♦ Aliuminio oksidas (Al2O3)
Tikslios keraminės dalys, kurias gamina ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), gali būti pagamintos iš didelio grynumo keraminių žaliavų, 92–97% aliuminio oksido, 99,5% aliuminio oksido,> 99,9% aliuminio oksido ir CIP šalto izostatinio presavimo.Aukštos temperatūros sukepinimas ir tikslus apdirbimas, matmenų tikslumas ± 0,001 mm, lygumas iki Ra0,1, naudojimo temperatūra iki 1600 laipsnių.Pagal klientų reikalavimus gali būti pagaminta įvairių spalvų keramika, pvz.: juoda, balta, smėlio, tamsiai raudona ir kt. Mūsų įmonės gaminamos tikslios keramikos dalys yra atsparios aukštai temperatūrai, korozijai, nusidėvėjimui ir izoliacijai, todėl gali būti ilgą laiką naudojamas aukštos temperatūros, vakuumo ir korozinių dujų aplinkoje.
Plačiai naudojamas įvairiose puslaidininkių gamybos įrangoje: rėmuose (keraminis laikiklis), substratas (pagrindas), rankena / tiltas (manipuliatorius), mechaniniai komponentai ir keraminis oro guolis.
produkto pavadinimas | Didelio grynumo 99 aliuminio oksido keramikos kvadratinis vamzdis / vamzdis / strypas | |||||
Indeksas | Vienetas | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Tankis | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Vandens sugėrimas | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
Sukepinimo temperatūra | ℃ | 1620 m | 1650 m | 1800 m | 1800 m | |
Kietumas | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Lenkimo stiprumas (20 ℃) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Suspaudimo stiprumas | Kgf/cm2 | 10 000 | 25 000 | 30 000 | 30 000 | |
Ilgalaikė darbinė temperatūra | ℃ | 1350 m | 1400 | 1600 | 1650 m | |
Maks.Darbinė temperatūra | ℃ | 1450 m | 1600 | 1800 m | 1800 m | |
Tūrio varža | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 m | >1013 m | >1013 m | >1013 m |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 m | >1012 m | >1012 m |
Aukšto grynumo aliuminio oksido keramikos naudojimas:
1. Taikoma puslaidininkinei įrangai: keraminiam vakuuminiam griebtuvui, pjovimo diskui, valymo diskui, keraminiam griebtuvui.
2. Plokščių perkėlimo dalys: plokštelių tvarkymo griebtuvai, plokštelių pjovimo diskai, plokštelių valymo diskai, plokštelių optinio tikrinimo siurbtukai.
3. LED / LCD plokščių ekranų pramonė: keraminis antgalis, keraminis šlifavimo diskas, LIFT PIN, PIN bėgis.
4. Optinis ryšys, saulės pramonė: keraminiai vamzdžiai, keraminiai strypai, plokščių šilkografijos keraminiai grandikliai.
5. Karščiui atsparios ir elektrą izoliuojančios dalys: keraminiai guoliai.
Šiuo metu aliuminio oksido keramiką galima suskirstyti į didelio grynumo ir įprastą keramiką.Didelio grynumo aliuminio oksido keramikos serija reiškia keraminę medžiagą, kurioje yra daugiau nei 99,9 % Al2O3.Dėl sukepinimo temperatūros iki 1650–1990 °C ir perdavimo bangos ilgio 1–6 μm, jis dažniausiai apdorojamas lydytu stiklu, o ne platininiu tigliu: kuris gali būti naudojamas kaip natrio vamzdis dėl jo šviesos pralaidumo ir atsparumo korozijai. šarminis metalas.Elektronikos pramonėje jis gali būti naudojamas kaip aukšto dažnio izoliacinė medžiaga IC substratams.Pagal skirtingą aliuminio oksido kiekį įprastą aliuminio oksido keramikos seriją galima suskirstyti į 99 keramiką, 95 keramiką, 90 keramiką ir 85 keramiką.Kartais keramika, kurioje yra 80% arba 75% aliuminio oksido, taip pat klasifikuojama kaip įprasta aliuminio oksido keramikos serija.Tarp jų 99 aliuminio oksido keramikos medžiaga naudojama aukštos temperatūros tigliui, ugniai atspariam krosnies vamzdžiui ir specialioms dilimui atsparioms medžiagoms, tokioms kaip keraminiai guoliai, keraminiai sandarikliai ir vožtuvų plokštės, gaminti.95 aliuminio keramika daugiausia naudojama kaip korozijai atspari dilimui atspari dalis.85 keramika dažnai sumaišoma pagal kai kurias savybes, taip pagerinant elektrines charakteristikas ir mechaninį stiprumą.Jis gali naudoti molibdeną, niobį, tantalą ir kitus metalinius sandariklius, o kai kurie naudojami kaip elektriniai vakuuminiai įtaisai.
Kokybės elementas (reprezentacinė vertė) | produkto pavadinimas | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Cheminė sudėtis Mažai natrio turintis Lengvas sukepinimo produktas | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Daug juoko | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na2O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Vidutinis dalelių skersmuo (MT-3300, lazerinės analizės metodas) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α kristalo dydis | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Formavimo tankis** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Sukepinimo tankis** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Sukepinimo linijos susitraukimo greitis** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO neįtraukiamas į Al2O3 grynumo skaičiavimą.
* Be nuovirų miltelių 29.4MPa (300kg/cm²), sukepinimo temperatūra 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Pridėkite 0,05–0,1% MgO, sukepinimas yra puikus, todėl tinka aliuminio oksido keramikai, kurios grynumas didesnis nei 99%.
AES-22S: pasižymi dideliu formavimo tankiu ir mažu sukepinimo linijos susitraukimo laipsniu, jis tinka lieti slydimo formos ir kitiems didelio masto gaminiams, kurių matmenų tikslumas yra reikalingas.
AES-23 / AES-31-03: turi didesnį formavimo tankį, tiksotropiją ir mažesnį klampumą nei AES-22S.pirmasis naudojamas prie keramikos, o antrasis naudojamas kaip vandens reduktorius ugniai atsparioms medžiagoms, populiarėja.
♦Silicio karbido (SiC) charakteristikos
Bendrosios charakteristikos | Pagrindinių komponentų grynumas (masės %) | 97 | |
Spalva | Juoda | ||
Tankis (g/cm³) | 3.1 | ||
vandens absorbcija (%) | 0 | ||
Mechaninės charakteristikos | Lenkimo stipris (MPa) | 400 | |
Jaunasis modulis (GPa) | 400 | ||
Vickerso kietumas (GPa) | 20 | ||
Šiluminės charakteristikos | Maksimali darbinė temperatūra (°C) | 1600 | |
Šiluminio plėtimosi koeficientas | RT ~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT ~800°C | 4.3 | |
Šilumos laidumas (W/m x K) | 130 110 | ||
Atsparumas šiluminiam smūgiui ΔT (°C) | 300 | ||
Elektrinės charakteristikos | Tūrio varža | 25°C | 3x106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektrinė konstanta | 10 GHz | - | |
Dielektriniai nuostoliai (x 10-4) | - | ||
Q faktorius (x 104) | - | ||
Dielektrinė gedimo įtampa (KV/mm) | - |
♦Silicio nitrido keramika
Medžiaga | Vienetas | Si3N4 |
Sukepinimo metodas | - | Dujų slėgis sukepintas |
Tankis | g/cm³ | 3.22 |
Spalva | - | Tamsiai pilka |
Vandens sugėrimo greitis | % | 0 |
Jaunasis modulis | Gpa | 290 |
Vickerso kietumas | Gpa | 18-20 |
Suspaudimo stiprumas | Mpa | 2200 |
Lenkimo stiprumas | Mpa | 650 |
Šilumos laidumas | W/mK | 25 |
Atsparumas šiluminiam smūgiui | Δ (°C) | 450–650 |
Maksimali darbinė temperatūra | °C | 1200 |
Tūrio varža | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrinė konstanta | - | 8.2 |
Dielektrinis stiprumas | kV/mm | 16 |