♦Aliuminio oksidas (Al2O3)
„ZhongHui Intelligent Manufacturing Group“ (ZHHIMG) gaminamos tiksliosios keramikos dalys gali būti pagamintos iš labai grynų keramikos žaliavų, 92–97 % aliuminio oksido, 99,5 % aliuminio oksido, >99,9 % aliuminio oksido, ir CIP šaltojo izostatinio presavimo. Aukštos temperatūros sukepinimas ir tikslus apdirbimas, matmenų tikslumas ± 0,001 mm, lygumas iki Ra0,1, naudojimo temperatūra iki 1600 laipsnių. Pagal klientų reikalavimus galima gaminti įvairių spalvų keramiką, pavyzdžiui: juoda, balta, smėlio, tamsiai raudona ir kt. Mūsų įmonės gaminamos tiksliosios keramikos dalys yra atsparios aukštai temperatūrai, korozijai, dilimui ir izoliacijai, todėl gali būti ilgą laiką naudojamos aukštoje temperatūroje, vakuume ir korozinėje dujų aplinkoje.
Plačiai naudojamas įvairiuose puslaidininkių gamybos įrenginiuose: rėmuose (keraminiuose laikikliuose), pagrinduose (pagrinduose), svirtyse / tilteliuose (manipuliatoriuose), mechaniniuose komponentuose ir keraminiuose oro guoliuose.
Produkto pavadinimas | Didelio grynumo 99 aliuminio oksido keraminis kvadratinis vamzdis / vamzdis / strypas | |||||
Indeksas | Vienetas | 85 % Al₂O₃ | 95 % Al₂O₃ | 99 % Al₂O₃ | 99,5 % Al₂O₃ | |
Tankis | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Vandens absorbcija | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sukepinto temperatūra | ℃ | 1620 m. | 1650 m. | 1800 m. | 1800 m. | |
Kietumas | Moso | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Lenkimo stipris (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 laipsnių | |
Gniuždymo stipris | Kgf/cm² | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Ilga darbo temperatūra | ℃ | 1350 m. | 1400 | 1600 | 1650 m. | |
Maksimali darbinė temperatūra | ℃ | 1450 m. | 1600 | 1800 m. | 1800 m. | |
Tūrio varža | 20 ℃ | Ω cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Didelio grynumo aliuminio oksido keramikos panaudojimas:
1. Taikoma puslaidininkių įrangai: keraminiam vakuuminiam griebtuvui, pjovimo diskui, valymo diskui, keraminiam CHUCK.
2. Plokštelių perkėlimo dalys: plokštelių tvarkymo griebtuvai, plokštelių pjovimo diskai, plokštelių valymo diskai, plokštelių optinio tikrinimo siurbtukai.
3. LED / LCD plokščiųjų ekranų pramonė: keraminis antgalis, keraminis šlifavimo diskas, KĖLIMO PIN, PIN bėgelis.
4. Optinis ryšys, saulės pramonė: keraminiai vamzdeliai, keraminiai strypai, plokščių šilkografijos keraminiai grandikliai.
5. Karščiui atsparios ir elektrai izoliuojančios dalys: keraminiai guoliai.
Šiuo metu aliuminio oksido keramiką galima suskirstyti į didelio grynumo ir paprastąją keramiką. Didelio grynumo aliuminio oksido keramikos serija – tai keraminė medžiaga, kurios sudėtyje yra daugiau kaip 99,9 % Al₂O₃. Dėl savo sukepinimo temperatūros iki 1650–1990 °C ir perdavimo bangos ilgio 1–6 μm, ji dažniausiai perdirbama į lydytą stiklą, o ne į platinos tiglį: dėl šviesos pralaidumo ir atsparumo šarminių metalų korozijai, ji gali būti naudojama kaip natrio vamzdelis. Elektronikos pramonėje ji gali būti naudojama kaip aukšto dažnio izoliacinė medžiaga IC substratams. Pagal skirtingą aliuminio oksido kiekį, įprastą aliuminio oksido keramikos seriją galima suskirstyti į 99 keramiką, 95 keramiką, 90 keramiką ir 85 keramiką. Kartais keramika, kurioje yra 80 % arba 75 % aliuminio oksido, taip pat priskiriama įprastos aliuminio oksido keramikos serijai. Tarp jų 99 aliuminio oksido keramika naudojama aukštos temperatūros tigliams, ugniai atspariems krosnių vamzdžiams ir specialioms dilimui atsparioms medžiagoms, tokioms kaip keraminiai guoliai, keraminiai sandarikliai ir vožtuvų plokštės, gaminti. 95 aliuminio keramika daugiausia naudojama kaip korozijai atspari dilimui detalė. 85 keramika dažnai maišoma su kai kuriomis savybėmis, taip pagerinant elektrines charakteristikas ir mechaninį stiprumą. Galima naudoti molibdeno, niobio, tantalo ir kitus metalinius sandariklius, o kai kurie naudojami kaip elektriniai vakuuminiai įtaisai.
Kokybės prekė (reprezentacinė vertė) | Produkto pavadinimas | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Cheminė sudėtis: mažai natrio turintis, lengvai sukepinamas produktas | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Vidutinio dalelių skersmens (MT-3300, lazerinės analizės metodas) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α kristalo dydis | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Formavimo tankis** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Sukepimo tankis** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Sukepimo linijos susitraukimo greitis** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO neįtrauktas į Al₂O₃ grynumo skaičiavimą.
* Be atplaišų susidarantys milteliai 29,4 MPa (300 kg/cm²), sukepinimo temperatūra 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Įpylus 0,05–0,1 % MgO, pasižymi puikiu sukepinamumu, todėl tinka aliuminio oksido keramikai, kurios grynumas didesnis nei 99 %.
AES-22S: pasižymi dideliu formavimo tankiu ir mažu sukepinimo linijos susitraukimo greičiu, todėl tinka liejimui slydimo formomis ir kitiems didelio masto gaminiams, kuriems reikalingas matmenų tikslumas.
AES-23 / AES-31-03: Jis pasižymi didesniu formavimo tankiu, tiksotropija ir mažesniu klampumu nei AES-22S. Pirmasis naudojamas keramikai, o antrasis – kaip vandens reduktorius ugniai atspariose medžiagose, todėl vis labiau populiarėja.
♦Silicio karbido (SiC) charakteristikos
Bendrosios charakteristikos | Pagrindinių komponentų grynumas (masės %) | 97 | |
Spalva | Juoda | ||
Tankis (g/cm³) | 3.1 | ||
Vandens absorbcija (%) | 0 | ||
Mechaninės charakteristikos | Lenkimo stipris (MPa) | 400 | |
Youngo modulis (GPa) | 400 | ||
Vikerso kietumas (GPa) | 20 | ||
Šiluminės charakteristikos | Maksimali darbinė temperatūra (°C) | 1600 | |
Šiluminio plėtimosi koeficientas | Temperatūra ~500 °C | 3.9 | |
(1/°C x 10⁻⁶) | Temperatūra ~ 800 °C | 4.3 | |
Šilumos laidumas (W/m² × K) | 130 110 | ||
Atsparumas terminiam smūgiui ΔT (°C) | 300 | ||
Elektrinės charakteristikos | Tūrio varža | 25°C | 3 x 106 |
300 °C | - | ||
500 °C | - | ||
800 °C | - | ||
Dielektrinė konstanta | 10 GHz | - | |
Dielektriniai nuostoliai (x 10⁻⁴) | - | ||
Q koeficientas (x 104) | - | ||
Dielektrinio pramušimo įtampa (KV/mm) | - |
♦Silicio nitrido keramika
Medžiaga | Vienetas | Si₃N₄ |
Sukepinimo metodas | - | Dujų slėgio sukepintas |
Tankis | g/cm³ | 3.22 |
Spalva | - | Tamsiai pilka |
Vandens sugerties greitis | % | 0 |
Jaunasis modulis | GPA | 290 |
Vikerso kietumas | GPA | 18–20 |
Gniuždymo stipris | MPa | 2200 |
Lenkimo stipris | MPa | 650 |
Šilumos laidumas | W/mK | 25 |
Atsparumas terminiam smūgiui | Δ (°C) | 450–650 |
Maksimali darbinė temperatūra | °C | 1200 |
Tūrio varža | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrinė konstanta | - | 8.2 |
Dielektrinė stiprybė | kV/mm | 16 |