IPuslaidininkių gamybos pramonėje plokštelių tikrinimo įrangos tikslumas yra labai svarbus siekiant užtikrinti integrinių grandynų kokybę. Didelio tikslumo granito mašinų pagrindai, tokie kaip „ZHHIMG®“, atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį gerinant tokios įrangos našumą. Štai kaip jie daro skirtumą.
Išskirtinis matmenų stabilumasGranitas pasižymi itin mažu šiluminio plėtimosi koeficientu, maždaug (4–8) × 10⁻⁶/℃, kuris yra gerokai mažesnis nei daugelio metalų. Griežtai kontroliuojamoje puslaidininkių gamyklų aplinkoje, kur net nedideli temperatūros svyravimai gali sukelti matavimo paklaidas, granito mašinų pagrindai išlieka stabilūs. Šis stabilumas užtikrina, kad komponentų padėtis plokštelių tikrinimo įrangoje išliktų tiksli, išvengiant bet kokių dėl terminio poveikio susidarančių nukrypimų, kurie galėtų turėti įtakos tikrinimo rezultatų tikslumui.
Puikus vibracijos slopinimasGamybos grindys dažnai būna pilnos vibracijų iš įvairių šaltinių. Granito būdingos slopinimo savybės, kurių slopinimo koeficientas yra 0,05–0,1, efektyviai sugeria ir išsklaido šias vibracijas. Plokštelių patikrinimui
Didelės skiriamosios gebos vaizdavimui ir tiksliems jutiklių rodmenims reikalingas granito pagrindų sukeliamas vibracijų sumažinimas yra neįkainojamas. Tai sumažina trukdžius, kurie gali sulieti vaizdus ar iškreipti jutiklių duomenis, todėl įranga gali užfiksuoti aiškią ir tikslią informaciją apie plokštelės paviršių ir vidinę struktūrą.
Didelis standumas ir atsparumas dilimui. Maždaug 3100 kg/m³ tankio ZHHIMG® granito mašinų pagrindai pasižymi išskirtiniu standumu. Jie gali išlaikyti sunkius plokštelių tikrinimo įrangos komponentus nedeformuodamiesi, išlaikydami optinių ir mechaninių sistemų suderinimą. Be to, didelis granito kietumas (Moho skalė 6–7) ir puikus atsparumas dilimui užtikrina, kad mašinos pagrindo paviršius laikui bėgant išliktų lygus ir lygus. Šis nuoseklumas yra būtinas ilgalaikiam tikslumui, nes bet koks pagrindo susidėvėjimas ar deformacija gali palaipsniui sumažinti įrangos tikslumą.
Cheminis inertiškumasPuslaidininkių gamyba yra susijusi su įvairiomis cheminėmis medžiagomis. Granito cheminis inertiškumas daro jį atsparų šių medžiagų korozijai. Ši savybė apsaugo mašinos pagrindo vientisumą, apsaugodama nuo cheminių medžiagų sukeltos žalos, kuri galėtų turėti įtakos tikrinimo įrangos stabilumui ir tikslumui.
Apibendrinant galima teigti, kad didelio tikslumo granito staklių pagrindai yra ne tik komponentas, bet ir pagrindinis veiksnys, užtikrinantis griežtus plokštelių tikrinimo įrangos tikslumo reikalavimus. Rinkdamiesi granito staklių pagrindus, rinkitės patikimus tiekėjus, tokius kaip ZHHIMG®. Turėdama daugybę sertifikatų ir įsipareigojusi kokybei, ZHHIMG® užtikrina, kad kiekvienas granito staklių pagrindas užtikrintų patikimumą ir našumą, reikalingą pažangiai puslaidininkių gamybai.
Įrašo laikas: 2025 m. birželio 3 d.