Medžiaga - keramika

♦ Aliuminis oksidas (Al2O3)

Tikslios keraminės dalys, pagamintos „Zhonghui Intelligent Manufacturing Group“ (Zhhimg), gali būti pagamintos iš didelio grynumo keraminių žaliavų, 92 ~ 97% aliuminio oksido, 99,5% aliuminio oksido,> 99,9% aliuminio oksido ir CIP šalčio isostatizmo. Aukštos temperatūros sukepinimas ir tikslus apdirbimas, matmenų tikslumas ± 0,001 mm, sklandumas iki Ra0.1, naudokite temperatūrą iki 1600 laipsnių. Skirtingos keramikos spalvos gali būti padarytos atsižvelgiant į klientų reikalavimus, tokius kaip: juoda, balta, smėlio, tamsiai raudona ir kt. Mūsų įmonės pagamintos tikslios keraminės dalys yra atsparios aukštai temperatūrai, korozijai, nusidėvėjimui ir izoliacijai ir ilgą laiką gali būti naudojamos aukštoje temperatūroje, vakuume ir korozinėje dujų aplinkoje.

Plačiai naudojamas įvairiose puslaidininkių gamybos įrangoje: kadrai (keramikos laikiklis), substratas (pagrindas), ARM/ tiltas (manipuliatorius), mechaniniai komponentai ir keraminis oro guolis.

Al2O3

Produkto pavadinimas Didelio grynumo 99 aliuminio oksido keramikos kvadratinis vamzdis / vamzdis / strypas
Rodyklė Vienetas 85 % AL2O3 95 % AL2O3 99 % AL2O3 99,5 % AL2O3
Tankis g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Vandens absorbcija % <0,1 <0,1 0 0
Sukepinta temperatūra 1620 1650 1800 1800
Kietumas Mohs 7 9 9 9
Lenkimo stiprumas (20 ℃)) MPA 200 300 340 360
Gniuždymo stiprumas Kgf/cm2 10000 25000 30000 30000
Ilgą laiką darbo temperatūra 1350 1400 1600 1650
Maks. Darbinė temperatūra 1450 1600 1800 1800
Tūrio varža 20 ℃ Ω. cm3 > 1013 > 1013 > 1013 > 1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ > 109 > 1010 > 1012 > 1012

Aukšto grynumo aliuminio oksido keramikos taikymas:
1. Taikoma puslaidininkių įrangai: keraminis vakuuminis šmaikštus, pjaustymo diskas, valymo diskas, keraminis griebtuvas.
2. Vaflių perdavimo dalys: vaflių tvarkymas su chripus, vaflių pjaustymo diskai, vaflių valymo diskai, vaflių optinio patikrinimo siurbimo puodeliai.
3. LED / LCD plokščių plokščių ekrano pramonė: keraminis purkštukas, keraminis šlifavimo diskas, kėlimo kaištis, kaiščio bėgis.
4. Optinis ryšys, saulės pramonė: keraminiai vamzdžiai, keraminiai strypai, grandinės lentos ekrano spausdinimo keraminiai grandikliai.
5. Atsparios šilumos ir elektra izoliacinės dalys: keraminiai guoliai.
Šiuo metu aliuminio oksido keramika gali būti padalinta į didelį grynumą ir įprastą keramiką. Didelio grynumo aliuminio oksido keramikos serija reiškia keraminę medžiagą, kurioje yra daugiau kaip 99,9% Al₂o₃. Dėl savo sukepinimo temperatūros iki 1650–1990 ° C ir jos perdavimo bangos ilgis yra 1 ~ 6 μm, jis paprastai perdirbamas į suliejantį stiklą, o ne platinos tiglį: kuris gali būti naudojamas kaip natrio vamzdis dėl savo šviesos perdavimo ir korozijos atsparumo šarmų metalui. Elektronikos pramonėje ji gali būti naudojama kaip aukšto dažnio izoliacinė medžiaga IC substratams. Remiantis skirtingu aliuminio oksido turiniu, bendrąsias aliuminio oksido keramikos serijas galima suskirstyti į 99 keramiką, 95 keramiką, 90 keramikos ir 85 keramikos. Kartais keramika, turinti 80% arba 75% aliuminio oksido, taip pat klasifikuojama kaip įprasta aliuminio oksido keramikos serija. Tarp jų 99 aliuminio oksido keraminė medžiaga yra naudojama gaminant aukštos temperatūros tigeną, ugniai izoliacinį krosnies vamzdį ir specialias susidėvėjimui atsparias medžiagas, tokias kaip keraminiai guoliai, keraminiai sandarikliai ir vožtuvo plokštelės. 95 aliuminio keramika daugiausia naudojama kaip atsparus korozijai atsparus susidėvėjimui. 85 keramika dažnai būna sumaišoma su kai kuriomis savybėmis, taip pagerinant elektrinį efektyvumą ir mechaninį stiprumą. Jis gali naudoti molibdenumą, niobium, tantalum ir kitus metalinius sandariklius, o kai kurie naudojami kaip elektriniai vakuuminiai įtaisai.

 

Kokybės elementas (reprezentatyvi vertė) Produkto pavadinimas AES-12 AES-11 AES-11C AES-11f AES-22S AES-23 Al-31-03
Cheminė kompozicija mažai natrio lengvai sukepinamas produktas H₂o % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Lol % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂o % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
Mgo* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Vidutinio dalelių skersmuo (MT-3300, lazerio analizės metodas) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α kristalų dydis μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Formavimo tankis ** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Sukepinimo tankis ** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Susukimo linijos mažėjimo greitis ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MGO neįtrauktas į Al₂o₃ grynumo apskaičiavimą.
* Nėra mastelio miltelių 29,4MPa (300 kg/cm²), sukepinimo temperatūra yra 1600 ° C.
AES-11 / 11c / 11f: pridėkite 0,05 ~ 0,1% mgo, sukepinamasis yra puikus, todėl jis taikomas aliuminio oksido keramikai, kurių grynumas yra didesnis nei 99%.
AES-22S: pasižymi didelio formavimo tankiu ir mažu mažėjančiu sukepinimo linijos greičiu, taikoma slydimo formos liejimui ir kitiems didelio masto produktams, kurių tikslumas yra reikiamas.
AES-23 / AES-31-03: Jis turi didesnį formavimo tankį, tiakotropiją ir mažesnį klampumą nei AES-22. Pirmasis yra naudojamas keramikai, o antroji naudojama kaip vandens reduktoriaus mažinimas ugniai atsparioms medžiagoms, populiarėjant.

♦ Silicio karbido (SIC) charakteristikos

Bendros charakteristikos Pagrindinių komponentų grynumas (WT%) 97
Spalva Juodas
Tankis (g/cm³) 3.1
Vandens absorbcija (%) 0
Mechaninės charakteristikos Lenkimo stiprumas (MPA) 400
Jaunasis modulis (GPA) 400
Vickers kietumas (GPA) 20
Šiluminės charakteristikos Maksimali darbo temperatūra (° C) 1600
Šiluminio išsiplėtimo koeficientas RT ~ 500 ° C. 3.9
(1/° C x 10-6) RT ~ 800 ° C. 4.3
Šilumos laidumas (W/M X K) 130 110
Šiluminio smūgio atsparumas Δt (° C) 300
Elektros charakteristikos Tūrio varža 25 ° C. 3 x 106
300 ° C. -
500 ° C. -
800 ° C. -
Dielektrinė konstanta 10GHz -
Dielektrinis nuostolis (x 10-4) -
Q faktorius (x 104) -
Dielektrinės skilimo įtampa (kV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Silicio nitrido keramika

Medžiaga Vienetas Si₃n₄
Sukepinimo metodas - Dujų slėgis sukepintas
Tankis g/cm³ 3.22
Spalva - Tamsiai pilka
Vandens absorbcijos greitis % 0
Jaunasis modulis GPA 290
Vickers kietumas GPA 18 - 20
Gniuždymo stiprumas MPA 2200
Lenkimo stiprumas MPA 650
Šilumos laidumas W/mk 25
Šiluminio smūgio atsparumas Δ (° C) 450 - 650
Maksimali darbo temperatūra ° C. 1200
Tūrio varža Ω · cm > 10 ^ 14
Dielektrinė konstanta - 8.2
Dielektrinis stiprumas kv/mm 16