Granitas jau daugelį metų plačiai naudojamas puslaidininkinės įrangos gamyboje ir projektuojant.Taip yra dėl puikių savybių, todėl ji yra ideali medžiaga daugeliui pritaikymų.Granitas yra labai atsparus dilimui, korozijai ir šiluminiams smūgiams, todėl tinkamas naudoti atšiaurioje aplinkoje.Šiame straipsnyje aptarsime kai kuriuos įprastus granito panaudojimo būdus puslaidininkinėje įrangoje.
1. Metrologijos įranga
Puslaidininkinių įtaisų matmenims ir savybėms matuoti naudojama metrologijos įranga.Granitas dažnai naudojamas kaip tokios įrangos pagrindas dėl didelio matmenų stabilumo.Granito paviršiaus lygumas ir tikslumas yra ideali atskaitos taškas tiksliems matavimams.Be to, granito šiluminis stabilumas sumažina matmenų pokyčių riziką dėl temperatūros pokyčių.
2. Optinė įranga
Granitas taip pat naudojamas optinėje įrangoje, pavyzdžiui, litografijos mašinose, kurios naudojamos puslaidininkinių įtaisų gamyboje.Granito pagrindas suteikia stabilią platformą šiose mašinose naudojamai didelio tikslumo optikai.Puikios granito vibraciją slopinančios savybės taip pat padeda sumažinti vibraciją, kuri gali turėti įtakos optikos veikimui ir tikslumui.
3. Vaflių apdorojimo įranga
Puslaidininkinių plokštelių apdorojimas apima kelis etapus, įskaitant valymą, ėsdinimą ir nusodinimą.Granitas naudojamas keliuose vaflių apdorojimo įrangos komponentuose.Pavyzdžiui, granitas naudojamas kaip substratas cheminio nusodinimo garais (CVD) įrangai, kuri naudojama plonoms plėvelėms nusodinti ant silicio plokštelių.Granitas taip pat naudojamas gaminant ėsdinimo kameras ir kitus proceso indus, kur būtinas puikus jo cheminis atsparumas ir matmenų stabilumas.
4. Bandymo įranga
Bandymo įranga naudojama puslaidininkinių įtaisų veikimui ir kokybei patikrinti.Granitas dažnai naudojamas kaip bandymo įrangos pagrindas dėl didelio standumo ir stabilumo.Granitas suteikia nemagnetinę ir nelaidžią platformą, kuri pašalina trikdžius jautriai bandymo įrangai.Granito paviršiaus lygumas ir tikslumas leidžia gauti labai tikslius bandymo rezultatus.
Išvada
Apibendrinant galima pasakyti, kad granitas yra svarbi medžiaga projektuojant ir gaminant puslaidininkinę įrangą.Dėl puikių savybių, įskaitant matmenų stabilumą, terminį stabilumą, cheminį atsparumą ir vibracijos slopinimą, jis yra ideali medžiaga daugeliui pritaikymų.Granitas naudojamas keliuose svarbiausiuose puslaidininkinės įrangos komponentuose, įskaitant metrologijos įrangą, optinę įrangą, plokštelių apdorojimo įrangą ir bandymo įrangą.Kadangi spartesnių, mažesnių ir galingesnių puslaidininkinių įrenginių paklausa ir toliau auga, granito naudojimas puslaidininkinėje įrangoje greičiausiai išliks būtinas.
Paskelbimo laikas: 2024-08-08