Granito komponentai buvo plačiai naudojami puslaidininkių gamybos procese dėl savo puikių savybių, tokių kaip puiki paviršiaus apdaila, didelis standumas ir puikus vibracijos slopinimas.Granito komponentai yra būtini puslaidininkių gamybos įrangai, įskaitant litografijos mašinas, poliravimo mašinas ir metrologijos sistemas, nes jie užtikrina tikslų padėties nustatymą ir stabilumą gamybos proceso metu.Nepaisant visų granito komponentų naudojimo pranašumų, jie taip pat turi trūkumų.Šiame straipsnyje aptarsime puslaidininkių gamybos proceso gaminių granito komponentų defektus.
Pirma, granito komponentai turi aukštą šiluminio plėtimosi koeficientą.Tai reiškia, kad jie labai plečiasi veikiami šiluminės įtampos, o tai gali sukelti problemų gamybos proceso metu.Puslaidininkių gamybos procesas reikalauja didelio tikslumo ir matmenų tikslumo, kuris gali būti pažeistas dėl šiluminio įtempio.Pavyzdžiui, silicio plokštelės deformacija dėl šiluminio plėtimosi gali sukelti išlygiavimo problemų litografijos metu, o tai gali pakenkti puslaidininkinio įtaiso kokybei.
Antra, granito komponentai turi poringumo defektų, kurie gali sukelti vakuuminį nuotėkį puslaidininkių gamybos procese.Oro ar bet kokių kitų dujų buvimas sistemoje gali užteršti plokštelės paviršių, o tai gali sukelti defektų, galinčių turėti įtakos puslaidininkinio įtaiso veikimui.Inertinės dujos, tokios kaip argonas ir helis, gali prasiskverbti į akytus granito komponentus ir sukurti dujų burbuliukus, kurie gali sutrikdyti vakuuminio proceso vientisumą.
Trečia, granito komponentai turi mikrolūžių, kurie gali trukdyti gamybos proceso tikslumui.Granitas yra trapi medžiaga, kuri ilgainiui gali įtrūkti, ypač esant nuolatiniams įtempių ciklams.Dėl mikrolūžių gali atsirasti matmenų nestabilumas, o tai gali sukelti didelių problemų gamybos proceso metu, pvz., litografijos išlygiavimo ar plokštelių poliravimo.
Ketvirta, granito komponentai turi ribotą lankstumą.Puslaidininkių gamybos procesui reikalinga lanksti įranga, kuri galėtų prisitaikyti prie įvairių proceso pokyčių.Tačiau granito komponentai yra standūs ir negali prisitaikyti prie skirtingų proceso pokyčių.Todėl dėl bet kokių gamybos proceso pakeitimų reikia pašalinti arba pakeisti granito komponentus, o tai lemia prastovą ir turi įtakos produktyvumui.
Penkta, granito komponentai reikalauja ypatingo tvarkymo ir transportavimo dėl jų svorio ir trapumo.Granitas yra tanki ir sunki medžiaga, kuriai reikalinga specializuota krovimo įranga, tokia kaip kranai ir keltuvai.Be to, granito komponentus reikia kruopščiai supakuoti ir transportuoti, kad būtų išvengta žalos gabenimo metu, o tai sukelia papildomų išlaidų ir laiko.
Apibendrinant galima pasakyti, kad granito komponentai turi tam tikrų trūkumų, kurie gali turėti įtakos puslaidininkių gamybos proceso produktų kokybei ir produktyvumui.Šiuos defektus galima sumažinti kruopščiai tvarkant ir prižiūrint granito komponentus, įskaitant periodišką mikrolūžių ir poringumo defektų patikrą, tinkamą valymą, kad būtų išvengta užteršimo, ir rūpestingą tvarkymą transportavimo metu.Nepaisant defektų, granito komponentai išlieka gyvybiškai svarbia puslaidininkių gamybos proceso dalimi dėl puikios paviršiaus apdailos, didelio standumo ir puikaus vibracijos slopinimo.
Paskelbimo laikas: 2023-12-05