Kaip naudoti granito komponentus puslaidininkių gamybos procese?

Granitas yra kieta ir patvari medžiaga, dažnai naudojama statybų pramonėje. Tačiau jis taip pat turi savybių, kurios leidžia jį naudoti puslaidininkių gamyboje, ypač integrinių grandynų gamyboje ir apdorojime. Granito komponentai, tokie kaip granito stalai ir granito blokai, yra plačiai naudojami dėl savo stabilumo, lygumo ir mažo šiluminio plėtimosi koeficiento.

Vienas iš pagrindinių granito komponentų panaudojimo puslaidininkių gamyboje sričių yra gamybos procesas. Silicio plokštelės, pagrindiniai integrinių grandynų statybiniai blokai, turi būti gaminamos labai tiksliai ir preciziškai. Bet koks iškraipymas ar judėjimas proceso metu gali sukelti defektus, kurie gali turėti įtakos integrinių grandynų kokybei ir funkcionalumui. Granito stalai, pasižymintys dideliu stabilumu ir plokštuma, suteikia gerą platformą plokštelių apdorojimo įrangai. Jie taip pat yra atsparūs šiluminiam plėtimuisi ir susitraukimui, kurį sukelia procese reikalingas šildymas ir aušinimas.

Granito blokai taip pat naudojami puslaidininkių apdirbime dėl jų terminio stabilumo. Ėsdinimo ar nusodinimo procesų metu silicio plokštelės paviršiui modifikuoti naudojamos karštos dujos arba plazma. Plokštelės temperatūra turi būti kontroliuojama, kad procesas būtų vykdomas efektyviai ir tiksliai. Granito blokai, pasižymintys mažu šiluminio plėtimosi koeficientu, padeda stabilizuoti plokštelės temperatūrą, sumažindami temperatūros svyravimų, galinčių turėti įtakos apdorojamos medžiagos kokybei, riziką.

Be gamybos ir apdorojimo procesų, granito komponentai taip pat naudojami puslaidininkių gamybos metrologijos ir tikrinimo etapuose. Metrologiniai matavimai atliekami siekiant užtikrinti, kad struktūrų dydis, forma ir padėtis ant plokštelės atitiktų reikiamus reikalavimus. Granito blokai naudojami kaip etalonas šiuose matavimuose dėl jų matmenų stabilumo ir tikslumo. Jie taip pat naudojami tikrinimo etapuose, kur integrinių grandynų kokybė tikrinama dideliu didinimu.

Apskritai pastaraisiais metais granito komponentų naudojimas puslaidininkių gamyboje išaugo. Didelio tikslumo, preciziškumo ir stabilumo poreikis gaminant ir apdorojant integrinius grandynus paskatino puslaidininkių gamintojus naudoti šias medžiagas. Unikalios granito savybės, tokios kaip kietumas, stabilumas ir mažas šiluminio plėtimosi koeficientas, daro jį puikiu pasirinkimu naudoti šiuose procesuose. Nuolat tobulėjant ir plėtojant puslaidininkių technologijas, tikimasi, kad ateityje granito komponentų naudojimas dar labiau išaugs.

precizinis granitas50


Įrašo laikas: 2023 m. gruodžio 5 d.