Pagrindinėje lustų gamybos grandyje – plokštelių skenavime – įrangos tikslumas lemia lustų kokybę. Kaip svarbi įrangos dalis, granito staklių pagrindo šiluminio plėtimosi problema sulaukė daug dėmesio.
Granito šiluminio plėtimosi koeficientas paprastai yra nuo 4 iki 8 × 10⁻⁶/℃, tai yra daug mažesnis nei metalų ir marmuro. Tai reiškia, kad keičiantis temperatūrai, jo dydis kinta santykinai mažai. Tačiau reikėtų atkreipti dėmesį, kad mažas šiluminis plėtimasis nereiškia, kad šiluminio plėtimosi nėra. Esant dideliems temperatūros svyravimams, net ir menkiausias plėtimasis gali turėti įtakos plokštelių skenavimo nanoskalės tikslumui.
Plokštelių skenavimo proceso metu yra daug priežasčių, dėl kurių atsiranda šiluminis plėtimasis. Temperatūros svyravimai dirbtuvėse, įrangos komponentų veikimo metu susidaranti šiluma ir lazerinio apdorojimo metu susidaranti momentinė aukšta temperatūra lemia, kad granito pagrindas „išsiplečia ir susitraukia dėl temperatūros pokyčių“. Kai pagrindas patiria šiluminį plėtimąsi, kreipiamojo bėgio tiesumas ir platformos lygumas gali nukrypti, todėl plokštelių stalo judėjimo trajektorija bus netiksli. Atraminiai optiniai komponentai taip pat pasislinks, todėl skenavimo spindulys „nukryps“. Ilgai dirbant nuolat, taip pat kaupsis paklaidos, todėl tikslumas vis blogės.
Tačiau nesijaudinkite. Žmonės jau turi sprendimų. Kalbant apie medžiagas, bus parinktos ir sendinimo būdu apdorotos granito gyslos su mažesniu šiluminio plėtimosi koeficientu. Kalbant apie temperatūros valdymą, dirbtuvių temperatūra tiksliai kontroliuojama 23 ± 0,5 ℃ ar net žemesnėje temperatūroje, o pagrindui taip pat bus suprojektuotas aktyvus šilumos išsklaidymo įtaisas. Kalbant apie konstrukcinį projektą, naudojamos simetriškos konstrukcijos ir lanksčios atramos, o stebėjimas realiuoju laiku atliekamas naudojant temperatūros jutiklius. Dėl šiluminės deformacijos atsiradusios paklaidos dinamiškai koreguojamos algoritmais.
Aukštos klasės įranga, tokia kaip ASML litografijos aparatai, šiais metodais išlaiko granito pagrindo šiluminio plėtimosi efektą itin mažame diapazone, todėl plokštelių nuskaitymo tikslumas gali pasiekti nanometrų lygį. Todėl, tinkamai kontroliuojant, granito pagrindas išlieka patikimu plokštelių nuskaitymo įrangos pasirinkimu.
Įrašo laikas: 2025 m. birželio 12 d.