Medžiaga – keramika

♦Aliuminio oksidas (Al2O3)

„ZhongHui Intelligent Manufacturing Group“ (ZHHIMG) gaminamos tiksliosios keramikos dalys gali būti pagamintos iš labai grynų keramikos žaliavų, 92–97 % aliuminio oksido, 99,5 % aliuminio oksido, >99,9 % aliuminio oksido, ir CIP šaltojo izostatinio presavimo. Aukštos temperatūros sukepinimas ir tikslus apdirbimas, matmenų tikslumas ± 0,001 mm, lygumas iki Ra0,1, naudojimo temperatūra iki 1600 laipsnių. Pagal klientų reikalavimus galima gaminti įvairių spalvų keramiką, pavyzdžiui: juoda, balta, smėlio, tamsiai raudona ir kt. Mūsų įmonės gaminamos tiksliosios keramikos dalys yra atsparios aukštai temperatūrai, korozijai, dilimui ir izoliacijai, todėl gali būti ilgą laiką naudojamos aukštoje temperatūroje, vakuume ir korozinėje dujų aplinkoje.

Plačiai naudojamas įvairiuose puslaidininkių gamybos įrenginiuose: rėmuose (keraminiuose laikikliuose), pagrinduose (pagrinduose), svirtyse / tilteliuose (manipuliatoriuose), mechaniniuose komponentuose ir keraminiuose oro guoliuose.

AL2O3

Produkto pavadinimas Didelio grynumo 99 aliuminio oksido keraminis kvadratinis vamzdis / vamzdis / strypas
Indeksas Vienetas 85 % Al₂O₃ 95 % Al₂O₃ 99 % Al₂O₃ 99,5 % Al₂O₃
Tankis g/cm3 3.3 3,65 3.8 3.9
Vandens absorbcija % <0,1 <0,1 0 0
Sukepinto temperatūra 1620 m. 1650 m. 1800 m. 1800 m.
Kietumas Moso 7 9 9 9
Lenkimo stipris (20 ℃)) MPa 200 300 340 360 laipsnių
Gniuždymo stipris Kgf/cm² 10000 25000 30000 30000
Ilga darbo temperatūra 1350 m. 1400 1600 1650 m.
Maksimali darbinė temperatūra 1450 m. 1600 1800 m. 1800 m.
Tūrio varža 20 ℃ Ω cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100 ℃ 1012–1013 1012–1013 1012–1013 1012–1013
300 ℃ >109 >1010 >1012 >1012

Didelio grynumo aliuminio oksido keramikos panaudojimas:
1. Taikoma puslaidininkių įrangai: keraminiam vakuuminiam griebtuvui, pjovimo diskui, valymo diskui, keraminiam CHUCK.
2. Plokštelių perkėlimo dalys: plokštelių tvarkymo griebtuvai, plokštelių pjovimo diskai, plokštelių valymo diskai, plokštelių optinio tikrinimo siurbtukai.
3. LED / LCD plokščiųjų ekranų pramonė: keraminis antgalis, keraminis šlifavimo diskas, KĖLIMO PIN, PIN bėgelis.
4. Optinis ryšys, saulės pramonė: keraminiai vamzdeliai, keraminiai strypai, plokščių šilkografijos keraminiai grandikliai.
5. Karščiui atsparios ir elektrai izoliuojančios dalys: keraminiai guoliai.
Šiuo metu aliuminio oksido keramiką galima suskirstyti į didelio grynumo ir paprastąją keramiką. Didelio grynumo aliuminio oksido keramikos serija – tai keraminė medžiaga, kurios sudėtyje yra daugiau kaip 99,9 % Al₂O₃. Dėl savo sukepinimo temperatūros iki 1650–1990 °C ir perdavimo bangos ilgio 1–6 μm, ji dažniausiai perdirbama į lydytą stiklą, o ne į platinos tiglį: dėl šviesos pralaidumo ir atsparumo šarminių metalų korozijai, ji gali būti naudojama kaip natrio vamzdelis. Elektronikos pramonėje ji gali būti naudojama kaip aukšto dažnio izoliacinė medžiaga IC substratams. Pagal skirtingą aliuminio oksido kiekį, įprastą aliuminio oksido keramikos seriją galima suskirstyti į 99 keramiką, 95 keramiką, 90 keramiką ir 85 keramiką. Kartais keramika, kurioje yra 80 % arba 75 % aliuminio oksido, taip pat priskiriama įprastos aliuminio oksido keramikos serijai. Tarp jų 99 aliuminio oksido keramika naudojama aukštos temperatūros tigliams, ugniai atspariems krosnių vamzdžiams ir specialioms dilimui atsparioms medžiagoms, tokioms kaip keraminiai guoliai, keraminiai sandarikliai ir vožtuvų plokštės, gaminti. 95 aliuminio keramika daugiausia naudojama kaip korozijai atspari dilimui detalė. 85 keramika dažnai maišoma su kai kuriomis savybėmis, taip pagerinant elektrines charakteristikas ir mechaninį stiprumą. Galima naudoti molibdeno, niobio, tantalo ir kitus metalinius sandariklius, o kai kurie naudojami kaip elektriniai vakuuminiai įtaisai.

 

Kokybės prekė (reprezentacinė vertė) Produkto pavadinimas AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Cheminė sudėtis: mažai natrio turintis, lengvai sukepinamas produktas H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Lol % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Vidutinio dalelių skersmens (MT-3300, lazerinės analizės metodas) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α kristalo dydis μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Formavimo tankis** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Sukepimo tankis** g/cm³ 3,88 3,93 3,94 3,93 3,88 3,77 3.22
Sukepimo linijos susitraukimo greitis** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO neįtrauktas į Al₂O₃ grynumo skaičiavimą.
* Be atplaišų susidarantys milteliai 29,4 MPa (300 kg/cm²), sukepinimo temperatūra 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Įpylus 0,05–0,1 % MgO, pasižymi puikiu sukepinamumu, todėl tinka aliuminio oksido keramikai, kurios grynumas didesnis nei 99 %.
AES-22S: pasižymi dideliu formavimo tankiu ir mažu sukepinimo linijos susitraukimo greičiu, todėl tinka liejimui slydimo formomis ir kitiems didelio masto gaminiams, kuriems reikalingas matmenų tikslumas.
AES-23 / AES-31-03: Jis pasižymi didesniu formavimo tankiu, tiksotropija ir mažesniu klampumu nei AES-22S. Pirmasis naudojamas keramikai, o antrasis – kaip vandens reduktorius ugniai atspariose medžiagose, todėl vis labiau populiarėja.

♦Silicio karbido (SiC) charakteristikos

Bendrosios charakteristikos Pagrindinių komponentų grynumas (masės %) 97
Spalva Juoda
Tankis (g/cm³) 3.1
Vandens absorbcija (%) 0
Mechaninės charakteristikos Lenkimo stipris (MPa) 400
Youngo modulis (GPa) 400
Vikerso kietumas (GPa) 20
Šiluminės charakteristikos Maksimali darbinė temperatūra (°C) 1600
Šiluminio plėtimosi koeficientas Temperatūra ~500 °C 3.9
(1/°C x 10⁻⁶) Temperatūra ~ 800 °C 4.3
Šilumos laidumas (W/m² × K) 130 110
Atsparumas terminiam smūgiui ΔT (°C) 300
Elektrinės charakteristikos Tūrio varža 25°C 3 x 106
300 °C -
500 °C -
800 °C -
Dielektrinė konstanta 10 GHz -
Dielektriniai nuostoliai (x 10⁻⁴) -
Q koeficientas (x 104) -
Dielektrinio pramušimo įtampa (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Silicio nitrido keramika

Medžiaga Vienetas Si₃N₄
Sukepinimo metodas - Dujų slėgio sukepintas
Tankis g/cm³ 3.22
Spalva - Tamsiai pilka
Vandens sugerties greitis % 0
Jaunasis modulis GPA 290
Vikerso kietumas GPA 18–20
Gniuždymo stipris MPa 2200
Lenkimo stipris MPa 650
Šilumos laidumas W/mK 25
Atsparumas terminiam smūgiui Δ (°C) 450–650
Maksimali darbinė temperatūra °C 1200
Tūrio varža Ω·cm > 10 ^ 14
Dielektrinė konstanta - 8.2
Dielektrinė stiprybė kV/mm 16