Puslaidininkių plokštelių tikrinimo srityje švarios patalpos aplinkos grynumas yra tiesiogiai susijęs su produkto išeiga. Tobulėjant lustų gamybos procesų tikslumui, reikalavimai aptikimo įrangos nešimo platformoms tampa vis griežtesni. Granito platformos, pasižyminčios nuliniu metalo jonų išsiskyrimu ir mažu dalelių užterštumu, pranoko tradicines nerūdijančio plieno medžiagas ir tapo pageidaujamu plokštelių tikrinimo įrangos sprendimu.
Granitas yra natūrali magminė uoliena, daugiausia sudaryta iš nemetalinių mineralų, tokių kaip kvarcas, feldšpatas ir žėrutis. Ši savybė suteikia jam pranašumą, kad neišskiria metalų jonų. Priešingai, nerūdijantis plienas, kaip metalų, tokių kaip geležis, chromas ir nikelis, lydinys, yra linkęs į elektrocheminę koroziją savo paviršiuje dėl vandens garų ir rūgštinių arba šarminių dujų erozijos švarioje patalpos aplinkoje, dėl kurios nusėda metalų jonai, tokie kaip Fe²⁺ ir Cr³⁺. Kai šie maži jonai prisijungia prie plokštelės paviršiaus, jie pakeičia puslaidininkinės medžiagos elektrines savybes vėlesniuose procesuose, tokiuose kaip fotolitografija ir ėsdinimas, sukelia tranzistoriaus slenkstinės įtampos poslinkį ir netgi trumpuosius jungimus grandinėje. Profesionalių tyrimų duomenys rodo, kad po to, kai granito platforma 1000 valandų buvo nuolat veikiama imituotos švarios patalpos temperatūros ir drėgmės aplinkoje (23 ± 0,5 ℃, 45 % ± 5 % RH), metalų jonų išsiskyrimas buvo mažesnis už aptikimo ribą (< 0,1 ppb). Naudojant nerūdijančio plieno platformas, dėl metalo jonų užterštumo susidarančių plokštelių defektų dažnis gali siekti net 15–20 %.
Kalbant apie dalelių užterštumo kontrolę, granito platformos taip pat atlieka išskirtinius vaidmenis. Švariems kambariams keliami itin aukšti reikalavimai suspenduotų dalelių koncentracijai ore. Pavyzdžiui, ISO 1 klasės švariuose kambariuose leistinas 0,1 μm dalelių skaičius kubiniame metre neviršija 10. Net jei nerūdijančio plieno platforma buvo poliruota, dėl išorinių jėgų, tokių kaip įrangos vibracija ir personalo darbas, ji vis tiek gali atšokti metalo nuolaužomis arba oksido apnašomis, kurios gali trukdyti aptikimo optiniam keliui arba subraižyti plokštelės paviršių. Granito platformos, pasižyminčios tankia mineraline struktūra (tankis ≥2,7 g/cm³) ir dideliu kietumu (6–7 pagal Moso skalę), ilgalaikio naudojimo metu nėra linkusios dilti ar lūžinėti. Matavimai rodo, kad jos gali sumažinti suspenduotų dalelių koncentraciją aptikimo įrangos zonos ore daugiau nei 40 %, palyginti su nerūdijančio plieno platformomis, ir taip efektyviai išlaikyti švarių patalpų kokybės standartus.
Be švarių savybių, granito platformos savo visapusiškomis eksploatacinėmis savybėmis gerokai lenkia nerūdijantį plieną. Kalbant apie terminį stabilumą, jos šiluminio plėtimosi koeficientas yra tik (4–8) × 10⁻⁶/℃, t. y. mažiau nei pusė nerūdijančio plieno (apie 17 × 10⁻⁶/℃), todėl geriau išlaikomas aptikimo įrangos padėties tikslumas, kai švarios patalpos temperatūra svyruoja. Didelė slopinimo charakteristika (slopinimo koeficientas > 0,05) gali greitai sumažinti įrangos vibraciją ir apsaugoti aptikimo zondą nuo drebėjimo. Natūralus atsparumas korozijai leidžia išlikti stabiliam net ir veikiant fotorezistų tirpikliams, ėsdinimo dujoms ir kitoms cheminėms medžiagoms, nereikalaujant papildomos dangos apsaugos.
Šiuo metu granito platformos plačiai naudojamos pažangiose plokštelių gamybos gamyklose. Duomenys rodo, kad pritaikius granito platformą, plokštelių paviršiaus dalelių aptikimo klaidų dažnis sumažėjo 60 %, įrangos kalibravimo ciklas pailgėjo tris kartus, o bendros gamybos sąnaudos sumažėjo 25 %. Puslaidininkių pramonei siekiant didesnio tikslumo, granito platformos, pasižyminčios tokiais pagrindiniais privalumais kaip nulinis metalo jonų išsiskyrimas ir maža dalelių tarša, ir toliau teiks stabilią ir patikimą paramą plokštelių tikrinimui, tapdamos svarbia pramonės pažangos varomąja jėga.
Įrašo laikas: 2025 m. gegužės 20 d.