Pasaulinė puslaidininkių pramonė šiuo metu atkakliai siekia „Angstromų eros“, kai tranzistorių matmenys matuojami vos kelių atomų pločiu. Litografijos ir tikrinimo įrankiams pereinant prie šių mikroskopinių mastelių, struktūrinio stabilumo poreikis perėjo iš „makro“ į „nano“. Šios revoliucijos centre slypi medžiaga, kuri yra tokia pat sena kaip ir pati Žemė: precizinis granitas.
Nors daugelis granitą laiko paprastu akmeniu, atsižvelgiant į ananopozicionavimo etapasarba didelės spartos plokštelių tikrinimo sistema – tai sudėtinga inžinerinė keramika. Originalios įrangos gamintojams (OEM), norintiems praplėsti silicio gamybos galimybių ribas, būtina suprasti skirtumą tarp pagrindinių metrologijos įrankių ir pažangių judėjimo platformų.
Granito CMM ir granito paviršiaus plokštės: inžinerijos pamainos supratimas
Daugelyje kokybės kontrolės laboratorijų,Granito paviršiaus plokštėyra visur esantis įtaisas – patikimas, plokščias rankinio matavimo etalonas. Tačiau yra dažnas klaidingas įsitikinimas, kad paviršiaus plokštė ir granito CMM (koordinatinės matavimo mašinos) pagrindas yra keičiami. Inžinerijos požiūriu, jie atstovauja dviem skirtingiems sudėtingumo lygiams.
Paviršiaus plokštė skirta statiniam stabilumui. Jos pagrindinė funkcija – išlikti plokščiai veikiant nejudančiai apkrovai. Priešingai, granito pagrindas, skirtas koordinatinių matavimo staklėms (CMM) arba tiksliam stacionariam ...
„ZHHIMG“ inžinieriai dinaminėms reikmėms specialiai pasirinko „juodąjį granitą“ dėl didesnio tankio ir smulkesnės grūdėtumo. Nors standartinėje paviršiaus plokštėje gali būti naudojama porėtesnė rūšis, CMM pagrindui reikalingas didžiausias įmanomas Youngo modulis, siekiant užtikrinti, kad didelio greičio judėjimo „traškėjimas“ nesukeltų struktūrinių žiedų, kurie iškraipytų matavimo duomenis.
Tikslūs puslaidininkių gamybos etapai: našumo pagrindas
Puslaidininkių gamyboje našumas ir našumas yra du svarbiausi rodikliai. Abu jie tiesiogiai priklauso nuo našumo.tikslumo etapaiNesvarbu, ar tai būtų DUV/EUV litografijos aparato plokštelės stadija, ar automatinio optinio tikrinimo (AOI) įrankio padėties nustatymo sistema, pagrindinė medžiaga turi užtikrinti pakartojamumą po nanometro.
Pagrindinis gamyklos iššūkis yra šiluma. Linijiniai varikliai ir pavaros generuoja didelę šiluminę energiją. Jei stovo pagrindas būtų pagamintas iš aliuminio arba plieno, dėl susidariusio šiluminio plėtimosi plokštelė pasislinktų iš vietos, o tai sukeltų „perdangos klaidas“, kurios sugadintų ištisas lustų partijas.
Dėl itin mažo granito šiluminio plėtimosi koeficiento (CTE) fizinis scenos „žemėlapis“ išlieka pastovus net ir varikliams įkaitus. Be to, „ZHHIMG“ tiekia individualiai pritaikytus granito komponentus su integruotais oro guolių takeliais. Kadangi granitą galima lyginti iki veidrodinio lygumo, jis puikiai tinka kaip oro guolių atsvara, leidžianti scenoms „plūduriuoti“ ant plono oro sluoksnio be jokios trinties ir sukibimo.
Nanopozicionavimo pakopos bazės fizika
Kai įžengiame į karalystęnanopozicionavimo etapas, susiduriame su judesiais, kurie yra 10 000 kartų mažesni už žmogaus plauką. Šiame lygyje vibracija yra priešas. Standartinės pramoninės grindys nuolat vibruoja dėl ŠVOK sistemų, pėsčiųjų eismo ir šalia esančių mechanizmų.
Granitas veikia kaip masyvus žemo dažnio filtras. Dėl didelės masės ir didelio vidinio slopinimo jis natūraliai sugeria aukšto dažnio vibracijas, kol jos pasiekia jautrius jutiklius ar pačią plokštelę. Ši „pasyvi izoliacija“ yra priežastis, kodėl pirmaujantys pasaulyje litografijos tiekėjai pasikliauja ZHHIMG, kad užtikrintų sunkius ir stabilius pamatus savo vakuume suderinamiems stendams. Mūsų granitas yra specialiai apdorotas, kad būtų užtikrintas nulinis dujų išsiskyrimas, todėl jis tinka didelio vakuumo aplinkai, reikalingai elektronų pluošto ir EUV procesams.
Šlifavimas iki ribos: ZHHIMG pranašumas
Perėjimas nuo neapdoroto akmens luito prie puslaidininkinės kokybės komponento yra ypatingos kantrybės kelionė. Nors CNC šlifavimas padeda mums pasiekti tikslą, galutinis „ypač tikslus“ lygis pasiekiamas rankiniu būdu šlifuojant. Tai procesas, kurio metu ZHHIMG technikai, naudodami abrazyvines pastas ir rankinius judesius, vienu metu nuskutuoja mikrono dalis.
Už ananopozicionavimo etapasPlokštumas nėra vienintelis reikalavimas; lygiai taip pat svarbūs kreipiamųjų paviršių lygiagretumas ir statmenumas. Mūsų įmonėje naudojami lazeriniai sekikliai ir elektroniniai nivelyrai, kurių skiriamoji geba yra 0,1 lanko sekundės, siekiant patikrinti, ar kiekviena ašis yra idealiai suderinta. Toks meistriškumo lygis užtikrina, kad klientui montuojant linijinius variklius ir kodavimo įrenginius, mechaninis pagrindas būtų kuo artimesnis „tobulumui“, kiek leidžia fizikos dėsniai.
„Fab“ ateities užtikrinimas
Pramonei pereinant prie 2 nm ir didesnių mazgų, medžiagų grynumo ir matmenų stabilumo reikalavimai tik didės. Granito integravimas su kitomis pažangiomis medžiagomis, tokiomis kaip anglies pluošto tilteliai arba keraminiai vakuuminiai griebtuvai, yra kita judesio valdymo sritis.
„ZHHIMG“ ir toliau yra įsipareigojusi būti daugiau nei tik tiekėja; esame bendradarbiavimo partneris pasaulinėje puslaidininkių tiekimo grandinėje. Suteikdami itin stabilius pagrindus, reikalingus naujos kartos tiksliųjų pakopų gamybai, padedame kurti mašinas, kurios kuria ateitį.
Įrašo laikas: 2026 m. vasario 2 d.