Nors granito platforma gali atrodyti kaip paprasta akmens plokštė, pereinant nuo įprastų pramoninių pritaikymų prie svarbių optinės patikros ir metrologijos sričių, atrankos kriterijai drastiškai pasikeičia. „ZHHIMG®“ tiekia tikslius komponentus pasauliniams puslaidininkių ir lazerių technologijų lyderiams, todėl suprantama, kad optinių matavimų platforma yra ne tik pagrindas – tai neatsiejama, nekeičiama pačios optinės sistemos dalis.
Optinio tikrinimo reikalavimai, apimantys didelio didinimo vaizdavimą, lazerinį skenavimą ir interferometriją, apibrėžiami poreikiu pašalinti visus matavimo triukšmo šaltinius. Tai leidžia sutelkti dėmesį į tris specialias savybes, kurios skiria tikrą optinę platformą nuo standartinės pramoninės.
1. Didesnis tankis neprilygstamam vibracijos slopinimui
Standartiniams pramoniniams CNC pagrindams ketaus arba įprastas granitas gali būti pakankamai standūs. Tačiau optinės sistemos yra itin jautrios nedideliems poslinkiams, kuriuos sukelia išorinės vibracijos, atsirandančios dėl gamyklos įrangos, oro tvarkymo sistemų ar net tolimojo eismo.
Čia svarbiausia tampa medžiagų mokslas. Optinei platformai reikalingas granitas, pasižymintis išskirtinėmis savybėmis, slopinančiomis vibraciją. „ZHHIMG®“ naudoja patentuotą juodąjį granitą „ZHHIMG®“ (≈ 3100 kg/m³). Ši itin didelio tankio medžiaga, skirtingai nei žemesnės kokybės granito ar marmuro pakaitalai, pasižymi kristaline struktūra, kuri labai efektyviai išsklaido mechaninę energiją. Tikslas – ne tik sumažinti vibraciją, bet ir užtikrinti, kad pagrindas išliktų visiškai tylus mechaninis, sumažinant santykinį judėjimą tarp objektyvo lęšio ir tiriamojo mėginio submikrono lygmenyje.
2. Ypatingas terminis stabilumas kovai su dreifu
Standartinės pramoninės platformos toleruoja nedidelius matmenų pokyčius; dešimtadalis laipsnio Celsijaus gali būti nesvarbus gręžiant. Tačiau optinėse sistemose, kurios atlieka tikslius matavimus ilgą laiką, bet koks pagrindo geometrijos šiluminis poslinkis sukelia sisteminę paklaidą.
Optiniam patikrinimui platforma turi veikti kaip šilumos kriauklė su itin mažu šiluminio plėtimosi koeficientu (CTE). Didelė ZHHIMG® juodojo granito masė ir tankis suteikia reikiamą šiluminę inerciją, kad būtų galima atsispirti nedideliam išsiplėtimui ir susitraukimui, kuris gali vykti klimatą kontroliuojamoje patalpoje. Šis stabilumas užtikrina, kad kalibruotas fokusavimo atstumas ir optinių komponentų plokštuminis išlyginimas išliktų fiksuoti, garantuojant matavimų, apimančių valandas, vientisumą – tai nekeičiamas veiksnys didelės skiriamosios gebos plokštelių patikrinimui arba plokščiųjų ekranų metrologijai.
3. Nanolygio plokštumos ir geometrinio tikslumo pasiekimas
Ryškiausias skirtumas yra lygumo reikalavimas. Nors įprastas pramoninis pagrindas gali atitikti 1 arba 0 lygumo lygumo reikalavimus (matuojamas keliais mikronais), optinėms sistemoms reikalingas tikslumas nanometrų diapazone. Šis geometrinio tobulumo lygis yra būtinas norint užtikrinti patikimą atskaitos plokštumą linijiniams staklėms ir automatinio fokusavimo sistemoms, kurios veikia šviesos interferencijos principais.
Nanometrų lygio plokštumos pasiekimas ir sertifikavimas reikalauja visiškai kitokio gamybos metodo. Tam reikia labai specializuotų metodų, naudojant pažangius įrenginius, tokius kaip „Taiwan Nanter“ šlifuokliai, ir patvirtinama sudėtinga metrologijos įranga, tokia kaip „Renishaw“ lazeriniai interferometrai. Šis procesas turi vykti itin stabilioje aplinkoje, pavyzdžiui, „ZHHIMG®“ vibraciją slopinančiose, klimato kontroliuojamose dirbtuvėse, kur net ir subtilūs oro judesiai yra kuo mažesni.
Iš esmės, granito tikslios platformos pasirinkimas optiniam patikrinimui yra sprendimas investuoti į komponentą, kuris aktyviai garantuoja paties optinio matavimo tikslumą. Tam reikia bendradarbiauti su gamintoju, kuris ISO 9001 sertifikatą ir išsamų matmenų atsekamumą laiko ne pasirenkamomis savybėmis, o pagrindiniais reikalavimais norint patekti į itin tikslios optikos pasaulį.
Įrašo laikas: 2025 m. spalio 21 d.