Granito medžiagos yra plačiai naudojamos puslaidininkių pramonėje dėl savo puikių savybių, tokių kaip didelis stabilumas, mažas šiluminis plėtimasis ir didelis atsparumas korozijai.Dėl šių savybių granitas yra ideali medžiaga kuriant didelio tikslumo komponentus plokštelių perdavimo sistemoje.
Puslaidininkių gamybos procese plokštelių perdavimo sistema atlieka svarbų vaidmenį transportuojant plokšteles įvairiais gamybos proceso etapais.Tikslumas ir tikslumas yra esminiai šioms sistemoms keliami reikalavimai, nes net nedideli nukrypimai gali kelti pavojų visam procesui.Todėl plokštelių perdavimo sistemos komponentai turi būti pagaminti iš aukštos kokybės medžiagų, o granitas atitinka šiuos kriterijus.
Kai kurios plokštelių perdavimo sistemos dalys, pagamintos iš granito medžiagų, apima:
1. Vakuuminis griebtuvo stalas
Vakuuminio griebtuvo stalas naudojamas vafliui laikyti proceso metu, jo paviršius turi būti stabilus, kad vaflė nebūtų pažeista.Granitas yra ideali medžiaga šiam stalui gaminti, nes jis turi plokščią, neakytas paviršių, užtikrinantį aukštą stabilumą ir tikslumą.Be to, granitas turi mažą šiluminio plėtimosi koeficientą, todėl yra atsparus temperatūros pokyčiams, dėl kurių gali pasikeisti plokštelės matmenys.
2. Oro guolio pakopa
Oro guolių stadija naudojama plokštelei transportuoti įvairiais gamybos proceso etapais.Scena sukurta taip, kad būtų užtikrintas be trinties judėjimas, kuriam reikalingas didelis tikslumas ir stabilumas.Šiam tikslui naudojamas granitas, nes jis yra standus ir kietas akmuo, atsparus deformacijai ir susidėvėjimui laikui bėgant.
3. Linijiniai judesio kreiptuvai
Linijiniai judesio kreiptuvai naudojami oro guolio stadijai nukreipti ir turi būti tiksliai išdėstyti, kad būtų sumažintos klaidos.Granitas naudojamas šiam vadovui sukurti, nes jis pasižymi puikiu mechaniniu stabilumu ir stiprumu.Medžiaga taip pat yra atspari korozijai, o tai užtikrina kreipiančiosios sistemos ilgaamžiškumą.
4. Metrologijos įranga
Metrologijos įranga naudojama plokštelės matmenims ir savybėms matuoti gamybos proceso metu.Granitas yra ideali medžiaga šiai įrangai statyti, nes turi didelį standumą, mažą plėtimąsi ir minimalią deformaciją veikiant apkrovai.Be to, granito terminis stabilumas užtikrina, kad metrologijos įranga laikui bėgant išliks stabili ir tiksli.
Apibendrinant galima pasakyti, kad puslaidininkių pramonė priklauso nuo tikslumo ir tikslumo, o granitinės medžiagos gamybos procese pasirodė esąs labai patikimos ir stabilios.Kadangi daug svarbių plokštelių perdavimo sistemos komponentų reikalauja didelio stabilumo, tikslumo ir mažo šiluminio plėtimosi, inžinieriai kreipėsi į granito medžiagas, kad atitiktų šiuos kritinius reikalavimus.
Paskelbimo laikas: 2024-03-19