Augant technologijoms, granito dalių naudojimas puslaidininkių įrangoje tapo vis populiaresnis. Granitas yra populiarus pasirinkimas naudoti puslaidininkių įrangos apdorojimo technologijoje dėl daugybės privalumų. Granitas yra viena sunkiausių ir patvariausių medžiagų, todėl jis idealiai tinka naudoti puslaidininkių gamybos pramonėje. Tai puikus šilumos laidininkas ir turi labai žemą šiluminio išsiplėtimo koeficientą, todėl jis puikiai tinka naudoti aukštoje temperatūroje.
Granito dalių apdorojimo technologija puslaidininkių įrangoje apima daugybę metodų ir procesų. Esminiai žingsniai yra granito paviršiaus poliravimas, ofortas ir valymas. Naudojamos apdorojimo technologijos tipas priklausys nuo naudojamo granito tipo.
Poliravimas yra kritinis granito dalių apdorojimo puslaidininkių įrangoje aspektas. Granito paviršiaus poliravimas iki didelio sklandumo padeda užtikrinti, kad vaflis perdirbimo metu nepažeistų. Tai sumažina dalelių ar įbrėžimų užteršimo tikimybę ant vaflinio paviršiaus. Poliravimas gali būti pasiektas įvairiais būdais, tokiais kaip mechaninis poliravimas, cheminis poliravimas ir elektrocheminis poliravimas.
Ordinimas yra dar vienas esminis granito dalių apdorojimo puslaidininkių įrangoje aspektas. Ordinimas naudojamas norint sukurti norimus modelius ant granito dalies paviršiaus. Modeliai naudojami gaminant ir perdirbant puslaidininkių plokšteles. Yra keletas būdų, kaip atlikti ėsdinimą, įskaitant plazmos ėsdinimą, drėgną cheminį ėsdinimą ir sausą cheminį ėsdinimą. Naudojamo ėsdinimo proceso tipas priklausys nuo medžiagos ir norimo modelio.
Taip pat labai svarbu valyti granito paviršių. Valymo procesas yra būtinas norint pašalinti bet kokius teršalus iš paviršiaus, pavyzdžiui, daleles ir kitas priemaišas, kurios gali trukdyti puslaidininkių gamybos procesui. Valymas gali būti atliekamas naudojant įvairius metodus, tokius kaip ultragarsinis valymas, cheminis valymas ar plazmos valymas, be kita ko.
Apibendrinant galima pasakyti, kad puslaidininkių įrangos granito dalių apdorojimo technologija vaidina lemiamą vaidmenį puslaidininkių gamybos procese. Granito dalių naudojimas padeda pagerinti galutinio produkto kokybę ir patikimumą. Apdorojimo technologija apima granito paviršiaus poliravimą, ofortą ir valymą. Kiekvienam žingsniui yra įvairių metodų, o naudojama apdorojimo technologija priklausys nuo medžiagos ir norimo modelio. Naudojant tinkamą apdorojimo technologiją, puslaidininkių gamybos procesas gali būti efektyvesnis, patikimesnis ir ekonomiškesnis.
Pašto laikas: 2012 m. Kovo 19 d