Granito komponentai buvo plačiai naudojami puslaidininkių gamybos procese dėl jų puikių savybių, tokių kaip aukštesnis paviršiaus apdaila, didelis standumas ir puikus vibracijos slopinimas. Granito komponentai yra būtini puslaidininkių gamybos įrangai, įskaitant litografijos mašinas, poliravimo mašinas ir metrologijos sistemas, nes jos užtikrina tikslų padėtį ir stabilumą gamybos proceso metu. Nepaisant visų granito komponentų naudojimo pranašumų, jie taip pat turi defektų. Šiame straipsnyje aptarsime puslaidininkių gamybos proceso gaminių granito komponentų trūkumus.
Pirmiausia, granito komponentai turi aukštą šiluminio išsiplėtimo koeficientą. Tai reiškia, kad jie labai plečiasi esant šiluminiam stresui, o tai gali sukelti problemų gamybos proceso metu. Puslaidininkių gamybos procesas reikalauja aukšto tikslumo ir matmenų tikslumo, kurį būtų galima pakenkti dėl šiluminio streso. Pavyzdžiui, silicio plokštelių deformacija dėl šiluminio išsiplėtimo gali sukelti lygiavimo problemas litografijos metu, o tai gali pakenkti puslaidininkio įtaiso kokybei.
Antra, granito komponentai turi poringumo defektus, dėl kurių puslaidininkių gamybos procese gali sukelti vakuuminių nutekėjimai. Oro ar kitų dujų buvimas sistemoje gali sukelti užteršimą vaflio paviršiuje, todėl atsiranda defektų, kurie gali paveikti puslaidininkio prietaiso veikimą. Inertinės dujos, tokios kaip argonas ir helis, galėjo patekti į porėtus granito komponentus ir sukurti dujų burbuliukus, kurie galėtų trukdyti vakuuminio proceso vientisumui.
Trečia, granito komponentai turi mikrofrakcijas, kurios galėtų trukdyti gamybos proceso tikslumui. Granitas yra trapi medžiaga, kuri bėgant laikui gali išsivystyti mikrofrakcijas, ypač kai veikiama nuolatinių įtempių ciklų. Mikrofrakcijos buvimas gali sukelti matmenų nestabilumą, todėl gamybos proceso metu gali sukelti reikšmingų problemų, tokių kaip litografijos išlyginimas ar vaflių poliravimas.
Ketvirta, granito komponentai turi ribotą lankstumą. Puslaidininkių gamybos procesui reikia lanksčios įrangos, kuri galėtų pritaikyti skirtingus proceso pakeitimus. Tačiau granito komponentai yra standūs ir negali prisitaikyti prie skirtingų proceso pokyčių. Todėl dėl bet kokių gamybos proceso pokyčių reikia pašalinti ar pakeisti granito komponentus, sukeliančius prastovą ir paveikiantį produktyvumą.
Penkta, granito komponentams reikalingas specialus tvarkymas ir transportavimas dėl jų svorio ir trapumo. Granitas yra tanki ir sunki medžiaga, kuriai reikalinga specializuota tvarkymo įranga, tokia kaip kranai ir keltuvai. Be to, granito komponentams reikia kruopštaus pakavimo ir pervežimo, kad būtų išvengta žalos gabenimo metu, todėl atsiranda papildomų išlaidų ir laiko.
Apibendrinant galima pasakyti, kad granito komponentai turi keletą trūkumų, kurie gali paveikti puslaidininkių gamybos proceso produktų kokybę ir produktyvumą. Šiuos defektus būtų galima sumažinti kruopščiai tvarkant ir palaikant granito komponentus, įskaitant periodinį mikrofrakcijos ir poringumo defektų patikrinimą, tinkamą valymą, kad būtų išvengta užteršimo, ir kruopščiai tvarkant transportavimą. Nepaisant defektų, granito komponentai išlieka gyvybiškai svarbi puslaidininkių gamybos proceso dalimi dėl jų aukšto paviršiaus apdailos, didelio standumo ir puikaus vibracijos slopinimo.
Pašto laikas: 2012-05-05