Granitas daugelį metų buvo plačiai naudojamas gaminant ir projektuojant puslaidininkių įrangą. Taip yra dėl puikių savybių, todėl tai yra ideali medžiaga daugeliui programų. Granitas yra labai atsparus dėvėjimui, korozijai ir šiluminiams smūgiams, todėl jis tinka naudoti atšiaurioje aplinkoje. Šiame straipsnyje aptarsime kai kuriuos bendrąjį granito pritaikymą puslaidininkių įrangoje.
1. Metrologijos įranga
Metrologijos įranga naudojama puslaidininkių prietaisų matmenims ir savybėms matuoti. Granitas dažnai naudojamas kaip tokios įrangos pagrindas dėl jo didelio matmens stabilumo. Granito paviršiaus lygumas ir tikslumas yra ideali nuoroda tiksliems matavimams. Be to, granito šiluminis stabilumas sumažina matmenų pokyčių riziką dėl temperatūros pokyčių.
2. Optinė įranga
Granitas taip pat naudojamas optinėje įrangoje, tokioje kaip litografijos mašinos, kurios naudojamos gaminant puslaidininkinius įtaisus. Granito bazė suteikia stabilią platformą aukšto tikslumo optikai, naudojamai šiose mašinose. Puikios granito vibracijos slopinimo savybės taip pat padeda sumažinti virpesius, kurie gali paveikti optikos našumą ir tikslumą.
3. Vaflių apdorojimo įranga
Puslaidininkių vaflių apdorojimas apima keletą žingsnių, įskaitant valymą, ofortą ir nusėdimą. Granitas naudojamas keliuose vaflių perdirbimo įrangos komponentuose. Pavyzdžiui, granitas naudojamas kaip substratas cheminio garų nusėdimo (CVD) įrangai, kuri naudojama plonoms plėvelėms dėti ant silicio plokštelių. Granitas taip pat naudojamas statant ėsdinančias kameras ir kitus proceso indus, kur būtinas jo puikus cheminis atsparumas ir matmenų stabilumas.
4. Bandymo įranga
Bandymo įranga naudojama puslaidininkių įrenginių našumui ir kokybei patikrinti. Granitas dažnai naudojamas kaip bandymo įrangos pagrindas dėl didelio tvirtumo ir stabilumo. „Granite“ suteikia nemagnetinę ir nelaidžią platformą, kuri pašalina trukdžius jautriai bandymo įrangai. Granito paviršiaus lygumas ir tikslumas leidžia pasiekti labai tikslius bandymo rezultatus.
Išvada
Apibendrinant galima pasakyti, kad granitas yra svarbi puslaidininkių įrangos projektavimo ir gamybos medžiaga. Jos puikios savybės, įskaitant matmenų stabilumą, šiluminį stabilumą, cheminį atsparumą ir vibracijos slopinimą, yra ideali medžiaga daugeliui pritaikymų. Granitas naudojamas keliuose kritiniuose puslaidininkių įrangos komponentuose, įskaitant metrologijos įrangą, optinę įrangą, vaflių perdirbimo įrangą ir bandymo įrangą. Kadangi greitesnis, mažesnių ir galingesnių puslaidininkių prietaisų paklausa ir toliau auga, granito naudojimas puslaidininkių įrangoje greičiausiai išliks būtinas.
Pašto laikas: 2012-08-08