Puslaidininkių gamybos srityje submikroninis tikslumas yra raktas į lustų našumą, o granito pagrindas (ZHHIMG®), pasižymintis savo medžiagos savybėmis, tiksliu apdirbimu ir novatorišku dizainu, tapo pagrindine šio tikslumo pasiekimo garantija.
Kalbant apie medžiagų savybes, „ZHHIMG®“ pasirinktas juodas granitas pasižymi maždaug 3100 kg/m³ tankiu ir tankia vidine struktūra. Dėl didelio tankio jis pasižymi išskirtiniu stabilumu ir tvirtumu. Puslaidininkinės įrangos veikimo metu variklių sukimasis ir mechaninių komponentų judėjimas įrangos viduje sukelia vibracijas. Granito pagrindas gali efektyviai sugerti daugiau nei 90 % vibracijos energijos, taip žymiai sumažindamas vibracijos poveikį įrangos tikslumui. Tuo tarpu itin mažas šiluminio plėtimosi koeficientas leidžia išlaikyti deformaciją labai mažame diapazone, kai aplinkos temperatūra svyruoja, taip užtikrinant stabilų pagrindą puslaidininkinei įrangai ir neleidžiant įrangos komponentams pasislinkti dėl temperatūros pokyčių, kurie galėtų turėti įtakos tikslumui.
Kalbant apie apdirbimą ir gamybą, ZHHIMG® gamykla naudoja pažangią tarptautinę apdirbimo įrangą ir turi keturias itin dideles šlifavimo stakles (kiekvienos staklės kaina viršija 500 000 JAV dolerių), kurios gali atlikti didelio tikslumo granito šlifavimą. Penkių ašių CNC apdirbimo ir kitų procesų dėka staklių pagrindo lygumas gali siekti nanometro lygį, o tai suteikia itin plokščią atskaitos paviršių puslaidininkinei įrangai montuoti ir užtikrina tikslų kiekvieno įrangos komponento padėties nustatymą. Be to, pastovios temperatūros ir drėgmės cechas (užimantis 10 000 kvadratinių metrų plotą) užtikrina stabilią apdirbimo aplinką. 500 mm pločio ir 2000 mm gylio vibraciją slopinančios grioveliai aplink jį ir tylūs kranai efektyviai izoliuoja išorinius vibracijos trukdžius ir užtikrina staklių pagrindo apdorojimo tikslumą.
Be to, „ZHHIMG®“ taip pat turi dideles pritaikymo galimybes. Atsižvelgiant į specialius puslaidininkių įrangos reikalavimus, galima iš anksto pagaminti tikslias montavimo angas ir kabelių lovelius, kad būtų pasiektas puikus įrangos ir pagrindo suderinamumas. Tuo pačiu metu, kartu su pasaulinio lygio metrologijos ir bandymo įranga, tokia kaip vokiškas „Mahr“ minutinis matuoklis (0,5 μm tikslumu) ir šveicariškas „WYLER“ elektroninis nivelyras, mašinų bazė yra griežtai tikrinama ir kalibruojama, siekiant užtikrinti, kad kiekviena mašinų bazė atitiktų griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus dėl submikrono lygio tikslumo.
Būtent šių privalumų derinys daro ZHHIMG® granito pagrindą patikimu pasirinkimu siekiant submikroninio tikslumo puslaidininkių įrangoje, padedant puslaidininkių gamybai pereiti prie didesnio tikslumo laukų.
Įrašo laikas: 2025 m. birželio 18 d.