Granito medžiagos plačiai naudojamos puslaidininkių pramonėje dėl puikių savybių, tokių kaip didelis stabilumas, mažas šiluminis plėtimasis ir didelis atsparumas korozijai. Šios savybės daro granitą idealia medžiaga didelio tikslumo komponentams gaminti plokštelių perdavimo sistemoje.
Puslaidininkių gamybos procese plokštelių perkėlimo sistema atlieka itin svarbų vaidmenį transportuojant plokšteles per skirtingus gamybos etapus. Tikslumas ir preciziškumas yra esminiai šių sistemų reikalavimai, nes net ir nedideli nukrypimai gali pakenkti visam procesui. Todėl plokštelių perkėlimo sistemos komponentai turi būti pagaminti iš aukštos kokybės medžiagų, o granitas atitinka šiuos kriterijus.
Kai kurios iš granito medžiagų pagamintos plokštelių perdavimo sistemos dalys yra šios:
1. Vakuuminis griebtuvo stalas
Vakuuminis griebtuvo stalas naudojamas plokštelei laikyti proceso metu, ir jo paviršius turi būti stabilus, kad plokštelė nebūtų pažeista. Granitas yra ideali medžiaga šiam stalui gaminti, nes jis turi plokščią, neporėtą paviršių, kuris užtikrina didelį stabilumą ir tikslumą. Be to, granitas turi mažą šiluminio plėtimosi koeficientą, todėl yra atsparus temperatūros pokyčiams, kurie gali sukelti plokštelės matmenų pokyčius.
2. Oro guolio etapas
Oro guolių platforma naudojama plokštelei transportuoti per skirtingus gamybos proceso etapus. Platforma suprojektuota taip, kad užtikrintų judėjimą be trinties, o tai reikalauja didelio tikslumo ir stabilumo. Granitas naudojamas šiame įrenginyje, nes tai yra standus ir kietas akmuo, atsparus deformacijai ir dilimui laikui bėgant.
3. Linijinio judėjimo kreiptuvai
Linijinio judesio kreiptuvai naudojami oro guolio platformai valdyti, ir jie turi būti tiksliai išdėstyti, kad būtų sumažintos paklaidos. Šiam kreiptuvui gaminti naudojamas granitas, nes jis pasižymi puikiu mechaniniu stabilumu ir stiprumu. Medžiaga taip pat yra atspari korozijai, o tai užtikrina kreipiamųjų sistemos ilgaamžiškumą.
4. Metrologijos įranga
Metrologijos įranga naudojama plokštelės matmenims ir savybėms matuoti gamybos proceso metu. Granitas yra ideali medžiaga šiai įrangai gaminti, nes jis pasižymi dideliu standumu, mažu plėtimusi ir minimalia deformacija veikiant apkrovai. Be to, granito terminis stabilumas užtikrina, kad metrologijos įranga išliktų stabili ir tiksli laikui bėgant.
Apibendrinant galima teigti, kad puslaidininkių pramonė remiasi tikslumu ir preciziškumu, o granito medžiagos gamybos procese pasirodė esančios labai patikimos ir stabilios. Kadangi daugeliui svarbių plokštelių perdavimo sistemos komponentų reikalingas didelis stabilumas, tikslumas ir mažas šiluminis plėtimasis, inžinieriai pasirinko granito medžiagas, kad atitiktų šiuos svarbius reikalavimus.
Įrašo laikas: 2024 m. kovo 19 d.