Granito lova yra svarbi įvairių puslaidininkinių prietaisų sudedamoji dalis.Kaip labai stabili ir standi medžiaga, granitas plačiai naudojamas kaip puslaidininkių apdorojimo įrangos pagrindas.Jis pasižymi mažu šiluminio plėtimosi koeficientu, dideliu matmenų stabilumu ir puikiomis mechaninėmis savybėmis.Dėl šių savybių granitinė lova dažniausiai naudojama trijų skirtingų tipų puslaidininkiniuose įrenginiuose – metrologijos, litografijos ir tikrinimo įrenginiuose.
Metrologijos įranga naudojama puslaidininkinių įtaisų kritiniams matmenims matuoti ir nustatyti.Jis atlieka lemiamą vaidmenį išlaikant puslaidininkių gamybos proceso kokybę ir nuoseklumą.Metrologijos įranga apima tokius instrumentus kaip optiniai mikroskopai, elektroniniai mikroskopai ir atominės jėgos mikroskopai (AFM).Kadangi šių matavimo prietaisų veikimas priklauso nuo jų stabilumo, tikslumo ir atsparumo vibracijai, granitas yra idealus pasirinkimas jų lovos medžiagai.Granito lovos vienodumas ir stabilumas suteikia stabilią platformą instrumentams, o tai padidina jų tikslumą ir patikimumą.
Mikroschemų raštams ant plokštelės pagaminti naudojama litografijos įranga.Norint sukurti sudėtingas grandines ir pagerinti lusto veikimą, litografijos procesas reikalauja didelio tikslumo ir tikslumo.Litografijos įrangą sudaro žingsninės ir skaitytuvo sistemos, kurios naudoja šviesą vaizdams perkelti į plokštelę.Kadangi litografijos procesas yra labai jautrus vibracijai ir šiluminiams pokyčiams, aukštos kokybės sluoksnis yra būtinas norint užtikrinti litografijos proceso stabilumą ir pakartojamumą.Granito lovos užtikrina reikiamą stabilumą ir griežtą vibracijos slopinimo efektyvumą litografijos sistemoms.Granito lova leidžia stepper arba skaitytuvo sistemai išlaikyti tikslius erdvinius ryšius, užtikrinančius aukštą tikslumą ir galutinio produkto kokybę.
Puslaidininkinių įtaisų defektams aptikti naudojama tikrinimo įranga.Patikrinimo įranga apima tokias sistemas kaip lazeriniai skenuojantys mikroskopai, elektroniniai mikroskopai ir optiniai mikroskopai.Kadangi šie įrenginiai turi būti labai tikslūs, stabilūs ir atsparūs vibracijai, granitinės lovos yra puiki medžiaga.Granito mechaninės savybės ir matmenų stabilumas padeda izoliuoti vibraciją, o tai padidina tikrinimo įrangos išvesties tikslumą.
Apibendrinant galima pasakyti, kad granito lova yra labai svarbi puslaidininkių pramonei ir plačiai naudojama įvairių tipų įrangoje.Dėl unikalių savybių, tokių kaip matmenų stabilumas, mažas šiluminio plėtimosi koeficientas ir puikus mechaninis stabilumas, granitas yra idealus pasirinkimas puslaidininkinės įrangos lovos medžiagai.Kadangi aukštos kokybės granito lova užtikrina reikiamą stabilumą, tikslumą ir atsparumą vibracijai puslaidininkinei įrangai, tai galiausiai pagerina galutinio produkto kokybę.Todėl granito sluoksnio naudojimas puslaidininkinėje įrangoje tikrai tęsis daugelį metų.
Paskelbimo laikas: 2024-03-03