Granitas yra kietos uolienos rūšis, tapusi nepakeičiama medžiaga puslaidininkių gamybos pramonėje. Dėl savo savybių jis atlaiko aukštą temperatūrą, todėl idealiai tinka naudoti įvairiuose puslaidininkinių prietaisų gamybos procesų etapuose. Dėl to granito surinkimas rado plačias taikymo sritis puslaidininkių gamybos proceso prietaisų gaminiuose.
Vienas iš labiausiai naudojamų granito surinkimo pritaikymų yra didelio tikslumo staklių konstrukcijų gamyba. Granito standumas ir stabilumas leidžia gaminti tikslius ir tikslius įrankius su minimalia deformacija arba jos visai neturint. Toks tikslumo lygis būtinas puslaidininkių gamybos procesuose, tokiuose kaip jonų implantacija, kur spindulys turi būti tiksliai nukreiptas į plokštelę.
Kitas granito panaudojimo būdas puslaidininkių gamyboje yra metrologijos įrangos konstravimas. Metrologijos įranga yra gyvybiškai svarbi puslaidininkių gamybos procesuose, nes ji matuoja ir tikrina gaminamų prietaisų tikslumą. Granito matmenų stabilumas, mažas šiluminis plėtimasis ir puikios vibracijos slopinimo savybės daro jį pasirinkta medžiaga metrologijos įrangos gamyboje. Tai apima didelius granito paviršius, naudojamus plokštelių paruošimui ir tikrinimui.
Optiniai stalai yra dar viena plačiai granito surinkimo taikymo sritis puslaidininkių pramonėje. Optiniai stalai naudojami optinių įrenginių, tokių kaip bangolaidžiai duomenų perdavimui, bandymams. Granito lygumas, mažas šiluminis plėtimasis, didelis standumas ir mechaninis stabilumas leidžia jam sukurti labai stabilų paviršių optikai montuoti ir pozicionuoti. Granitiniai optiniai stalai gali užtikrinti stabilumą ir standumą, reikalingą tiksliam ir tiksliam optinių įrenginių bandymui atlikti.
Granitas taip pat naudojamas plokštelių laikiklių ir pakopų gamyboje. Puslaidininkių gamybos procese labai svarbus tikslus išlyginimas ir padėties valdymas. Plokštelių laikiklių, kurie laiko plokšteles vietoje apdorojimo metu, padėties tikslumas turi išlikti atlaikant aukštą temperatūrą ir vakuumo sąlygas. Granitas pasižymi puikiu matmenų stabilumu plačiame temperatūrų diapazone ir gali atlaikyti vakuumo sąlygas, todėl idealiai tinka plokštelių laikiklių gamyboje. Pakopų, naudojamų plokštelėms perkelti iš vienos padėties į kitą, gamybos metu atliekami cikliniai judesiai. Granito surinkimas užtikrina stabilumą ir ilgaamžiškumą, reikalingą nuolatiniams ir pasikartojantiems judėjimo ciklams atlaikyti.
Apibendrinant, granito pritaikymas puslaidininkių gamybos pramonėje yra platus. Tokios savybės kaip matmenų stabilumas, mažas šiluminis plėtimasis, didelis standumas ir vibracijos slopinimas daro jį idealia medžiaga, naudojama įvairiuose puslaidininkinių įtaisų gamybos procesų etapuose. Nuo didelio tikslumo staklių ir metrologijos įrangos konstrukcijos iki optinių stalų, plokštelių pakopų ir griebtuvų – granito savybės vaidina lemiamą vaidmenį užtikrinant stabilumą, tikslumą ir pakartojamumą, būtinus aukštos kokybės puslaidininkinių įtaisų gamybai.
Įrašo laikas: 2023 m. gruodžio 6 d.