Dėl didelio stabilumo ir ilgaamžiškumo granito komponentai yra plačiai naudojami puslaidininkinėje įrangoje.Jie yra atsakingi už puslaidininkių gamybos procesų tikslumo ir tikslumo palaikymą.Tačiau granito komponentų efektyvumas ir patikimumas priklauso nuo standartų ir specifikacijų, kurių laikomasi projektuojant, gaminant ir montuojant.
Toliau pateikiami kai kurie standartai ir specifikacijos, kurių reikia laikytis naudojant granito komponentus puslaidininkinėje įrangoje:
1. Medžiagos tankis: granito komponentų gamyboje naudojamos granito medžiagos tankis turėtų būti apie 2,65 g/cm3.Tai yra natūralaus granito medžiagos tankis, užtikrinantis granito komponentų savybių nuoseklumą ir patikimumą.
2. Plokštumas: Plokštumas yra viena iš svarbiausių puslaidininkinėje įrangoje naudojamų granito komponentų specifikacijų.Granito paviršiaus lygumas turi būti mažesnis nei 0,001 mm/m2.Tai užtikrina, kad komponento paviršius būtų lygus ir lygus, o tai būtina puslaidininkių gamybos procesams.
3. Paviršiaus apdaila: Granito komponentų paviršiaus apdaila turi būti aukštos kokybės, o paviršiaus šiurkštumas mažesnis nei 0,4 µm.Tai užtikrina, kad granito komponento paviršius turi mažą trinties koeficientą, kuris yra labai svarbus sklandžiam puslaidininkinės įrangos darbui.
4. Šiluminio plėtimosi koeficientas: puslaidininkinė įranga veikia esant skirtingoms temperatūroms, o granito komponentai turi atlaikyti šiluminius svyravimus be deformacijų.Puslaidininkinėje įrangoje naudojamo granito šiluminio plėtimosi koeficientas turi būti mažesnis nei 2 x 10^-6 /°C.
5. Matmenų tolerancija: Matmenų tolerancija yra labai svarbi granito komponentų veikimui.Granito komponentų matmenų tolerancija turi būti ne didesnė kaip ±0,1 mm visiems kritiniams matmenims.
6. Kietumas ir atsparumas dilimui: kietumas ir atsparumas dilimui yra esminės puslaidininkinėje įrangoje naudojamų granito komponentų specifikacijos.Granito kietumas yra 6–7 Mohso skalės, todėl jis yra tinkama medžiaga naudoti puslaidininkinėje įrangoje.
7. Izoliacijos našumas: puslaidininkinėje įrangoje naudojami granito komponentai turi turėti puikias izoliacijos savybes, kad būtų išvengta jautrių elektroninių komponentų pažeidimo.Elektrinė varža turi būti didesnė nei 10^9 Ω/cm.
8. Cheminis atsparumas: Granito komponentai turi būti atsparūs įprastoms cheminėms medžiagoms, naudojamoms puslaidininkių gamybos procesuose, pvz., rūgštims ir šarmams.
Apibendrinant galima pasakyti, kad puslaidininkinėje įrangoje naudojamų granito komponentų standartai ir specifikacijos yra labai svarbūs, siekiant užtikrinti tiek komponentų, tiek įrangos, kurioje jie naudojami, ilgaamžiškumą ir patikimumą. Projektuojant, gaminant ir montuojant reikia griežtai laikytis aukščiau pateiktų nurodymų. procesus, kad komponentai būtų aukščiausios kokybės.Laikydamiesi šių standartų ir specifikacijų, puslaidininkių gamintojai gali užtikrinti, kad jų įrangos našumas išliktų optimalus, todėl padidės našumas ir pelningumas.
Paskelbimo laikas: 2024-03-20