Granitas yra kieta ir patvari medžiaga, dažnai naudojama statybų pramonėje. Tačiau jis taip pat turi savybių, dėl kurių ji yra naudinga gamyboje puslaidininkiuose, ypač gaminant ir apdorojant integruotas grandines. Granito komponentai, tokie kaip granito lentelės ir granito blokai, yra plačiai naudojami jų stabilumui, lygumui ir mažam šiluminio išsiplėtimo koeficientui.
Vienas iš pagrindinių granito komponentų naudojimo puslaidininkių gamyboje yra gamybos procese. Silicio plokšteles, pagrindinius integruotų grandinių statybinius blokus, reikia gaminti labai tikslumu ir tikslumu. Bet koks iškraipymas ar judėjimas proceso metu gali sukelti trūkumų, kurie gali turėti įtakos integruotų grandinių kokybei ir funkcionalumui. Granito stalai, turintys didelį stabilumą ir lygumą, suteikia gerą platformą vaflių perdirbimo įrangai. Jie taip pat yra atsparūs šiluminiam išsiplėtimui ir susitraukimui, kurį sukelia šildymas ir aušinimas, reikalingas procese.
Granito blokai taip pat naudojami puslaidininkių apdorojant jų šiluminiam stabilumui. Oforto ar nusėdimo procesų metu silicio plokštelės paviršiui modifikuoti naudojamos karštos dujos ar plazmos. Vaflinio temperatūra turi būti kontroliuojama, kad būtų užtikrintas efektyviai ir tiksliai atliekamas procesas. Granito blokai, turintys mažą šiluminio išsiplėtimo koeficientą, padeda stabilizuoti vaflio temperatūrą, sumažinant temperatūros svyravimų riziką, kuri galėtų paveikti perdirbtos medžiagos kokybę.
Be gamybos ir apdorojimo procesų, granito komponentai taip pat naudojami puslaidininkių gamybos metrologijos ir tikrinimo etapuose. Metrologijos matavimai atliekami siekiant užtikrinti, kad vaflio konstrukcijų dydis, forma ir padėtis būtų reikalingos specifikacijose. Granito blokai naudojami kaip etaloniniai standartai šiuose matavimuose dėl jų matmenų stabilumo ir tikslumo. Jie taip pat naudojami tikrinimo etapuose, kur integruotų grandinių kokybė tikrinama esant dideliam padidinimui.
Apskritai granito komponentų naudojimas puslaidininkių gamyboje pastaraisiais metais padidėjo. Aukšto tikslumo, tikslumo ir stabilumo poreikis gaminant ir perdirbant integruotas grandines paskatino šių medžiagų priėmimą puslaidininkių gamintojams. Unikalios granito savybės, tokios kaip jo kietumas, stabilumas ir žemas šiluminio išsiplėtimo koeficientas, yra puikus pasirinkimas naudoti šiuos procesus. Tęsdamas puslaidininkių technologijos tobulinimą ir tobulinant, tikimasi, kad ateityje augs granito komponentai.
Pašto laikas: 2012-05-05