Granito komponentai plačiai naudojami puslaidininkių gamybos procese dėl puikių savybių, tokių kaip nepriekaištinga paviršiaus apdaila, didelis standumas ir puikus vibracijos slopinimas. Granito komponentai yra būtini puslaidininkių gamybos įrangai, įskaitant litografijos mašinas, poliravimo mašinas ir metrologijos sistemas, nes jie užtikrina tikslų padėties nustatymą ir stabilumą gamybos proceso metu. Nepaisant visų granito komponentų naudojimo privalumų, jie taip pat turi defektų. Šiame straipsnyje aptarsime granito komponentų, skirtų puslaidininkių gamybos proceso gaminiams, defektus.
Pirma, granito komponentai turi didelį šiluminio plėtimosi koeficientą. Tai reiškia, kad jie labai išsiplečia veikiami šiluminio įtempio, o tai gali sukelti problemų gamybos proceso metu. Puslaidininkių gamybos procesas reikalauja didelio tikslumo ir matmenų tikslumo, kurį gali paveikti šiluminis įtempis. Pavyzdžiui, silicio plokštelių deformacija dėl šiluminio plėtimosi gali sukelti lygiavimo problemų litografijos metu, o tai gali pakenkti puslaidininkinio įtaiso kokybei.
Antra, granito komponentai turi poringumo defektų, kurie gali sukelti vakuuminį nuotėkį puslaidininkių gamybos procese. Oro ar kitų dujų buvimas sistemoje gali užteršti plokštelės paviršių ir sukelti defektus, kurie gali turėti įtakos puslaidininkinio įtaiso veikimui. Inertinės dujos, tokios kaip argonas ir helis, gali prasiskverbti į porėtus granito komponentus ir sukurti dujų burbuliukus, kurie gali sutrikdyti vakuuminio proceso vientisumą.
Trečia, granito komponentai turi mikroįtrūkimų, kurie gali turėti įtakos gamybos proceso tikslumui. Granitas yra trapi medžiaga, kurioje laikui bėgant gali atsirasti mikroįtrūkimų, ypač kai ji yra veikiama nuolatinių įtempių ciklų. Mikroįtrūkimų buvimas gali sukelti matmenų nestabilumą, dėl kurio gali kilti didelių problemų gamybos proceso metu, pavyzdžiui, litografijos derinimo ar plokštelių poliravimo.
Ketvirta, granito komponentai yra ribotai lankstūs. Puslaidininkių gamybos procesui reikalinga lanksti įranga, kuri galėtų prisitaikyti prie skirtingų proceso pakeitimų. Tačiau granito komponentai yra standūs ir negali prisitaikyti prie skirtingų proceso pokyčių. Todėl bet kokie gamybos proceso pakeitimai reikalauja pašalinti arba pakeisti granito komponentus, o tai sukelia prastovas ir veikia našumą.
Penkta, granito komponentams dėl jų svorio ir trapumo reikalingas specialus tvarkymas ir transportavimas. Granitas yra tanki ir sunki medžiaga, kuriai reikalinga specializuota tvarkymo įranga, pvz., kranai ir keltuvai. Be to, granito komponentus reikia kruopščiai supakuoti ir transportuoti, kad jie nebūtų pažeisti gabenimo metu, o tai sukeltų papildomų išlaidų ir laiko.
Apibendrinant, granito komponentai turi tam tikrų trūkumų, kurie gali turėti įtakos puslaidininkių gamybos proceso produktų kokybei ir našumui. Šiuos defektus galima sumažinti kruopščiai tvarkant ir prižiūrint granito komponentus, įskaitant periodišką mikroįtrūkimų ir poringumo defektų tikrinimą, tinkamą valymą siekiant išvengti užteršimo ir atsargų tvarkymą transportavimo metu. Nepaisant defektų, granito komponentai išlieka gyvybiškai svarbia puslaidininkių gamybos proceso dalimi dėl savo puikios paviršiaus apdailos, didelio standumo ir puikaus vibracijos slopinimo.
Įrašo laikas: 2023 m. gruodžio 5 d.