Granitas jau daugelį metų plačiai naudojamas puslaidininkių įrangos gamyboje ir projektavime. Taip yra dėl puikių savybių, kurios daro jį idealia medžiaga daugeliui pritaikymų. Granitas yra labai atsparus dilimui, korozijai ir terminiams smūgiams, todėl jį galima naudoti atšiaurioje aplinkoje. Šiame straipsnyje aptarsime kai kuriuos įprastus granito panaudojimo būdus puslaidininkių įrangoje.
1. Metrologijos įranga
Metrologijos įranga naudojama puslaidininkinių įtaisų matmenims ir savybėms matuoti. Granitas dažnai naudojamas kaip tokios įrangos pagrindas dėl didelio matmenų stabilumo. Granito paviršiaus lygumas ir tikslumas yra idealus atskaitos taškas tiksliems matavimams. Be to, granito terminis stabilumas sumažina matmenų pokyčių riziką dėl temperatūros svyravimų.
2. Optinė įranga
Granitas taip pat naudojamas optinėje įrangoje, pavyzdžiui, litografijos mašinose, kurios naudojamos puslaidininkinių įtaisų gamyboje. Granito pagrindas suteikia stabilią platformą šiose mašinose naudojamai didelio tikslumo optikai. Puikios granito vibracijos slopinimo savybės taip pat padeda sumažinti vibracijas, kurios gali turėti įtakos optikos veikimui ir tikslumui.
3. Vaflių apdorojimo įranga
Puslaidininkių plokštelių apdorojimas apima kelis etapus, įskaitant valymą, ėsdinimą ir nusodinimą. Granitas naudojamas keliuose plokštelių apdorojimo įrangos komponentuose. Pavyzdžiui, granitas naudojamas kaip cheminio garinimo nusodinimo (CVD) įrangos, kuri naudojama plonoms plėvelėms nusodinti ant silicio plokštelių, substratas. Granitas taip pat naudojamas ėsdinimo kamerų ir kitų proceso indų konstrukcijoje, kur labai svarbus jo puikus cheminis atsparumas ir matmenų stabilumas.
4. Bandymo įranga
Bandymo įranga naudojama puslaidininkinių įtaisų veikimui ir kokybei patikrinti. Granitas dažnai naudojamas kaip bandymo įrangos pagrindas dėl savo didelio standumo ir stabilumo. Granitas suteikia nemagnetinę ir nelaidžią platformą, kuri pašalina trukdžius jautriai bandymo įrangai. Granito paviršiaus lygumas ir tikslumas leidžia gauti labai tikslius bandymo rezultatus.
Išvada
Apibendrinant, granitas yra svarbi medžiaga puslaidininkinės įrangos projektavime ir gamyboje. Dėl puikių savybių, įskaitant matmenų stabilumą, terminį stabilumą, atsparumą cheminiam poveikiui ir vibracijos slopinimą, jis yra ideali medžiaga daugeliui pritaikymų. Granitas naudojamas keliuose svarbiuose puslaidininkinės įrangos komponentuose, įskaitant metrologijos įrangą, optinę įrangą, plokštelių apdorojimo įrangą ir bandymų įrangą. Kadangi greitesnių, mažesnių ir galingesnių puslaidininkinių įtaisų paklausa toliau auga, granito naudojimas puslaidininkinėje įrangoje greičiausiai išliks esminis.
Įrašo laikas: 2024 m. balandžio 8 d.