Granito pagrindo panaudojimas: Granitas pasižymi itin stabiliomis fizinėmis savybėmis, tankia ir vienoda vidine struktūra, mažu šiluminio plėtimosi koeficientu ir dideliu kietumu. Dėl to pagrindas gali efektyviai izoliuoti išorinę vibraciją, sumažinti aplinkos temperatūros pokyčių įtaką platformos tikslumui, pasižymi geru atsparumu dilimui ir ilgalaikiu naudojimu, taip pat gali išlaikyti stabilias atramos savybes, užtikrindamas tvirtą platformos tikslumo pagrindą.
Didelio tikslumo mechaninės konstrukcijos projektavimas: platformos mechaninė konstrukcija buvo kruopščiai suprojektuota ir optimizuota, naudojant didelio tikslumo kreipiamuosius bėgelius, švininius varžtus, guolius ir kitus perdavimo komponentus. Dėl mažos trinties, didelio standumo ir gero judesio pakartojamumo šie komponentai gali tiksliai perduoti galią ir valdyti platformos judėjimą, sumažindami klaidų kaupimąsi judėjimo metu. Pavyzdžiui, naudojant aerostatinį kreipiamąjį bėgelį, oro plėvelę platformos judėjimui palaikyti, be trinties, be nusidėvėjimo, didelio tikslumo, galima pasiekti nanoskalės padėties nustatymo tikslumą.
Pažangi aktyvios vibracijos izoliacijos technologija: aprūpinta aktyvia vibracijos izoliacijos sistema, realiuoju laiku stebi platformos vibracijos būseną per jutiklį, o tada, atsižvelgiant į stebėjimo rezultatus, valdo pavarą grįžtamuoju ryšiu, generuodama priešingą išorinės vibracijos jėgą arba judesį, kad kompensuotų vibracijos poveikį. Ši aktyvios vibracijos izoliacijos technologija gali efektyviai izoliuoti žemo ir aukšto dažnio vibraciją, kad platforma išliktų stabili sudėtingoje vibracijos aplinkoje. Pavyzdžiui, elektromagnetinis aktyvus vibracijos izoliatorius pasižymi greitu reagavimo greičiu ir tikslia valdymo jėga, kuri gali sumažinti platformos vibracijos amplitudę daugiau nei 80 %.
Tikslioji valdymo sistema: Platforma naudoja pažangią valdymo sistemą, tokią kaip skaitmeninio signalo procesoriaus (DSP) arba lauko programuojamų vartų matricos (FPGA) pagrindu sukurta valdymo sistema, galinti atlikti didelės spartos skaičiavimus ir tiksliai valdyti. Valdymo sistema stebi ir realiuoju laiku reguliuoja platformos judėjimą, naudodama tikslius algoritmus, ir įgyvendina didelio tikslumo padėties, greičio ir pagreičio valdymą. Tuo pačiu metu valdymo sistema taip pat pasižymi geromis anti-interferencijos savybėmis ir gali stabiliai veikti sudėtingoje elektromagnetinėje aplinkoje.
Didelio tikslumo jutiklių matavimas: naudojant didelio tikslumo poslinkio jutiklius, kampo jutiklius ir kitą matavimo įrangą, galima tiksliai išmatuoti platformos judėjimą realiuoju laiku. Šie jutikliai perduoda matavimo duomenis atgal į valdymo sistemą, o valdymo sistema, remdamasi grįžtamojo ryšio duomenimis, atlieka tikslų reguliavimą ir kompensavimą, kad būtų užtikrintas platformos judėjimo tikslumas. Pavyzdžiui, lazerinis interferometras naudojamas kaip poslinkio jutiklis, kurio matavimo tikslumas gali siekti iki nanometrų, todėl galima gauti tikslią padėties informaciją, reikalingą platformos valdymui labai tiksliai.
Klaidų kompensavimo technologija: modeliuojant ir analizuojant platformos paklaidas, naudojama klaidų kompensavimo technologija joms ištaisyti. Pavyzdžiui, išmatuojama ir kompensuojama kreipiančiosios bėgelio tiesumo paklaida ir švino sraigto žingsnio paklaida, siekiant pagerinti platformos judėjimo tikslumą. Be to, programinės įrangos algoritmai taip pat gali būti naudojami temperatūros pokyčių, apkrovos pokyčių ir kitų veiksnių sukeltoms paklaidoms realiuoju laiku kompensuoti, siekiant dar labiau pagerinti platformos tikslumą.
Griežtas gamybos procesas ir kokybės kontrolė: Platformos gamybos procese taikomi griežti gamybos proceso ir kokybės kontrolės standartai, siekiant užtikrinti kiekvieno komponento apdorojimo tikslumą ir surinkimo kokybę. Nuo žaliavų parinkimo iki dalių apdorojimo, surinkimo ir paleidimo, kiekviena grandis yra griežtai tikrinama ir išbandoma, siekiant užtikrinti bendrą platformos tikslumą ir veikimą. Pavyzdžiui, atliekami didelio tikslumo pagrindinių dalių mechaniniai mechaniniai apdirbimai, o pažangi įranga, pvz., CNC apdirbimo centrai, siekiant užtikrinti, kad dalių matmenų tikslumas, formos ir padėties tolerancijos atitiktų projektavimo reikalavimus.
Įrašo laikas: 2025 m. balandžio 11 d.