičiantis temperatūrai. Net jei dėl dienos ir nakties temperatūros skirtumo dirbtuvėse arba įrangos gaminamos šilumos aplinkos temperatūra svyruoja, granito komponentai išliks stabilūs, kad platforma nedeformuotųsi dėl šiluminio plėtimosi ir susitraukimo. Tuo pačiu metu platformoje įrengta išmanioji temperatūros kontrolės sistema realiuoju laiku stebi aplinkos temperatūrą, automatiškai reguliuoja oro kondicionavimo ir šilumos išsklaidymo įrangą ir palaiko dirbtuvių temperatūrą 20 °C ± 1 °C. Kartu su granito šiluminio stabilumo privalumais užtikrinama, kad ilgalaikio platformos veikimo metu kiekvienos ašies judėjimo tikslumas visada atitiktų lustų gamybos nanometrų tikslumo standartus, siekiant užtikrinti, kad lustų litografijos rašto dydis būtų tikslus, o ėsdinimo gylis – vienodas.
Patenkinti švarios aplinkos poreikius
Puslaidininkių gamybos ceche turi būti palaikomas aukštas švaros lygis, kad dulkių dalelės neužterštų lustų. Pati granito medžiaga negamina dulkių, o paviršius yra lygus ir sunkiai sugeria dulkes. Visa platforma yra visiškai uždaros arba pusiau uždaros konstrukcijos, kad sumažintų išorinių dulkių patekimą. Vidinė oro cirkuliacijos sistema yra sujungta su cecho švaraus oro kondicionavimo sistema, siekiant užtikrinti, kad vidinis oro švarumas pasiektų lustų gamybai reikalingą lygį. Šioje švarioje aplinkoje granito komponentai neturės įtakos našumui dėl dulkių erozijos, o pagrindiniai platformos komponentai, tokie kaip didelio tikslumo jutikliai ir varikliai, taip pat gali veikti stabiliai, užtikrindami nuolatinį ir patikimą nanoskalės tikslumo garantiją lustų gamyboje ir padėdami puslaidininkių pramonei pereiti prie aukštesnio proceso lygio.
Įrašo laikas: 2025 m. balandžio 14 d.