Granito sluoksnis yra svarbus įvairių puslaidininkinių įtaisų komponentas. Būdamas labai stabilia ir standžia medžiaga, granitas plačiai naudojamas kaip puslaidininkių apdorojimo įrangos pagrindas. Jam būdingas mažas šiluminio plėtimosi koeficientas, didelis matmenų stabilumas ir puikios mechaninės savybės. Dėl šių savybių granito sluoksnis dažniausiai naudojamas trijų skirtingų tipų puslaidininkiniuose įtaisuose – metrologijos įrangoje, litografijos įrangoje ir tikrinimo įrangoje.
Metrologijos įranga naudojama puslaidininkinių įtaisų kritiniams matmenims matuoti ir nustatyti. Ji atlieka labai svarbų vaidmenį palaikant puslaidininkių gamybos proceso kokybę ir nuoseklumą. Metrologijos įranga apima tokius prietaisus kaip optiniai mikroskopai, elektroniniai mikroskopai ir atominės jėgos mikroskopai (AFM). Kadangi šių matavimo prietaisų veikimas priklauso nuo jų stabilumo, tikslumo ir atsparumo vibracijai, granitas yra idealus pasirinkimas jų pagrindo medžiagai. Granito pagrindo vienodumas ir stabilumas suteikia stabilią platformą prietaisams, o tai padidina jų tikslumą ir patikimumą.
Litografijos įranga naudojama mikroschemų raštams ant plokštelės sukurti. Litografijos procesui reikalingas didelis tikslumas ir preciziškumas, kad būtų sukurtos sudėtingos grandinės ir pagerintas lustų našumas. Litografijos įrangą sudaro žingsninių ir skenerių sistemos, kurios vaizdus ant plokštelės perkelia šviesa. Kadangi litografijos procesas yra labai jautrus vibracijai ir terminiams pokyčiams, aukštos kokybės pagrindas yra būtinas norint užtikrinti litografijos proceso stabilumą ir pakartojamumą. Granitiniai paviršiai suteikia litografijos sistemoms reikiamą stabilumą ir griežtas vibracijos slopinimo savybes. Granitinis pagrindas leidžia žingsninių arba skenerių sistemai išlaikyti tikslius erdvinius ryšius, užtikrinant didelį tikslumą ir galutinio produkto kokybę.
Puslaidininkinių įtaisų defektams aptikti naudojama tikrinimo įranga. Tikrinimo įranga apima tokias sistemas kaip lazerinio skenavimo mikroskopai, elektroniniai mikroskopai ir optiniai mikroskopai. Kadangi šie įtaisai turi būti labai tikslūs, stabilūs ir atsparūs vibracijai, granito sluoksniai yra puiki medžiaga. Granito mechaninės savybės ir matmenų stabilumas padeda izoliuoti vibraciją, o tai padidina tikrinimo įrangos rezultatų tikslumą.
Apibendrinant galima teigti, kad granito sluoksnis yra labai svarbus puslaidininkių pramonei ir yra plačiai naudojamas įvairių tipų įrangoje. Unikalios savybės, tokios kaip matmenų stabilumas, mažas šiluminio plėtimosi koeficientas ir puikus mechaninis stabilumas, daro granitą idealiu pasirinkimu puslaidininkių įrangos sluoksnio medžiagai. Kadangi aukštos kokybės granito sluoksnis suteikia puslaidininkių įrangai reikiamą stabilumą, tikslumą ir atsparumą vibracijai, tai galiausiai pagerina galutinio produkto kokybę. Todėl granito sluoksnio naudojimas puslaidininkių įrangoje neabejotinai tęsis dar ilgus metus.
Įrašo laikas: 2024 m. balandžio 3 d.