Puslaidininkių pramonė veikia tokiu tikslumu, kuris peržengia žmogaus išradingumo ribas. Šios pramonės kokybės kontrolės – paskutinio, kritinio žingsnio prieš lustą pripažįstant tinkamu rinkai – pagrindas yra, atrodytų, paprasta medžiaga: granitas. Tikslios granito platformos yra geriausias sprendimas puslaidininkių lustų patikrai – tai gali nustebinti tuos, kurie nėra šios srities specialistai. „ZHONGHUI Group“ (ZHHIMG®) puikiai supranta šį ryšį. Mūsų patirtis gaminant itin didelio tikslumo granito komponentus ir matavimo įrankius pavertė mus pagrindiniu partneriu kai kurioms pirmaujančioms pasaulio puslaidininkių ir metrologijos įmonėms. Granito naudojimas šioje svarbioje srityje nėra tradicijos, o grynos fizikos ir inžinerijos reikalas. Kalbama apie unikalių ir griežtų reikalavimų, kurių jokia kita medžiaga negali taip efektyviai patenkinti, tenkinimą.
Nepalenkiamas stabilumo reikalavimas
Puslaidininkių lustų tikrinimas yra ne tik defektų tikrinimas; tai yra mikroskopinių darinių, dažnai matuojamų nanometrais, tobulos formos patikrinimas. Šis procesas apima sudėtingą įrangą, tokią kaip optinės tikrinimo sistemos (AOI) ir pramoniniai KT skaitytuvai, kurie skenavimo metu turi išlikti idealiai stabilūs. Bet kokia vibracija, šiluminis plėtimasis ar konstrukcijos poslinkis gali sukelti klaidų, dėl kurių gali būti gauti klaidingai teigiami rezultatai arba, dar blogiau, nepastebėti defektai.
Čia granitas ir sužiba. Skirtingai nuo metalo, kuris ženkliai plečiasi ir traukiasi kintant temperatūrai, granitas pasižymi neįtikėtinai mažu šiluminio plėtimosi koeficientu. Mūsų ZHHIMG® juodojo granito tankis yra maždaug 3100 kg/m3, todėl jis pasižymi išskirtiniu šiluminiu stabilumu. Tai reiškia, kad granito platforma išlaikys savo formą ir lygumą net ir tokioje aplinkoje, kur aplinkos temperatūra šiek tiek svyruoja. Klimato kontroliuojamoje dirbtuvėje, tokioje kaip mūsų 10 000 m2 ploto objektas, kur temperatūra palaikoma kariniu tikslumu, granito stabilumas yra neprilygstamas.
Be to, granito puikios slopinimo savybės yra labai svarbios. Jis natūraliai sugeria ir išsklaido mechanines vibracijas, neleisdamas joms būti perduotoms jautriai tikrinimo įrangai. Judrioje gamybos įmonėje, pilnoje mašinų, šis vibracijos slopinimas yra labai svarbus norint išlaikyti matavimo patikimumą. Mūsų dirbtuvės yra suprojektuotos atsižvelgiant į tai, jose įrengtos itin storos betoninės grindys ir vibraciją slopinantys grioviai, kad būtų sukurta aplinka, kurioje mūsų meistrai galėtų pasiekti nanometrų lygio tikslumą savo darbe.
Absoliutaus lygumo siekis
Kad lustų tikrinimo sistema veiktų, jos pagrindas turi būti kuo artimesnis idealiai plokščiam. „Plokščio paviršiaus“ sąvoka šiame kontekste yra ne vizualinė, o matematinė, matuojama tokiais prietaisais kaip „Renishaw“ lazeriniai interferometrai ir „Swiss Wyler“ elektroniniai nivelyrai. Lustų inspektoriaus tikslas – išmatuoti lustų plokštumą kelių mikronų ar net nanometrų tikslumu. Norint tai padaryti, pati platforma turi būti plokštesnė keliais dydžio eilėmis.
Granitas yra medžiaga, kurią, naudojant mūsų specializuotus rankinio šlifavimo metodus, galima nušlifuoti iki praktiškai neprilygstamo lygumo. Mūsų meistrai, daugelis kurių turi daugiau nei 30 metų patirtį, turi lytėjimo pojūtį, leidžiantį jiems „pajusti“ vos kelių mikronų lygumo nuokrypį. Šis žmogiškas prisilietimas kartu su mūsų pasaulinio lygio įranga leidžia mums gaminti granito paviršiaus plokštes su nanometro lygio lygmens lygumu, todėl jos yra ideali atskaitos plokštuma kalibravimui ir tikrinimui. Tai yra pagrindas, ant kurio grindžiama tiksli puslaidininkių patikra.
Unikalių puslaidininkių pramonės poreikių tenkinimas
Puslaidininkių pramonė taip pat turi specifinių poreikių, be stabilumo ir plokštumo. Pavyzdžiui, daugelyje tikrinimo sistemų naudojami pneumatiniai guoliai, kad judėjimas būtų sklandus. Granitas yra puiki terpė pneumatiniams guoliams dėl savo standumo ir poringumo, kuris leidžia tiksliai ir tolygiai tekėti orui. Mūsų granito pneumatiniai guoliai yra apdirbti pagal užsakymą, kad būtų užtikrintas sklandus ir tikslus judėjimas, kuris yra būtinas greitam ir tiksliam tikrinimui.
Be to, mūsų ZHHIMG® juodasis granitas yra nemagnetinis ir nelaidus elektrai, o tai labai svarbu jautriems elektroniniams komponentams. Jis netrukdo bandymo įrangos ar paties lusto elektromagnetiniams laukams. Šios neutralumo savybės daugelis metalinių platformų tiesiog negali pasiūlyti.
„ZHHIMG®“ ne tik parduoda granitą. Mes teikiame esminį pagrindą pažangiausioms pasaulyje technologijoms. Mūsų įsipareigojimas klientams – teikti sprendimus, kurie nebūtų apgaulingi, slėpiami ir klaidinami. Glaudžiai bendradarbiaujame su savo partneriais, įskaitant tokius milžinus kaip „Samsung“ ir metrologijos įstaigas, siekdami užtikrinti, kad mūsų produktai ne tik atitiktų jų specifikacijas, bet ir prisidėtų prie jų technologijų tobulinimo. Didelio masto puslaidininkių gamybos žaidime „ZHHIMG®“ tikslios granito platformos yra tyli, nejudanti jėga, užtikrinanti stabilumą ir tikslumą, kurie įkvepia rytojaus inovacijas.
Įrašo laikas: 2025 m. rugsėjo 28 d.