Tikslioje puslaidininkių gamybos srityje neardomasis plokštelių bandymas yra pagrindinė grandis, užtikrinanti lustų kokybę. Iš pažiūros nereikšmingas granito pagrindas iš tikrųjų yra „neapdainuotas herojus“, lemiantis aptikimo tikslumą. Kaip tai veikia bandymų rezultatus? Šiame straipsnyje bus atlikta išsami analizė, apimanti tokius aspektus kaip medžiagų savybės ir konstrukcinis projektavimas.
1. Stabilus pagrindas: natūralūs granito privalumai yra tvirtas pagrindas tikslumui
1. Puikus seisminis veikimas
Plokštelių neardomojo bandymo įrangos veikimo metu variklio sukimasis ir mechaninių komponentų judėjimas generuos vibracijas. Jei šios vibracijos nebus veiksmingai slopinamos, jos smarkiai paveiks bandymo tikslumą. Granito vidus yra glaudžiai susipynęs su mineraliniais kristalais, tokiais kaip kvarcas ir feldšpatas. Unikali struktūra suteikia jam natūralų vibracijos sugerties pajėgumą, galintį sugerti daugiau nei 90 % įrangos vibracijos energijos. Tam tikro puslaidininkių gamintojo faktiniai matavimo duomenys rodo, kad panaudojus granito pagrindą, aptikimo įrangos vibracijos amplitudė sumažėjo nuo 12 μm iki 2 μm, efektyviai išvengiant vibracijos sukelto aptikimo signalo nukrypimo.
2. Ypač mažas šiluminio plėtimosi koeficientas
Aptikimo proceso metu tokie veiksniai kaip įrangos įkaitimas ir aplinkos temperatūros pokyčiai turės įtakos mašinos pagrindo stabilumui. Įprastos medžiagos kaitinamos labai išsiplečia, tačiau granito šiluminio plėtimosi koeficientas yra tik 1/5 plieno. Net jei aplinkos temperatūra svyruoja 10 ℃, jo deformacijos galima ignoruoti. Tai leidžia granito pagrindui būti stabilia atskaitos platforma tikrinimo įrangai, užtikrinant, kad santykinė padėtis tarp tikrinimo zondo ir plokštelės visada išliktų tiksli, ir išvengiant tikrinimo klaidų, kurias sukelia terminė deformacija.
Antra, tikslus dizainas: konstrukcijos optimizavimas dar labiau padidina aptikimo patikimumą
Didelio tikslumo apdirbimas ir lygumo garantija
Aukštos kokybės granito pagrindas apdirbamas naudojant pažangią penkių ašių CNC technologiją, kurios lygumas yra ±0,5 μm/m, todėl tai itin plokščias montavimo pagrindas tikrinimo įrangai. Atliekant plokštelių tikrinimą, tikrinimo zondo vertikalumas ir lygumas yra labai svarbūs tikrinimo rezultatams. Didelio tikslumo granito pagrindas gali užtikrinti tikslų zondo padėties nustatymą, todėl tikrinimo duomenys tampa tikslesni ir patikimesni.
2. Individualus konstrukcijos pritaikymas
Granitiniai mašinų pagrindai gali būti pritaikyti skirtingoms plokštelių neardomųjų bandymų įrangos ir procesų reikalavimams. Pavyzdžiui, norint patenkinti optinės patikros įrangos šviesos atspindžio reikalavimus, mašinos pagrindo paviršius gali būti specialiai apdorotas; norint patenkinti ultragarsinės bandymų įrangos montavimo reikalavimus, pagrindas gali būti iš anksto pagamintas su tiksliomis montavimo angomis ir kabelių loveliais, o tai leidžia greitai ir tiksliai sumontuoti įrangą ir sumažinti aptikimo nuokrypius, atsirandančius dėl montavimo klaidų.
III. Ilgalaikis stabilumas: Sumažinkite tikslumo nuostolius, kuriuos sukelia įrangos priežiūra
Granitas pasižymi dideliu kietumu ir atsparumu dilimui, jo kietumas pagal Moso skalę yra 6–7, t. y. tris kartus didesnis nei įprasto plieno. Ilgalaikių patikrinimų metu mašinos pagrindo paviršius nėra linkęs dilti ir visada gali išlaikyti gerą tikslumo būseną. Priešingai, iš kitų medžiagų pagaminti pagrindai dėl nusidėvėjimo gali pakeisti įrangos montavimo atskaitos tašką, todėl gali sumažėti aptikimo tikslumas ir prireikti dažno kalibravimo bei priežiūros. Ilgas granito pagrindo tarnavimo laikas ir didelis stabilumas efektyviai sumažina įrangos priežiūros dažnumą ir tikslumo praradimo riziką, kuri gali atsirasti priežiūros metu.
Nuo atsparumo smūgiams, atsparumo karščiui iki tikslaus dizaino – kiekviena granito pagrindo savybė užtikrina neardomųjų plokštelių bandymų tikslumą. Šiandieninėje puslaidininkių gamybos eroje, kurioje siekiama maksimalaus tikslumo, aukštos kokybės granito pagrindo pasirinkimas yra tarsi tvirtas bandymų rezultatų tikslumo ir patikimumo draudimo sluoksnis.
Įrašo laikas: 2025 m. birželio 18 d.