♦ Aliuminis oksidas (Al2O3)
Tikslios keraminės dalys, pagamintos „Zhonghui Intelligent Manufacturing Group“ (Zhhimg), gali būti pagamintos iš didelio grynumo keraminių žaliavų, 92 ~ 97% aliuminio oksido, 99,5% aliuminio oksido,> 99,9% aliuminio oksido ir CIP šalčio isostatizmo. Aukštos temperatūros sukepinimas ir tikslus apdirbimas, matmenų tikslumas ± 0,001 mm, sklandumas iki Ra0.1, naudokite temperatūrą iki 1600 laipsnių. Skirtingos keramikos spalvos gali būti padarytos atsižvelgiant į klientų reikalavimus, tokius kaip: juoda, balta, smėlio, tamsiai raudona ir kt. Mūsų įmonės pagamintos tikslios keraminės dalys yra atsparios aukštai temperatūrai, korozijai, nusidėvėjimui ir izoliacijai ir ilgą laiką gali būti naudojamos aukštoje temperatūroje, vakuume ir korozinėje dujų aplinkoje.
Plačiai naudojamas įvairiose puslaidininkių gamybos įrangoje: kadrai (keramikos laikiklis), substratas (pagrindas), ARM/ tiltas (manipuliatorius), mechaniniai komponentai ir keraminis oro guolis.
Produkto pavadinimas | Didelio grynumo 99 aliuminio oksido keramikos kvadratinis vamzdis / vamzdis / strypas | |||||
Rodyklė | Vienetas | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99,5 % AL2O3 | |
Tankis | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Vandens absorbcija | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sukepinta temperatūra | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Kietumas | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Lenkimo stiprumas (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Gniuždymo stiprumas | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Ilgą laiką darbo temperatūra | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks. Darbinė temperatūra | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Tūrio varža | 20 ℃ | Ω. cm3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Aukšto grynumo aliuminio oksido keramikos taikymas:
1. Taikoma puslaidininkių įrangai: keraminis vakuuminis šmaikštus, pjaustymo diskas, valymo diskas, keraminis griebtuvas.
2. Vaflių perdavimo dalys: vaflių tvarkymas su chripus, vaflių pjaustymo diskai, vaflių valymo diskai, vaflių optinio patikrinimo siurbimo puodeliai.
3. LED / LCD plokščių plokščių ekrano pramonė: keraminis purkštukas, keraminis šlifavimo diskas, kėlimo kaištis, kaiščio bėgis.
4. Optinis ryšys, saulės pramonė: keraminiai vamzdžiai, keraminiai strypai, grandinės lentos ekrano spausdinimo keraminiai grandikliai.
5. Atsparios šilumos ir elektra izoliacinės dalys: keraminiai guoliai.
Šiuo metu aliuminio oksido keramika gali būti padalinta į didelį grynumą ir įprastą keramiką. Didelio grynumo aliuminio oksido keramikos serija reiškia keraminę medžiagą, kurioje yra daugiau kaip 99,9% Al₂o₃. Dėl savo sukepinimo temperatūros iki 1650–1990 ° C ir jos perdavimo bangos ilgis yra 1 ~ 6 μm, jis paprastai perdirbamas į suliejantį stiklą, o ne platinos tiglį: kuris gali būti naudojamas kaip natrio vamzdis dėl savo šviesos perdavimo ir korozijos atsparumo šarmų metalui. Elektronikos pramonėje ji gali būti naudojama kaip aukšto dažnio izoliacinė medžiaga IC substratams. Remiantis skirtingu aliuminio oksido turiniu, bendrąsias aliuminio oksido keramikos serijas galima suskirstyti į 99 keramiką, 95 keramiką, 90 keramikos ir 85 keramikos. Kartais keramika, turinti 80% arba 75% aliuminio oksido, taip pat klasifikuojama kaip įprasta aliuminio oksido keramikos serija. Tarp jų 99 aliuminio oksido keraminė medžiaga yra naudojama gaminant aukštos temperatūros tigeną, ugniai izoliacinį krosnies vamzdį ir specialias susidėvėjimui atsparias medžiagas, tokias kaip keraminiai guoliai, keraminiai sandarikliai ir vožtuvo plokštelės. 95 aliuminio keramika daugiausia naudojama kaip atsparus korozijai atsparus susidėvėjimui. 85 keramika dažnai būna sumaišoma su kai kuriomis savybėmis, taip pagerinant elektrinį efektyvumą ir mechaninį stiprumą. Jis gali naudoti molibdenumą, niobium, tantalum ir kitus metalinius sandariklius, o kai kurie naudojami kaip elektriniai vakuuminiai įtaisai.
Kokybės elementas (reprezentatyvi vertė) | Produkto pavadinimas | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11f | AES-22S | AES-23 | Al-31-03 | |
Cheminė kompozicija mažai natrio lengvai sukepinamas produktas | H₂o | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
Mgo* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Vidutinio dalelių skersmuo (MT-3300, lazerio analizės metodas) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α kristalų dydis | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Formavimo tankis ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Sukepinimo tankis ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Susukimo linijos mažėjimo greitis ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGO neįtrauktas į Al₂o₃ grynumo apskaičiavimą.
* Nėra mastelio miltelių 29,4MPa (300 kg/cm²), sukepinimo temperatūra yra 1600 ° C.
AES-11 / 11c / 11f: pridėkite 0,05 ~ 0,1% mgo, sukepinamasis yra puikus, todėl jis taikomas aliuminio oksido keramikai, kurių grynumas yra didesnis nei 99%.
AES-22S: pasižymi didelio formavimo tankiu ir mažu mažėjančiu sukepinimo linijos greičiu, taikoma slydimo formos liejimui ir kitiems didelio masto produktams, kurių tikslumas yra reikiamas.
AES-23 / AES-31-03: Jis turi didesnį formavimo tankį, tiakotropiją ir mažesnį klampumą nei AES-22. Pirmasis yra naudojamas keramikai, o antroji naudojama kaip vandens reduktoriaus mažinimas ugniai atsparioms medžiagoms, populiarėjant.
♦ Silicio karbido (SIC) charakteristikos
Bendros charakteristikos | Pagrindinių komponentų grynumas (WT%) | 97 | |
Spalva | Juodas | ||
Tankis (g/cm³) | 3.1 | ||
Vandens absorbcija (%) | 0 | ||
Mechaninės charakteristikos | Lenkimo stiprumas (MPA) | 400 | |
Jaunasis modulis (GPA) | 400 | ||
Vickers kietumas (GPA) | 20 | ||
Šiluminės charakteristikos | Maksimali darbo temperatūra (° C) | 1600 | |
Šiluminio išsiplėtimo koeficientas | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
Šilumos laidumas (W/M X K) | 130 110 | ||
Šiluminio smūgio atsparumas Δt (° C) | 300 | ||
Elektros charakteristikos | Tūrio varža | 25 ° C. | 3 x 106 |
300 ° C. | - | ||
500 ° C. | - | ||
800 ° C. | - | ||
Dielektrinė konstanta | 10GHz | - | |
Dielektrinis nuostolis (x 10-4) | - | ||
Q faktorius (x 104) | - | ||
Dielektrinės skilimo įtampa (kV/mm) | - |
♦ Silicio nitrido keramika
Medžiaga | Vienetas | Si₃n₄ |
Sukepinimo metodas | - | Dujų slėgis sukepintas |
Tankis | g/cm³ | 3.22 |
Spalva | - | Tamsiai pilka |
Vandens absorbcijos greitis | % | 0 |
Jaunasis modulis | GPA | 290 |
Vickers kietumas | GPA | 18 - 20 |
Gniuždymo stiprumas | MPA | 2200 |
Lenkimo stiprumas | MPA | 650 |
Šilumos laidumas | W/mk | 25 |
Šiluminio smūgio atsparumas | Δ (° C) | 450 - 650 |
Maksimali darbo temperatūra | ° C. | 1200 |
Tūrio varža | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrinė konstanta | - | 8.2 |
Dielektrinis stiprumas | kv/mm | 16 |