Granitas yra viena populiariausių medžiagų, naudojamų puslaidininkiniuose įtaisuose. Tai kieta, magminė uoliena, būna įvairių pilkos, rausvos ir baltos spalvos atspalvių. Granitas yra žinomas dėl savo patvarumo, mažo šiluminio plėtimosi koeficiento ir puikaus šilumos laidumo, todėl jis yra ideali medžiaga naudoti puslaidininkinių įtaisų posistemėse.
Viena iš pagrindinių posistemių, naudojančių granitą puslaidininkiniuose įtaisuose, yra plokštelių tvarkymo ir apdorojimo posistemė. Ši posistemė atlieka labai svarbų vaidmenį puslaidininkinių įtaisų gamybos procese. Plokštelė yra pradinis įtaiso substratas, o tvarkymo ir apdorojimo posistemė yra atsakinga už plokštelių perkėlimą tarp skirtingų kamerų ir apdorojimo įrangos. Granitas naudojamas labai tiksliems ir plokštiems plokštelių tvarkymo paviršiams sukurti ir suteikia stabilią platformą plokštelių apdorojimui.
Dar viena svarbi posistemė, kurioje naudojamas granitas, yra vakuuminė posistemė. Puslaidininkiniuose įtaisuose vakuuminės kameros naudojamos siekiant išvengti užteršimo gamybos metu. Kad ši sistema veiktų efektyviai, kamera turi būti visiškai sandari, ir čia praverčia granitas. Granitas yra ideali medžiaga vakuuminėms kameroms, nes jis pasižymi labai mažu dujų išskyrimo greičiu ir gali palaikyti stabilią vakuuminę aplinką. Be to, didelis granito apdirbimo tikslumas leidžia sukurti tobulą sandarumą, užtikrinant patikimą vakuuminę aplinką plokštelių apdorojimui.
Lygiavimo posistemė yra dar viena svarbi sistema, kuri išnaudoja unikalias granito savybes. Ši posistemė yra atsakinga už skirtingų puslaidininkinių įtaisų dalių tikslumą ir preciziškumą. Granitas naudojamas lygiavimo etapų projektavimui ir gamybai, siekiant užtikrinti didelį standumą ir stabilumą. Didelis granito standumas padeda pasiekti didelį lygiavimo tikslumą, todėl gaminami labai tikslūs ir patikimi puslaidininkiniai įtaisai.
Galiausiai, metrologijos posistemė yra dar viena puslaidininkinių įtaisų sistema, kurioje naudojamas granitas. Metrologija atlieka esminį vaidmenį apdorojant plokšteles, o šios posistemės tikslumas yra labai svarbus užtikrinant įtaiso kokybę. Granitas suteikia stabilią ir standžią platformą, kuri padeda sumažinti vibracijas ir sumažinti temperatūros svyravimų poveikį. Tai, savo ruožtu, padeda pasiekti labai tikslius matavimus metrologijos posistemėje, o tai lemia aukštos kokybės puslaidininkinių įtaisų gamybą.
Apibendrinant, granitas yra labai svarbi medžiaga puslaidininkinių įtaisų gamyboje. Dėl unikalių savybių, tokių kaip didelis standumas, mažas šiluminis plėtimasis ir puikus šilumos laidumas, jis yra puiki medžiaga kelioms puslaidininkinių įtaisų posistemėms, įskaitant plokštelių tvarkymo ir apdorojimo, vakuuminę posistemę, lygiavimo posistemę ir metrologijos posistemę. Be to, granito naudojimas puslaidininkiniuose įtaisuose padėjo gaminti labai tikslius, patikimus ir efektyvius įtaisus, kurie pakeitė daugybę pramonės šakų.
Įrašo laikas: 2024 m. kovo 19 d.