Granito lova yra svarbus įvairių puslaidininkių prietaisų komponentas. Kaip labai stabili ir tvirta medžiaga, granitas yra plačiai naudojamas kaip puslaidininkių perdirbimo įrangos pagrindas. Jam būdingas mažas šiluminio išsiplėtimo koeficientas, aukšto matmens stabilumas ir puikios mechaninės savybės. Dėl šių savybių granito lova dažniausiai naudojama trijuose skirtinguose puslaidininkių prietaisų - metrologijos įrangoje, litografijos įrangoje ir tikrinimo įrangoje.
Metrologijos įranga naudojama puslaidininkių prietaisų kritiniams matmenims įvertinti ir aptikti. Tai vaidina lemiamą vaidmenį palaikant puslaidininkių gamybos proceso kokybę ir nuoseklumą. Metrologijos įranga apima tokius instrumentus kaip optiniai mikroskopai, elektronų mikroskopai ir atominės jėgos mikroskopai (AFM). Kadangi šių matavimo instrumentų veikimas priklauso nuo jų stabilumo, tikslumo ir atsparumo vibracijai, granitas yra idealus pasirinkimas jų lovos medžiagai. Granito lovos vienodumas ir stabilumas suteikia stabilią instrumentų platformą, o tai padidina jų tikslumą ir patikimumą.
Litografijos įranga naudojama mikroschemų modeliams gaminti ant vaflio. Litografijos procesui reikia aukšto tikslumo ir tikslumo, norint sukurti sudėtingas grandines ir pagerinti lusto našumą. Litografijos įrangą sudaro „Stepper“ ir skaitytuvo sistemos, kurios naudoja šviesą vaizdams perduoti ant vaflinio. Kadangi litografijos procesas yra labai jautrus vibracijai ir šiluminiams pokyčiams, norint užtikrinti litografijos proceso stabilumą ir pakartojamumą, būtina aukštos kokybės lova. Granito lovos suteikia reikiamą stabilumą ir griežtą vibracijos slopinimo našumą litografijos sistemoms. Granito lova leidžia „Stepper“ ar skaitytuvo sistemai palaikyti tikslius erdvinius ryšius, užtikrinančius aukštą tikslumą ir galutinį produkto kokybę.
Tikrinimo įranga naudojama norint aptikti bet kokius puslaidininkių prietaisų trūkumus. Tikrinimo įrangą sudaro tokios sistemos kaip lazerio skenavimo mikroskopai, elektronų mikroskopai ir optiniai mikroskopai. Kad šie prietaisai būtų labai tikslūs, stabilūs ir atsparūs vibracijai, granito lovos yra tobula medžiaga. Granito mechaninės savybės ir matmenų stabilumas padeda išskirti vibraciją, o tai padidina tikrinimo įrangos išėjimo tikslumą.
Apibendrinant galima pasakyti, kad granito lova yra nepaprastai svarbi puslaidininkių pramonei ir yra plačiai naudojama įvairių rūšių įrangai. Jo unikalios savybės, tokios kaip matmenų stabilumas, mažo šiluminio išsiplėtimo koeficientas ir puikus mechaninis stabilumas, granitas yra idealus pasirinkimas puslaidininkinės įrangos lovos medžiagai. Kadangi aukštos kokybės granito lova suteikia reikiamą stabilumą, tikslumą ir vibracijos atsparumą puslaidininkių įrangai, ji galiausiai pagerina galutinio produkto kokybę. Todėl granito lovos naudojimas puslaidininkių įrangoje tikrai tęsis ateinančius metus.
Pašto laikas: 2014 m. Balandžio 03 d