Puslaidininkių pramonėje plokštelių tikrinimas yra pagrindinė grandis, užtikrinanti lustų kokybę ir našumą, o tikrinimo stalo tikslumas ir stabilumas vaidina lemiamą vaidmenį aptikimo rezultatams. Granito pagrindas, pasižymintis unikaliomis savybėmis, tampa idealiu puslaidininkių plokštelių tikrinimo stalo pasirinkimu, atliekant daugiamačio analizės užduotį.
Pirma, tikslumo garantijos matmuo
1. Itin didelis lygumas ir tiesumas: granito pagrindas apdorojamas naudojant pažangias apdorojimo technologijas, lygumas gali siekti ±0,001 mm/m ar net didesnį tikslumą, o tiesumas taip pat yra puikus. Plokštelės tikrinimo procese didelio tikslumo plokštuma užtikrina stabilų plokštelės palaikymą ir tikslų kontaktą tarp tikrinimo įrangos zondo ir litavimo jungčių plokštelės paviršiuje.
2. Labai mažas šiluminio plėtimosi koeficientas: puslaidininkių gamyba yra jautri temperatūros pokyčiams, o granito šiluminio plėtimosi koeficientas yra labai mažas, paprastai apie 5 × 10⁻⁶/℃. Kai aptikimo platforma veikia, net ir svyruojant aplinkos temperatūrai, granito pagrindo dydis kinta labai mažai. Pavyzdžiui, vasarą aukštos temperatūros dirbtuvėse įprastos metalinės pagrindo aptikimo platformos temperatūra gali sukelti santykinę plokštelės ir aptikimo įrangos padėtį, o tai turi įtakos aptikimo tikslumui; granito pagrindo aptikimo platforma gali išlaikyti stabilumą, užtikrinti santykinę plokštelės ir aptikimo įrangos padėties tikslumą aptikimo proceso metu ir sudaryti stabilią aplinką didelio tikslumo aptikimui.
Antra, stabilumo dimensija
1. Stabili struktūra ir atsparumas vibracijai: Po milijonų metų geologinių procesų granito vidinė struktūra yra tanki ir vienoda. Sudėtingoje puslaidininkių gamyklos aplinkoje granito pagrindas efektyviai slopina vibraciją, kurią sukelia periferinės įrangos veikimas ir aplink vaikštantis personalas.
2. Ilgalaikis tikslumas: palyginti su kitomis medžiagomis, granitas pasižymi dideliu kietumu, dideliu atsparumu dilimui, o kietumas pagal Moso skalę gali siekti 6–7. Granito pagrindo paviršius nėra lengvai dilstamas dažno pakrovimo, iškrovimo ir tikrinimo operacijų metu. Remiantis faktiniais duomenų naudojimo statistikos duomenimis, naudojant granito pagrindo bandymų stalą, nepertraukiamai veikiant po 5000 valandų, lygumo ir tiesumo tikslumas vis tiek gali būti išlaikytas daugiau nei 98 % pradinio tikslumo, todėl sumažėja įrangos nusidėvėjimas dėl pagrindo, kurį sukelia reguliarus kalibravimas ir priežiūra, sumažėja verslo veiklos sąnaudos ir užtikrinamas ilgalaikis bandymų darbo stabilumas.
Trečia, švarus ir apsaugantis nuo trukdžių matmuo
1. Mažas dulkių susidarymas: puslaidininkių gamybos aplinka turi būti labai švari, o pati granito medžiaga yra stabili ir joje nėra lengva susidaryti dulkių dalelėms. Bandymo platformos veikimo metu išvengiama pagrindo susidarančių dulkių, kurios užterštų plokštelę, ir sumažinama trumpojo jungimo bei atvirosios grandinės rizika, kurią sukelia dulkių dalelės. Dulkių neturinčiose dirbtuvėse plokštelių tikrinimo zonoje dulkių koncentracija aplink granito pagrindo tikrinimo stalą visada kontroliuojama iki itin žemo lygio, kad būtų laikomasi griežtų puslaidininkių pramonės švaros reikalavimų.
2. Nėra magnetinių trukdžių: aptikimo įranga yra jautri elektromagnetinei aplinkai, o granitas yra nemagnetinė medžiaga, kuri netrukdys aptikimo įrangos elektroniniam signalui. Naudojant elektronų pluošto aptikimo ir kitas bandymo technologijas, kurioms reikalinga itin stipri elektromagnetinė aplinka, granito pagrindas užtikrina stabilų aptikimo įrangos elektroninio signalo perdavimą ir bandymo rezultatų tikslumą. Pavyzdžiui, kai plokštelė tikrinama dėl didelio tikslumo elektrinių charakteristikų, nemagnetinis granito pagrindas vengia trukdžių aptikimo srovės ir įtampos signalams, todėl aptikimo duomenys tikrai atspindi plokštelės elektrines charakteristikas.
Įrašo laikas: 2025 m. kovo 31 d.