Granito lovos vaidina esminį vaidmenį puslaidininkių pramonėje, nes yra stabili ir tiksli puslaidininkinės įrangos platforma.Labai svarbu atkreipti dėmesį į granitinės lovos montavimą ir paleidimą, kad būtų užtikrintas optimalus veikimas ir tikslumas.
Štai keletas kritinių veiksnių, į kuriuos reikia atsižvelgti montuojant ir paleidžiant granito lovas:
1. Montavimas ir niveliavimas
Pirmas ir svarbiausias žingsnis – užtikrinti tinkamą granitinės lovos montavimą ir išlyginimą.Lova turi būti pastatyta ant tvirto pagrindo, kuris atlaikytų jos svorį, ir turi būti išlygintas, kad paviršius būtų lygus ir lygus.Bet kokie nelygumai ar įdubimai ant paviršiaus gali lemti įrangos nesutapimą ir prastą tikslumą.
2. Temperatūros kontrolė
Granito lovos yra jautrios temperatūrai, o temperatūros pokyčiai gali turėti įtakos jų tikslumui.Todėl montavimo metu ir po jo būtina kontroliuoti granito lovos temperatūrą.Norint stebėti bet kokius temperatūros pokyčius, turi būti sumontuoti temperatūros jutikliai, o norint palaikyti stabilią temperatūrą, reikia naudoti aušintuvą/šildytuvą.
3. Švara
Labai svarbu palaikyti švarią aplinką be dulkių aplink granito lovą.Net maža dulkių dalelė gali sukelti nesuderinamumą ir turėti įtakos įrangos tikslumui.Būtina reguliariai valyti ir prižiūrėti lovos paviršių, kad nesikauptų dalelės, galinčios neigiamai paveikti įrangos veikimą.
4. Lygiavimas
Sumontavus ir išlyginus granito lovą, kitas žingsnis – sulygiuoti įrangą ant lovos.Išlygiavimas turi būti atliekamas atsargiai, kad įranga būtų tiksliai išdėstyta.Norint tiksliai išmatuoti įrangos padėtį ant granito lovos, galima naudoti lazerinius matavimo įrankius.
5. Kalibravimas
Sulygiavus įrangą, labai svarbu ją sukalibruoti, kad būtų užtikrintas maksimalus tikslumas.Kalibravimas apima įrangos parametrų matavimą ir reguliavimą, kad jie atitiktų tikslias puslaidininkių pramonei reikalingas specifikacijas.Siekiant užtikrinti maksimalų tikslumą, kalibravimo procesą turi atlikti patyręs technikas.
Apibendrinant galima pasakyti, kad granito lovų montavimas ir paleidimas reikalauja kruopštaus dėmesio detalėms.Tinkamas montavimas ir išlyginimas, temperatūros kontrolė, švara, išlyginimas ir kalibravimas yra svarbūs veiksniai, į kuriuos reikia atsižvelgti siekiant užtikrinti maksimalų puslaidininkinės įrangos tikslumą ir našumą.Laikydamiesi šių gairių, įrangos gamintojai ir operatoriai gali pasiekti aukštą gamybos procesų tikslumo ir patikimumo lygį.
Paskelbimo laikas: 2024-03-03