Granito medžiagos yra plačiai naudojamos puslaidininkių pramonėje dėl jų puikių savybių, tokių kaip didelis stabilumas, mažas šiluminis išsiplėtimas ir didelis atsparumas korozijai. Šios savybės daro granitą idealia medžiaga didelio tikslumo komponentų kūrimui vaflių perdavimo sistemoje.
Puslaidininkių gamybos procese vaflių perdavimo sistema vaidina lemiamą vaidmenį gabenant vaflius įvairiuose gamybos proceso etapuose. Tikslumas ir tikslumas yra pagrindiniai šių sistemų reikalavimai, nes net nedideli nukrypimai gali pakenkti visam procesui. Todėl vaflių perdavimo sistemos komponentai turi būti gaminami iš aukštos kokybės medžiagų, o granitas atitinka tuos kriterijus.
Kai kurios vaflių perdavimo sistemos dalys, pagamintos iš granito medžiagų, yra:
1. Vokuuminis Chucko lentelė
VACUUM Chuck lentelė naudojama vafliui laikyti proceso metu, ir jis turi turėti stabilų paviršių, kad vaflis būtų nepažeistas. Granitas yra ideali medžiaga šiam stalui gaminti, nes jame yra plokščias, neporuotas paviršius, užtikrinantis aukštą stabilumą ir tikslumą. Be to, granitas turi žemą šiluminio išsiplėtimo koeficientą, todėl jis yra atsparūs temperatūros pokyčiams, kurie gali sukelti matmenų vaflio pokyčius.
2. Oro nešiojimo etapas
Oro nešimo etapas naudojamas vafliui gabenti įvairiais gamybos proceso etapais. Scena yra sukurta taip, kad būtų užtikrintas be trinties judėjimas, kuriam reikalingas didelis tikslumas ir stabilumas. Granitas naudojamas šioje programoje, nes jis yra tvirtas ir kietas akmuo, ir laikui bėgant jis atsparuoja deformacijai ir susidėvėjimui.
3. Linijiniai judesio vadovai
Linijiniai judesių vadovai naudojami nukreipiant orui esantį etapą, ir jie turi būti tiksliai išdėstyti, kad būtų sumažintos klaidos. Granitas naudojamas šiam vadovui kurti, nes jis turi puikų mechaninį stabilumą ir stiprumą. Medžiaga taip pat yra atspari korozijai, o tai užtikrina kreipiamosios sistemos ilgaamžiškumą.
4. Metrologijos įranga
Metrologijos įranga naudojama vaflio matmenims ir savybėms įvertinti gamybos proceso metu. Granitas yra ideali medžiaga, skirta pastatyti šią įrangą, nes jis turi didelį standumą, mažą išsiplėtimą ir minimalią deformaciją apkrovoje. Be to, granito šiluminis stabilumas užtikrina, kad metrologijos įranga laikui bėgant išliks stabili ir tiksli.
Apibendrinant galima pasakyti, kad puslaidininkių pramonė remiasi tikslumu ir tikslumu, o granito medžiagos pasirodė labai patikimos ir stabilios gamybos procese. Turėdami daug kritinių vaflių perdavimo sistemos komponentų, reikalaujančių didelio stabilumo, tikslumo ir mažo šiluminio išsiplėtimo, inžinieriai kreipėsi į granito medžiagas, kad atitiktų šiuos kritinius reikalavimus.
Pašto laikas: 2012 m. Kovo 19 d