Puslaidininkių ir optoelektronikos gamybos įrangoje granitas daugiausia naudojamas pagrindinėse dalyse, tokiose kaip tikslaus judėjimo platformos, kreipiančiųjų bėgių pagrindai, vibracijos izoliacijos atraminės konstrukcijos ir optinių komponentų montavimo pagrindai. Šioms dalims keliami itin aukšti tikslumo, stabilumo ir atsparumo aplinkos poveikiui reikalavimai. Granito savybės gali tiksliai atitikti griežtus puslaidininkių ir optoelektronikos pramonės reikalavimus. Toliau pateikiama konkrečių taikymo scenarijų ir privalumų analizė:
I. Pagrindinės programos dalys
Tikslaus judesio platformos (pvz., fotolitografijos mašinų ir klijavimo mašinų plokštelių platformos)
Jis naudojamas tiksliems komponentams, tokiems kaip plokštelės ir optiniai lęšiai, nešioti, kad būtų galima pasiekti nanoskalės tikslumu atliekamus transliacijos ir sukimosi judesius.
Tipinė įranga: fotolitografijos aparato ruošinių stalas, matavimo įrangos pozicionavimo platforma.
Kreipiamojo bėgio pagrindas ir rėmo konstrukcija
Kaip linijinių ir oro plūduriavimo kreiptuvų montavimo pagrindas, jis palaiko pagrindinį įrangos judesio mechanizmą.
Tipinė įranga: puslaidininkių pakavimo įrangos mechaniniai rėmai ir optiniai tikrinimo prietaisai.
Vibracijos izoliacijos atrama ir stabilizuojanti konstrukcija
Jis naudojamas išorinėms vibracijoms (pvz., vibracijoms nuo gamyklos grindų arba įrangos veikimo metu) izoliuoti, užtikrinant optinių sistemų arba tiksliųjų mašinų stabilumą.
Tipiniai scenarijai: optinių mikroskopų ir lazerinių interferometrų pagrindas.
Optinių komponentų tvirtinimo pagrindas
Pritvirtinkite optinius įrenginius, tokius kaip veidrodžiai, prizmės ir lazeriai, kad būtų užtikrintas ilgalaikis optinio kelio sistemos lygiavimo tikslumo stabilumas.
Tipinė įranga: Optoelektroninė pakavimo įranga, optinių skaidulų sujungimo sistemos.
Įrašo laikas: 2025 m. gegužės 29 d.