Granitas yra kieta ir patvari medžiaga, dažnai naudojama statybų pramonėje.Tačiau jis taip pat turi savybių, dėl kurių jis naudingas puslaidininkių gamyboje, ypač gaminant ir apdorojant integrinius grandynus.Granito komponentai, tokie kaip granitinės lentelės ir granito blokeliai, yra plačiai naudojami dėl jų stabilumo, plokštumo ir mažo šiluminio plėtimosi koeficiento.
Vienas iš pagrindinių granito komponentų panaudojimo puslaidininkių gamyboje yra gamybos procesas.Silicio plokštelės, pagrindinės integrinių grandynų sudedamosios dalys, turi būti pagamintos labai tiksliai ir tiksliai.Bet koks iškraipymas ar judėjimas proceso metu gali sukelti defektų, kurie gali turėti įtakos integrinių grandynų kokybei ir funkcionalumui.Granito stalai, pasižymintys dideliu stabilumu ir plokštumu, yra gera platforma plokštelių apdorojimo įrangai.Jie taip pat yra atsparūs šiluminiam plėtimuisi ir susitraukimui, kurį sukelia procese reikalingas šildymas ir vėsinimas.
Granito blokai taip pat naudojami puslaidininkių apdirbimui dėl jų terminio stabilumo.Per ėsdinimo ar nusodinimo procesus silicio plokštelės paviršiui modifikuoti naudojamos karštos dujos arba plazma.Norint užtikrinti, kad procesas vyktų efektyviai ir tiksliai, reikia kontroliuoti plokštelės temperatūrą.Granito blokeliai, turintys mažą šiluminio plėtimosi koeficientą, padeda stabilizuoti plokštelės temperatūrą, sumažina temperatūros svyravimų, galinčių turėti įtakos apdirbamos medžiagos kokybei, riziką.
Be gamybos ir apdorojimo procesų, granito komponentai taip pat naudojami puslaidininkių gamybos metrologijos ir tikrinimo etapuose.Atliekami metrologiniai matavimai, siekiant užtikrinti, kad plokštelėje esančių konstrukcijų dydis, forma ir padėtis atitiktų reikiamas specifikacijas.Granito blokeliai yra naudojami kaip atskaitos standartai atliekant šiuos matavimus dėl jų matmenų stabilumo ir tikslumo.Jie taip pat naudojami tikrinimo etapuose, kai integrinių grandynų kokybė tikrinama dideliu padidinimu.
Apskritai pastaraisiais metais granito komponentų naudojimas puslaidininkių gamyboje išaugo.Didelio tikslumo, tikslumo ir stabilumo poreikis gaminant ir apdorojant integrinius grandynus paskatino šias medžiagas naudoti puslaidininkių gamintojus.Dėl unikalių granito savybių, tokių kaip jo kietumas, stabilumas ir mažas šiluminio plėtimosi koeficientas, jis yra puikus pasirinkimas naudoti šiuose procesuose.Tikimasi, kad toliau tobulėjant ir tobulinant puslaidininkių technologijas granito komponentų naudojimas ateityje augs.
Paskelbimo laikas: 2023-12-05