Aukščiausios klasės gamybos ir pažangiausių mokslinių tyrimų srityse tiksli statinio slėgio oro plūduriuojanti judėjimo platforma yra pagrindinė įranga, užtikrinanti itin tikslų veikimą. Granitinis tikslusis pagrindas yra pagrindinė platformos atraminė dalis, o jos veikimas yra glaudžiai susijęs su darbo aplinka. Šių aplinkosaugos reikalavimų supratimas ir laikymasis gali ne tik užtikrinti aukštą platformos veikimo tikslumą, bet ir būti svarbi įmonės dalis, didinanti jos konkurencingumą susijusiose srityse, kas išsamiai aprašyta toliau.
1. Temperatūra: tikslus valdymas, siekiant užtikrinti matmenų stabilumą
Nors granitas yra žinomas dėl savo stabilumo, jo šiluminio plėtimosi koeficientas nėra lygus nuliui, ir nedideli temperatūros pokyčiai vis tiek gali turėti įtakos jo matmenų tikslumui. Apskritai granito šiluminio plėtimosi koeficientas yra 5–7 × 10⁻⁶/℃. Tikslios statinio slėgio oro plūduriuojančios judėjimo platformos taikymo scenarijuje šis nedidelis pokytis sustiprėja dėl platformos, o tai gali lemti judėjimo tikslumo nuokrypį. Pavyzdžiui, puslaidininkių lustų gamybos procese, litografijos procese, siekiant danami lygio padėties nustatymo tikslumo reikalavimų, aplinkos temperatūros svyravimas yra 1 °C, todėl 1 metro granito pagrindo šoninio ilgio gali atsirasti 5–7 mikronų linijinis išsiplėtimas arba susitraukimas, kurio pakanka, kad lustų litografijos raštas nukryptų ir sumažėtų išeiga. Todėl tikslios statinio slėgio oro plūduriuojančios platformos su tiksliu granito pagrindu ideali darbo aplinkos temperatūra turėtų būti griežtai kontroliuojama 20 °C ± 1 °C, įmonės gali įrengti didelio tikslumo pastovios temperatūros oro kondicionavimo sistemą, nuolat stebėti ir tiksliai reguliuoti aplinkos temperatūrą, palaikyti granito pagrindo dydžio stabilumą, kad būtų užtikrintas didelis platformos veikimo tikslumas.
2. drėgmė: pagrįsta kontrolė, apsaugo bazinį našumą
Drėgmė taip pat daro didelę įtaką tiksliems granito pagrindams. Didelės drėgmės aplinkoje granitas lengvai sugeria vandens garus, todėl ant paviršiaus gali susidaryti kondensatas, kuris ne tik sutrikdys normalų oro plūduriavimo sistemos veikimą, bet ir ilgainiui ardys granito paviršių, sumažins jo tikslumą ir tarnavimo laiką. Pavyzdžiui, optinių lęšių šlifavimo dirbtuvėse, jei drėgmė ilgą laiką yra didesnė nei 60 % santykinė drėgmė, ant granito pagrindo paviršiaus adsorbuoti vandens garai sunaikins oro plūduriavimo plėvelės vienodumą, dėl to sumažės lęšių šlifavimo tikslumas ir atsiras paviršiaus defektų. Todėl santykinę darbo aplinkos drėgmę reikia kontroliuoti nuo 40 % iki 60 % santykinės drėgmės. Įmonės gali naudoti sausintuvus, drėgmės jutiklius ir kitą įrangą, kad realiuoju laiku stebėtų ir valdytų drėgmę, sukurtų tinkamą drėgmės aplinką tiksliam granito pagrindui ir užtikrintų stabilų tikslios statinio slėgio oro plūduriavimo judėjimo platformos veikimą.
3. švara: griežtai kontroliuokite, pašalinkite dalelių trukdžius
Dulkių dalelės yra tikslios statinio slėgio oro plūduriuojančios judėjimo platformos „priešas“ ir daro didelę žalą tiksliam granito pagrindui. Kai mažos dalelės patenka į dujų plėvelės tarpą tarp dujų plūduriuojančio slankiklio ir granito pagrindo, jos gali pažeisti dujų plėvelės vienodumą, padidinti trintį ir net subraižyti pagrindo paviršių, o tai gali rimtai paveikti platformos judėjimo tikslumą. Itin tikslaus orlaivių ir kosmoso detalių apdirbimo dirbtuvėse, jei ore esančios dulkių dalelės nukrenta ant granito pagrindo, apdirbimo įrankio judėjimo trajektorija gali nukrypti, o tai turi įtakos detalių apdirbimo tikslumui. Todėl darbo vieta turi būti labai švari ir pasiekti 10 000 ar net aukštesnį švaros standartą. Įmonės gali filtruoti dulkių daleles ore įrengdamos didelio efektyvumo oro filtrus (HEPA) ir reikalauti, kad darbuotojai dėvėtų dulkių neturinčius drabužius, batų uždangalus ir kt., kad sumažintų žmonių įnešamų dulkių kiekį ir palaikytų granito pagrindo ir tikslios statinio slėgio oro plūduriuojančios judėjimo platformos didelio tikslumo darbo aplinką.
4. Vibracija: efektyvi izoliacija, sukurianti lygią erdvę
Išorinė vibracija rimtai sutrikdys tikslios statinio slėgio oro plūduriuojančios platformos tikslumą, nors tiksli granito bazė turi tam tikrą vibracijos slopinimo pajėgumą, didelio stiprio vibracija vis tiek gali viršyti jos buferio ribą. Gamyklos aplinkoje esančio eismo ir didelių mechaninių įrenginių veikimo sukeliama vibracija per žemę perduodama granito pagrindui, o tai sutrikdys platformos judėjimo tikslumą. Aukštos klasės KMM vibracija gali sukelti nestabilų matavimo zondo ir matuojamo ruošinio kontaktą, dėl kurio matavimo duomenys gali nukrypti. Norint išspręsti šią problemą, būtina imtis veiksmingų vibracijos izoliavimo priemonių, pvz., įrangos montavimo vietoje įrengti vibracijos izoliacines pagalvėles, pastatyti vibracijos izoliacijos pagrindą arba naudoti aktyvią vibracijos izoliavimo sistemą, kad būtų aktyviai kompensuojama išorinė vibracija, ir sukurti ramią bei stabilią granito tikslios bazės ir tikslios statinio slėgio oro plūduriuojančios judėjimo platformos darbo aplinką.
Atitikti aukščiau nurodytus aplinkosaugos reikalavimus, siekiant visapusiškai išnaudoti granito tiksliojo pagrindo privalumus tikslioje statinio slėgio oro plūduriuojančioje judėjimo platformoje, siekiant užtikrinti, kad platforma teiktų didelio tikslumo ir didelio stabilumo judesio valdymo paslaugas įvairioms pramonės šakoms. Jei įmonės gali atkreipti dėmesį į šias detales gamybos aplinkoje, jos pasinaudos galimybėmis tiksliojoje gamyboje, moksliniuose tyrimuose ir kitose srityse, padidins savo konkurencingumą ir pasieks tvarų vystymąsi.
Įrašo laikas: 2025 m. balandžio 10 d.